加热盘水平测量工装结构及测量方法技术

加热盘水平测量工装结构及测量方法，主要解决现有测量方法复杂，不易操作的问题。其工装结构，包括：定位基座、紧固数显千分表螺栓、固定架、定位销、紧固螺栓及数显千分表。所述定位基座放置在反应腔上，定位基座圆盘下表面与反应腔上的定位基准重合，使得基准下移至定位基座三个千分表的定位孔上。所述定位基座千分表定位孔能保证三个数显千分表在同一水平面测量，并且以120°的角度均布在加热盘表面。其测量方法是通过定位基座与固定架的配合，完成数显千分表的水平定位、夹紧及测量位置定位，调整加热盘使得三个数显千分表读数相同，此时加热盘水平。其结构合理，操作方法简便，有效提高加热盘上表面水平调整的工作效率。可广泛应用于半导体镀膜设备技术领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种加热盘水平测量工装结构及测量方法，具体的说是一种采用固定和准确定位数显千分表的装置，便于数显千分表测量腔体内加热盘安装时水平度的方法及工装结构。属于半导体镀膜设备应用

技术介绍
随着电子产品需求量的增加，带动半导体设备迅速发展，加热盘是广泛应用于半导体设备中硅片沉积反应腔中的关键部件。硅片沉积所需的环境要求非常高，包括放置硅片的加热盘要求高度水平，加热盘的水平程度直接影响硅片成膜的质量，因此在安装加热盘时需要对加热盘上表面进行水平调整。目前加热盘上表面的水平调整主要依靠三个数显千分表在加热盘表面选取三点进行测量，数显千分表显示的数值相同时，视为加热盘表面水平。然而这种方法存在着缺陷与不足，三个数显千分表定位时会存在误差影响测量结果，三个数显千分表定位的三点不能保证均匀，定位操作比较复杂，同时对加热盘水平的调整需要消耗大量的时间。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的，主要解决现有测量方法比较复杂，不易操作的技术问题，而提供一种加热盘表面水平的测量工装，简化数显千分表的安装操作流程，增强三个数显千分表定位的可靠性和同一性，提高加热盘上表面水平程度调整的效率与精度。为了实现上述目的，本专利技术采用下述技术方案：加热盘水平测量工装结构，包括：定位基座、紧固数显千分表螺栓、固定架、定位销、紧固螺栓及数显千分表。所述定位基座放置在反应腔上，定位基座圆盘下表面与反应腔上的定位基准重合，使得基准下移至定位基座三个千分表的定位孔上。所述定位基座的千分表定位孔能保证三个数显千分表在同一水平面测量，并且以120°的角度均布在加热盘表面。通过定位销将固定架放置在定位基座上，并用紧固螺栓将固定架紧固在定位基座上。数显千分表放置在定位基座与固定架上并通过紧固数显千分表螺栓拧紧缩小固定架上的圆弧，完成数显千分表的夹紧。调整加热盘，当三个数显千分表读数一致时，加热盘表面达到水平状态。采用上述工装的加热盘水平测量方法，该方法是通过定位基座与固定架的配合，完成数显千分表的水平定位、夹紧及测量位置定位，调整加热盘使得三个数显千分表读数相同，此时加热盘水平。以反应腔上表面为定位基准，利用定位基座圆盘的下表面与定位基准接合进行定位。通过给定定位基座圆盘下表面与数显千分表在定位基座上的定位面的平行度，控制三个数显千分表在同一水平面进行测量，并保证三个千分表以120°的角度均布在加热盘表面上。进一步地，固定架上有定位销，方便与定位基座连接的对位，固定架采用圆弧式夹紧方法固定数显千分表，通过螺栓对数显千分表进行夹紧，同时固定架由螺栓连接固定在定位基座上，防止千分表在Z方向上运动。进一步地，固定架在数显千分表夹紧处，与定位基座接触面加工小的平面，使得固定件与定位基座间有一段缝隙，防止用螺栓紧固千分表时，两表面发生摩擦造成接触面损伤。本专利技术的有益效果及特点在于：结构合理，操作方法简便。将反应腔基准与数显千分表水平测量基准有效结合，增加数显千分表测量的准确性。简化了数显千分表的定位和夹紧操作过程，有效提高加热盘上表面水平调整的工作效率。可广泛应用于半导体镀膜设备
附图说明图1是加热盘水平测量工装结构示意图。图2是加热盘水平测量工装展开图。图中：1.定位基座；2.紧固数显千分表螺栓；3.固定架；4.定位销；5.数显千分表；6.紧固螺栓。图3是加热盘水平测量工装安装示意图。图中：1.定位基座；3.固定架；4.定位销；5.数显千分表；6.紧固螺栓；7.硅片反应腔；8.加热盘。下面结合附图对本专利技术作进一步详细描述：具体实施方式实施例参照图1-3，加热盘水平测量工装结构，包括：定位基座1、紧固数显千分表螺栓2、固定架3、定位销4、紧固螺栓6及数显千分表5。所述定位基座1放置在反应腔上，定位基座1圆盘下表面与反应腔上的定位基准重合，使得基准下移至定位基座1三个千分表的定位孔上。所述定位基座1的千分表定位孔能保证三个数显千分表6在同一水平面测量，并且以120°的角度均布在加热盘表面。通过定位销4将固定架3放置在定位基座1上，并用紧固螺栓6将固定架3紧固在定位基座1上。数显千分表5放置在定位基座1与固定架3上并通过紧固数显千分表螺栓2拧紧缩小固定架3上的圆弧，完成数显千分表5的夹紧。调整加热盘，当三个数显千分表5读数一致时，加热盘表面达到水平状态。从图3中可以看出，该工装结构的定位基座1安装在硅片反应腔7内，而加热盘8处于定位基座1的下面。采用上述工装的加热盘水平测量方法，该方法是通过定位基座与固定架的配合，完成数显千分表的水平定位、夹紧及测量位置定位，调整加热盘使得三个数显千分表读数相同，此时加热盘水平。以反应腔上表面为定位基准，利用定位基座圆盘的下表面与定位基准接合进行定位。通过给定定位基座圆盘下表面与数显千分表在定位基座上的定位面的平行度，控制三个数显千分表在同一水平面进行测量，并保证三个千分表以120°的角度均布在加热盘表面上。进一步地，固定架上有定位销，方便与定位基座连接的对位，固定架采用圆弧式夹紧方法固定数显千分表，通过螺栓对数显千分表进行夹紧，同时固定架由螺栓连接固定在定位基座上，防止千分表在Z方向上运动。进一步地，固定架在数显千分表夹紧处，与定位基座接触面加工小的平面，使得固定件与定位基座间有一段缝隙，防止用螺栓紧固千分表时，两表面发生摩擦造成接触面损伤。本专利技术通过提高三个数显千分表的定位精度，简化数显千分表的固定操作，能够有效提高加热盘水平调整的精度和效率。三个数显千分表读数一致时，加热盘表面达到水平状态。本文档来自技高网...

【技术保护点】
加热盘水平测量工装结构，包括数显千分表，其特征在于：它还包括定位基座、紧固数显千分表螺栓、固定架、定位销、紧固螺栓，所述定位基座放置在反应腔上，定位基座圆盘下表面与反应腔上的定位基准重合，使得基准下移至定位基座三个千分表的定位孔上；所述定位基座的千分表定位孔能保证三个数显千分表在同一水平面测量，并且以120°的角度均布在加热盘表面，通过定位销将固定架放置在定位基座上，并用紧固螺栓将固定架紧固在定位基座上，数显千分表放置在定位基座与固定架上并通过紧固数显千分表螺栓拧紧缩小固定架上的圆弧，完成数显千分表的夹紧。

【技术特征摘要】
1.加热盘水平测量工装结构，包括数显千分表，其特征在于：它还包括定位基座、紧固数显千分表螺栓、固定架、定位销、紧固螺栓，所述定位基座放置在反应腔上，定位基座圆盘下表面与反应腔上的定位基准重合，使得基准下移至定位基座三个千分表的定位孔上；所述定位基座的千分表定位孔能保证三个数显千分表在同一水平面测量，并且以120°的角度均布在加热盘表面，通过定位销将固定架放置在定位基座上，并用紧固螺栓将固定架紧固在定位基座上，数显千分表放置在定位基座与固定架上并通过紧固数显千分表螺栓拧紧缩小固定架上的圆弧，完成数显千分表的夹紧。2.采用如权利要求1所述的加热盘水平测量工装结构的测量方法，其特征在于：该方法是通过定位基座与固定架的配合，完成数显千分表的水平定位、夹紧及测量位置定位，调整加热盘使得三个数显千分表读数相同，此时加热盘表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：续震，范川，张亚新，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21