一种多边圆形镀膜设备腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多边圆形镀膜设备腔体，包括腔体本体，所述腔体的一侧设有连接管道，另一侧设有腔门，腔门与腔体铰接，腔体的外侧壁为多边形结构，侧壁处设有蒸发源过渡法兰，其顶部设有方向校正过渡法兰，腔体的内部设有压力感应器，腔体的外壁设有数显屏，数显屏与压力感应器相连接，改善设备结构，形状为“多边形圆形”，从而缩短抽空时间和空间利用率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜领域，特别涉及一种多边圆形镀膜设备腔体。
技术介绍
目前，镀膜技术一般分为干式镀膜与湿式镀膜两种方法。干式镀膜主要利用气相沉积的方法，包括真空蒸镀，真空溅镀等。湿式镀膜主要利用液相沉积的方法，是指将待镀的基板置于电解质溶液中，通过电镀法或化学镀法，使其表面形成膜层。其中，湿式镀膜制程具有制程设备简单、便宜、沉积速率快、易控制沉积厚度、制程温度低、不受限于形状复杂之基板、适用于多样性材料、更可在软性基材上镀膜等优点。但是现有镀膜设备腔体多为圆形结构，空间大，使用效率低，空间大，抽空时间长。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种多边圆形镀膜设备腔体，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。为实现上述目的，本技术提供以下的技术方案：一种多边圆形镀膜设备腔体，包括腔体本体，所述腔体的一侧设有连接管道，另一侧设有腔门，腔门与腔体铰接，腔体的外侧壁为多边形结构，侧壁处设有蒸发源过渡法兰，其顶部设有方向校正过渡法兰，腔体的内部设有压力感应器，腔体的外壁设有数显屏，数显屏与压力感应器相连接。优选的，所述多边形结构的剖面为梯形结构。优选的，所述腔门与腔体铰接处通过铰接合页相连接。优选的，所述腔体的顶部设有透气孔。优选的，所述透气孔处设有盖板。采用以上技术方案的有益效果是：本技术结构的多边圆形镀膜设备腔体，改善设备结构，形状为“多边形圆形”，从而缩短抽空时间和空间利用率。腔体内设有压力感应器，可以检测出腔体内的压力，并通过数显屏显示出来，可以将盖板打开调节腔体内的气压。附图说明图1是本技术的结构示意图。其中，1--腔体、2--连接管道、3--腔门、4--蒸发源过渡法兰、5--方向校正过渡法兰、6--压力感应器、7--数显屏、8--铰接合页、9--透气孔、10--盖板。具体实施方式下面结合附图详细说明本技术的优选实施方式。图1出示本技术的具体实施方式：一种多边圆形镀膜设备腔体1，包括腔体1本体，所述腔体1的一侧设有连接管道2，另一侧设有腔门3，腔门3与腔体1铰接，腔体1的外侧壁为多边形结构，侧壁处设有蒸发源过渡法兰4，其顶部设有方向校正过渡法兰5，腔体1的内部设有压力感应器6，腔体1的外壁设有数显屏7，数显屏7与压力感应器6相连接。多边形结构的剖面为梯形结构；腔门3与腔体1铰接处通过铰接合页8相连接；腔体1的顶部设有透气孔9；透气孔9处设有盖板10。本技术结构的多边圆形镀膜设备腔体，改善设备结构，形状为“多边形圆形”，从而缩短抽空时间和空间利用率。腔体内设有压力感应器，可以检测出腔体内的压力，并通过数显屏显示出来，可以将盖板打开调节腔体内的气。以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多边圆形镀膜设备腔体，包括腔体本体，其特征在于，所述腔体的一侧设有连接管道，另一侧设有腔门，腔门与腔体铰接，腔体的外侧壁为多边形结构，侧壁处设有蒸发源过渡法兰，其顶部设有方向校正过渡法兰，腔体的内部设有压力感应器，腔体的外壁设有数显屏，数显屏与压力感应器相连接。

【技术特征摘要】
1.一种多边圆形镀膜设备腔体，包括腔体本体，其特征在于，所述腔体的一侧设有连接管道，另一侧设有腔门，腔门与腔体铰接，腔体的外侧壁为多边形结构，侧壁处设有蒸发源过渡法兰，其顶部设有方向校正过渡法兰，腔体的内部设有压力感应器，腔体的外壁设有数显屏，数显屏与压力感应器相连接。2.根据权利要求1所述的多边圆形镀膜设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：武文全，
申请(专利权)人：佛山市佛欣真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44