【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种不同高度的半导体镀膜设备用销,包括销的主体部分(3),销的主体部分(3)为圆柱体,其特征在于:销的主体部分(3)的上端部(2)为圆锥结构,顶端面(1)为球面结构,上述销的主体部分(3)的顶端面(1)与上端部(2)之间设有过渡区(5),过渡区(5)及上端(2)与销的主体部分(3)之间的衔接处(6)均为圆角结构;销的主体部分(3)的下端面(4)是半球面结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴凤丽,聂文远,国建花,
申请(专利权)人:沈阳拓荆科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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