一种旋转式有机材料蒸发装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种旋转式有机材料蒸发装置，包括旋转式蒸发单元和驱动单元，旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，其中坩埚底板上环形设置有复数坩埚，集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，中心旋转支杆的底端与绝缘板相固接，顶端依次穿过导电滑座、圆筒套、坩埚底板，驱动单元包括电机及驱动轮，驱动轮驱动电极承载环体旋转并带动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。本发明专利技术通过旋转的方式实现多有机源协同作业，结构紧凑，增加了实验参数可调性；多有机源共用一石英晶振探头，减少了石英晶振探头的使用数量；结构紧凑，易于安装、更换、维护；控制精度高、生产效率高、能耗低、成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种蒸发装置，尤其涉及一种旋转式有机材料蒸发装置。
技术介绍
真空热蒸发镀膜在有机EL(ElectroLuminescence)电致发光，有机太阳能电池，金属电极，食品包装等行业被广泛应用，以及相应薄膜器件的产业化中应用也非常广泛，其基本原理是利用加热的手段使源受热蒸发，由固相/液相变成气相，然后气体分子或原子在蒸发源与基板（衬底）之间输运，最后蒸发的分子或原子在基板（衬底）上沉积。在有机发光显示装置中，发射可见光的有机发光层和接近有机发光层的有机层通过利用各种工艺成型。尤其是真空沉积方法，由于其简单的工艺而经常被使用。在真空沉积方法中，将粉状或固态的沉积材料填充到坩埚中，并通过对坩埚进行加热而在期望的区域上形成沉积膜。传统的有机材料蒸发装置结构复杂，有机材料蒸发源多为单头结构，每个蒸发源只有一个坩埚，且不能旋转，如果要实现多个坩埚同时蒸发，需要安装多个单头结构的蒸发源，成本非常高。有机材料蒸发源的坩埚内蒸发出来的材料通过石英晶振探头测量其厚度，探头通常安装在坩埚的斜上方。对于传统的有机材料蒸发源，要实现测量准确，每个蒸发源的坩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：包括旋转式蒸发单元和驱动单元，所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，其中所述坩埚底板上环形设置有复数坩埚，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩埚内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒...

【技术特征摘要】
1.一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：包括旋转式蒸发单元和驱动单元，
所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，
其中所述坩埚底板上环形设置有复数坩埚，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩埚内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，
所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩埚底板的轴孔，所述坩埚底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩埚内的加热丝穿过所述坩埚的底部、坩埚底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对；
所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮；
所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。
2.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚底板上设置有压盘，所述压盘的外围环绕有用于对相邻坩埚进行阻隔复数隔板。
3.根据权利要求2所述的一种旋转式有...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖良生，董首成，武启飞，
申请(专利权)人：苏州方昇光电装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32