下载一种旋转式有机材料蒸发装置的技术资料

文档序号:14861490

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本发明揭示了一种旋转式有机材料蒸发装置,包括旋转式蒸发单元和驱动单元,旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座,其中坩埚底板上环形设置有复数坩埚,集成电极座包括圆筒套和电极承载环体,中心旋转支杆的底端与绝缘板相...
该专利属于苏州方昇光电装备技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州方昇光电装备技术有限公司授权不得商用。

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