可旋转电子束加热样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及真空蒸镀设备技术领域，尤其是一种可旋转电子束加热样品台。现有用于电子束蒸发加热的样品台结构功能单一，样品在弧形加热台中不能旋转加热，受热不均匀，一定程度上影响加热效率。该可旋转电子束加热样品台包括加热台和底座，加热台上设有半圆凹槽，半圆凹槽底部中心设有中心孔，半圆凹槽两侧通过转轴连接有V型弹簧夹片，半圆凹槽上方设有转动上盖，转动上盖由两个扇形盖板构成，扇形盖板拼接处设有转动销。改进后的可旋转电子束加热样品台结构简单，操作方便，工作稳定可靠，加热室密封性好，样品得到旋转加热，受热均匀，有效提高设备加热效率。

Rotatable electron beam heating sample table

The utility model relates to the technical field of vacuum evaporation equipment, in particular to a rotatable electron beam heating sample platform. The structure of the sample table used for the heating of the electron beam evaporation is single, and the sample can not rotate heating in the arc heating platform, and the heating is uneven, and the heating efficiency is affected to a certain extent. The rotating electron beam heating sample includes a heating station and a base station, heating table is provided with a semicircular groove, a semicircular groove of the center of the bottom is provided with a central hole, a semicircular groove is connected with two sides of V spring clip through the rotation shaft, the upper cover is provided with a semicircular groove above the rotation of the upper cover is composed of two fan cover, fan cover stitching a rotary pin. The improved rotatable electron beam heating sample table has the advantages of simple structure, convenient operation, stable and reliable operation, good sealing performance of the heating chamber, rotation heating of the sample, uniform heating, and effectively improving the heating efficiency of the equipment.

【技术实现步骤摘要】
可旋转电子束加热样品台
本技术涉及真空蒸镀设备
，尤其是一种可旋转电子束加热样品台。
技术介绍
电子束蒸发是真空蒸镀的一种方式，它是在钨丝蒸发的基础上发展起来的，电子束是一种高速的电子流，电子束蒸发是目前真空镀膜技术中一种成熟且主要的镀膜方法，它解决了电阻加热方式中膜料与蒸镀源材料直接接触容易互混的问题。现有用于电子束蒸发加热的样品台结构功能单一，样品在弧形加热台中不能旋转加热，受热不均匀，一定程度上影响加热效率。
技术实现思路
为了克服现有的上述的不足，本技术提供了一种可旋转电子束加热样品台。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种可旋转电子束加热样品台，包括加热台和底座，加热台上设有半圆凹槽，半圆凹槽底部中心设有中心孔，半圆凹槽两侧通过转轴连接有V型弹簧夹片，半圆凹槽上方设有转动上盖。根据本技术的另一个实施例，进一步包括转动上盖由两个扇形盖板构成，扇形盖板拼接处设有转动销。根据本技术的另一个实施例，进一步包括转动销设在半圆凹槽两侧。根据本技术的另一个实施例，进一步包括半圆凹槽和转动上盖内壁均覆有铜皮层。本技术的有益效果是，结构简单，操作方便，工作稳定可靠，加热室密封性好，样品得到旋转加热，受热均匀，有效提高设备加热效率。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的转动上盖示意图。图中1.加热台，2.底座，3.半圆凹槽，4.中心孔，5.转轴，6.V型弹簧夹片，7.转动上盖，7-1.扇形盖板，7-2.转动销，8.铜皮层。具体实施方式如图1、2所示，一种可旋转电子束加热样品台，包括加热台1和底座2，加热台1上设有半圆凹槽3，半圆凹槽3底部中心设有中心孔4，半圆凹槽3两侧通过转轴5连接有V型弹簧夹片6，半圆凹槽3上方设有转动上盖7，转动上盖7由两个扇形盖板7-1构成，扇形盖板7-1拼接处设有转动销7-2，转动销7-2设在半圆凹槽3两侧，半圆凹槽3和转动上盖7内壁均覆有铜皮层8。使用时，待加工样品通过半圆凹槽3两侧V型弹簧夹片6固定在加热台1内，盖上转动上盖7，转动上盖7通过两个扇形盖板7-1构成，旋转开盖，密封效果好，启动电机，底部中心孔4用来投射光应用，控制热电偶被粘接在孔的内部，内壁的铜皮层8导热效果较好，使加热台1内热量充足，V型弹簧夹片6带动样品绕转轴5旋转加热，受热均匀。改进后的可旋转电子束加热样品台结构简单，操作方便，工作稳定可靠，加热室密封性好，样品得到旋转加热，受热均匀，有效提高设备加热效率。以上说明对本技术而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改、变化或等效，但都将落入本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可旋转电子束加热样品台，包括加热台（1）和底座（2），其特征是，所述加热台（1）上设有半圆凹槽（3），半圆凹槽（3）底部中心设有中心孔（4），半圆凹槽（3）两侧通过转轴（5）连接有V型弹簧夹片（6），半圆凹槽（3）上方设有转动上盖（7）。

【技术特征摘要】
1.一种可旋转电子束加热样品台，包括加热台（1）和底座（2），其特征是，所述加热台（1）上设有半圆凹槽（3），半圆凹槽（3）底部中心设有中心孔（4），半圆凹槽（3）两侧通过转轴（5）连接有V型弹簧夹片（6），半圆凹槽（3）上方设有转动上盖（7）。2.根据权利要求1所述的可旋转电子束加热样品台，其特征是，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴凯，
申请(专利权)人：常州东传新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32