一种旋转式有机材料蒸发装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种旋转式有机材料蒸发装置，包括旋转式蒸发单元和驱动单元，旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，其中坩埚底板上环形设置有复数坩埚，集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，中心旋转支杆的底端与绝缘板相固接，顶端依次穿过导电滑座、圆筒套、坩埚底板，驱动单元包括电机及驱动轮，驱动轮驱动电极承载环体旋转并带动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。本发明专利技术通过旋转的方式实现多有机源协同作业，结构紧凑，增加了实验参数可调性；多有机源共用一石英晶振探头，减少了石英晶振探头的使用数量；结构紧凑，易于安装、更换、维护；控制精度高、生产效率高、能耗低、成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种蒸发装置，尤其涉及一种旋转式有机材料蒸发装置。
技术介绍
真空热蒸发镀膜在有机EL(ElectroLuminescence)电致发光，有机太阳能电池，金属电极，食品包装等行业被广泛应用，以及相应薄膜器件的产业化中应用也非常广泛，其基本原理是利用加热的手段使源受热蒸发，由固相/液相变成气相，然后气体分子或原子在蒸发源与基板（衬底）之间输运，最后蒸发的分子或原子在基板（衬底）上沉积。在有机发光显示装置中，发射可见光的有机发光层和接近有机发光层的有机层通过利用各种工艺成型。尤其是真空沉积方法，由于其简单的工艺而经常被使用。在真空沉积方法中，将粉状或固态的沉积材料填充到坩埚中，并通过对坩埚进行加热而在期望的区域上形成沉积膜。传统的有机材料蒸发装置结构复杂，有机材料蒸发源多为单头结构，每个蒸发源只有一个坩埚，且不能旋转，如果要实现多个坩埚同时蒸发，需要安装多个单头结构的蒸发源，成本非常高。有机材料蒸发源的坩埚内蒸发出来的材料通过石英晶振探头测量其厚度，探头通常安装在坩埚的斜上方。对于传统的有机材料蒸发源，要实现测量准确，每个蒸发源的坩埚都需要安装一个石英晶振探头。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种旋转式有机材料蒸发装置。为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案为：一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：包括旋转式蒸发单元和驱动单元，所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，其中所述坩埚底板上环形设置有复数坩埚，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩埚内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩埚底板的轴孔，所述坩埚底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩埚内的加热丝穿过所述坩埚的底部、坩埚底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对；所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮；所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。优选的，所述坩埚底板上设置有压盘，所述压盘的外围环绕有用于对相邻坩埚进行阻隔复数隔板。优选的，所述坩埚底板上环形等分设置有十二个坩埚，所述压盘的外围环绕有十二个隔板，所述隔板分别位于相邻坩埚之间。优选的，所述隔板为石英隔板或304不锈钢隔板，所述隔板的厚度为1~1.5mm。优选的，所述坩埚底板上设置有复数插槽，所述坩埚的底部具有两个引脚，所述坩埚的引脚插接于所述插槽内。优选的，所述坩埚底板为圆形铝盘。优选的，所述复数坩埚的敞口朝向共同聚焦于待镀膜基片上。优选的，所述绝缘板为聚四氟乙烯绝缘板或氧化铝陶瓷绝缘板。优选的，所述驱动单元还包括密封磁流体，所述密封磁流体包括外壳和穿接于所述外壳的轴杆，所述外壳通过一法兰与电机相固接，所述驱动轮固定于所述轴杆的顶端，所述轴杆的底端通过一联轴器与所述电机的驱动轴相连。优选的，所述驱动轮上外壁至少设置有一环形凹槽，所述环形凹槽内设置有O型圈。本专利技术的有益效果主要体现在：1.通过旋转的方式实现多有机源协同作业，结构紧凑，增加了实验参数可调性；2.多有机源共用一石英晶振探头，减少了石英晶振探头的使用数量，极大的降低了成本；3.结构紧凑，易于安装、更换、维护；4.控制精度高、生产效率高、能耗低、成本低。附图说明图1是本专利技术一种旋转式有机材料蒸发装置的结构示意图；图2是本专利技术一种旋转式有机材料蒸发装置的截面结构示意图。具体实施方式本专利技术提供一种旋转式有机材料蒸发装置。以下结合附图对本专利技术技术方案进行详细描述，以使其更易于理解和掌握。如图1和图2所示，一种旋转式有机材料蒸发装置，包括旋转式蒸发单元和驱动单元，旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆1、坩埚底板2、集成电极座3、绝缘板4及导电滑座5，其中坩埚底板2上环形设置有复数坩埚6，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔7，坩埚6内设有加热丝，集成电极座3包括圆筒套8和电极承载环体9，电极承载环体9设置于圆筒套8的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，导电滑座5与绝缘板4相固接，导电滑座5的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极。中心旋转支杆1的底端与4绝缘板相固接，中心旋转支杆1依次穿过导电滑座5的中心轴孔、集成电极座3的圆筒套8、坩埚底板2的轴孔7，坩埚底板2与圆筒套8的顶部相固接，坩埚6内的加热丝穿过坩埚6的底部、坩埚底板2与电极承载环体9上的电极相导通连接，导电滑座5的顶端与圆筒套8的底面相对。其中，绝缘板为聚四氟乙烯绝缘板或氧化铝陶瓷绝缘板。驱动单元包括电机10及受驱于电机10的驱动轴的驱动轮11；驱动轮11与电极承载环体9的侧壁相抵接，并且在驱动轮11的驱动作用下，电极承载环体9通过圆筒套驱动坩埚底板2围绕中心旋转支杆1旋转，在电极承载环体9转动时，导电滑座上的导电电极依次与集成电极座上的电极顺次接通，以便对不同的坩埚进行电加热。对旋转式蒸发单元进行优化，在坩埚底板2上设置有压盘12，压盘12的外围环绕有用于对相邻坩埚进行阻隔复数隔板13。其中，压盘12通过中心的孔用轴杆件与中间旋转支杆相连接，压盘通过轴杆可自由旋转，其对联接成一体的集成电极座与坩埚底板具有限位作用，不会因为驱动轮的摩擦力而在旋转过程中上升。更细化的，坩埚底板2上环形等分设置有十二个坩埚，压盘的外围环绕有十二个隔板，隔板分别位于相邻坩埚之间。隔板13为石英隔板或304不锈钢隔板，隔板13的厚度为1~1.5mm。坩埚底板2上设置有复数插槽，坩埚6的底部具有两个引脚，坩埚6的引脚插接于插槽内。另外，坩埚底板2优选为圆形铝盘。上述的复数坩埚6的敞口朝向共同聚焦于待镀膜基片上。且坩埚底板的复数坩埚共用一石英晶振探头，图中省略了该标记，通过聚焦实现石英晶振探头的数量减少，极大的降低了成本。对驱动单元进行细化描述，其还包括密封磁流体14，密封磁流体14包括外壳和穿接于外壳的轴杆，外壳通过一法兰与电机相固接，驱动轮11固定于轴杆的顶端，轴杆的底端通过一联轴器与电机的驱动轴相连。驱动轮11上外壁至少设置有一环形凹槽15，环形凹槽15内设置有O型圈16。通过O型圈能增加驱动轮与电极承载环体9之间的摩擦力。以下为本专利技术的具体运动过程及原理说明：首先电机通过联轴器带动密封磁流体转动，密封磁流体通过中心轴带动驱动轮旋转，驱动轮与电极承载环体相抵接，通过摩擦力本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：包括旋转式蒸发单元和驱动单元，所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，其中所述坩埚底板上环形设置有复数坩埚，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩埚内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩埚底板的轴孔，所述坩埚底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩埚内的加热丝穿过所述坩埚的底部、坩埚底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对；所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮；所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。

【技术特征摘要】
1.一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：包括旋转式蒸发单元和驱动单元，
所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，
其中所述坩埚底板上环形设置有复数坩埚，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩埚内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，
所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩埚底板的轴孔，所述坩埚底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩埚内的加热丝穿过所述坩埚的底部、坩埚底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对；
所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮；
所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。
2.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚底板上设置有压盘，所述压盘的外围环绕有用于对相邻坩埚进行阻隔复数隔板。
3.根据权利要求2所述的一种旋转式有...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖良生，董首成，武启飞，
申请(专利权)人：苏州方昇光电装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32