【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空镀膜
,具体涉及一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置。
技术介绍
真空镀膜是将固体材料置于真空室内,在真空条件下,将固体材料加热蒸发,蒸发出来的原子或分子能自由地弥布到容器的器壁上。当把一些加工好的基板材料放在其中时,蒸发出来的原子或分子就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜。真空镀膜有两种方法,一是蒸发镀膜,一是溅射镀膜。传统的有机EL元件蒸发镀膜是在真空腔内完成,用于放置有机物的容器在热源的作用下升温,使得有机物蒸发从而完成镀膜,但是如果有机物受热不均匀,导致蒸发不均匀的话,EL元件的镀膜也会不均匀,影响镀膜效果。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决上述问题,提供一种均匀加热容器、稳定蒸发有机物、提高镀膜效果的有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置。为解决上述技术问题,本专利技术的技术方案是:一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,包括用于放置有机物的容器,容器的上端具有开口,容器周围缠绕有发热线,发热线与容器外壁之间间隔有一定距离,所述发热线与交流电源装置相连。优选地,所述容器与接地电源相连。优选地,所述容器的电阻率小于10-2Ω㎝,熔点大于1500℃。本专利技术的有益效果是:本专利技术所提供的有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,发热线通过交流电源装置加热到一定温度,热量以热离子的方式热辐射出去,并把热量传到容器从而加热有机物使有机物蒸发;与传统的发热线与容器接触的加热方式相比,本专利技术容器的温度增加会更加的均匀,因而能够稳定蒸发有机物,提高镀膜效果。附图说明图1是本专利技术中熔炉装置的使用状态示意图;图2是本专利技术中熔炉装置的截面图;图3是本专利技术中 ...
【技术保护点】
一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,其特征在于:包括用于放置有机物(100)的容器(40),容器(40)的上端具有开口,容器(40)周围缠绕有发热线(70),发热线(45)与容器(40)外壁之间间隔有一定距离,所述发热线(70)与交流电源装置(80)相连。
【技术特征摘要】
1.一种有机EL元件蒸发镀膜熔炉装置,其特征在于:包括用于放置有机物(100)的容器(40),容器(40)的上端具有开口,容器(40)周围缠绕有发热线(70),发热线(45)与容器(40)外壁之间间隔有一定距离,所述发热线(7...
【专利技术属性】
技术研发人员:任海,
申请(专利权)人:四川虹视显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:四川;51
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