有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置制造方法及图纸

技术编号:14877568 阅读:113 留言:0更新日期:2017-03-24 00:49
本发明专利技术公开了一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,包括用于放置有机物的容器,容器的上端具有开口,容器周围缠绕有发热线,发热线与容器外壁之间间隔有一定距离,所述发热线与交流电源装置相连。本发明专利技术所提供的有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,发热线通过交流电源装置加热到一定温度,热量以热离子的方式热辐射出去,并把热量传到容器从而加热有机物使有机物蒸发;与传统的发热线与容器接触的加热方式相比,本发明专利技术容器的温度增加会更加的均匀,因而能够稳定蒸发有机物,提高镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空镀膜
,具体涉及一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置
技术介绍
真空镀膜是将固体材料置于真空室内,在真空条件下,将固体材料加热蒸发,蒸发出来的原子或分子能自由地弥布到容器的器壁上。当把一些加工好的基板材料放在其中时,蒸发出来的原子或分子就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜。真空镀膜有两种方法,一是蒸发镀膜,一是溅射镀膜。传统的有机EL元件蒸发镀膜是在真空腔内完成,用于放置有机物的容器在热源的作用下升温,使得有机物蒸发从而完成镀膜,但是如果有机物受热不均匀,导致蒸发不均匀的话,EL元件的镀膜也会不均匀,影响镀膜效果。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决上述问题,提供一种均匀加热容器、稳定蒸发有机物、提高镀膜效果的有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置。为解决上述技术问题,本专利技术的技术方案是:一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,包括用于放置有机物的容器,容器的上端具有开口,容器周围缠绕有发热线,发热线与容器外壁之间间隔有一定距离,所述发热线与交流电源装置相连。优选地,所述容器与接地电源相连。优选地,所述容器的电阻率小于10-2Ω㎝,熔点大于1500℃。本专利技术的有益效果是:本专利技术所提供的有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,发热线通过交流电源装置加热到一定温度,热量以热离子的方式热辐射出去,并把热量传到容器从而加热有机物使有机物蒸发;与传统的发热线与容器接触的加热方式相比,本专利技术容器的温度增加会更加的均匀,因而能够稳定蒸发有机物,提高镀膜效果。附图说明图1是本专利技术中熔炉装置的使用状态示意图;图2是本专利技术中熔炉装置的截面图;图3是本专利技术中熔炉装置的立体图。附图标记说明:5、真空腔;10、基板;20、膜厚传感器;30、挡板;40、容器;50、真空计;60、真空泵;70、发热线;80、交流电源装置;90、接地电源;100、有机物;110、屏蔽膜。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术做进一步的说明:如图1至图3所示,本专利技术的有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,安装在密闭的真空腔5底部,包括用于放置有机物100的容器40,容器40的上端具有开口,容器40周围缠绕有发热线70,发热线45与容器40外壁之间间隔有一定距离,发热线70与交流电源装置80相连,容器40与接地电源90相连,交流电源装置80可以防止发热线70与容器40之间产生电火花。真空腔5中还设有基板10和屏蔽膜110,基板10位于容器40的开口上方,屏蔽膜110设于发热线70的外围,屏蔽膜110为环状,用于反射发热线70发出的热离子,提高熔炉装置的加热效率。真空腔5还分别与真空泵60和真空计50相连,真空泵60用于将真空腔5抽取真空,真空计50用于监测真空腔5内的真空度;真空腔5还设有用于检测基板10上镀膜厚度的膜厚传感器20,容器40上端开口和基板10之间设有挡板30,所述挡板30可以设置为可开合式的,也可以设置为旋转式的。本专利技术的有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,发热线70通过交流电源装置80加热到一定温度,热量以热离子的方式热辐射出去,并把热量传到容器40,为了更加均匀的吸收热量,容器40的电阻率应该小于10-2Ω㎝,用于制作容器40的材料的熔点应该在1500℃以上,发热线70可采用灯丝材料制成,比如钨或者钨合金;与传统的发热线与容器接触的加热方式相比,本专利技术的熔炉装置中,容器40的温度增加会更加的均匀,因而能够稳定蒸发有机物,提高镀膜效果。本领域的普通技术人员将会意识到,这里所述的实施例是为了帮助读者理解本专利技术的原理,应被理解为本专利技术的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本专利技术公开的这些技术启示做出各种不脱离本专利技术实质的其它各种具体变形和组合,这些变形和组合仍然在本专利技术的保护范围内。本文档来自技高网...
有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置

【技术保护点】
一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,其特征在于:包括用于放置有机物(100)的容器(40),容器(40)的上端具有开口,容器(40)周围缠绕有发热线(70),发热线(45)与容器(40)外壁之间间隔有一定距离,所述发热线(70)与交流电源装置(80)相连。

【技术特征摘要】
1.一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,其特征在于:包括用于放置有机物(100)的容器(40),容器(40)的上端具有开口,容器(40)周围缠绕有发热线(70),发热线(45)与容器(40)外壁之间间隔有一定距离,所述发热线(7...

【专利技术属性】
技术研发人员:任海
申请(专利权)人:四川虹视显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:四川;51

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1