A weldability GaN based LED aluminum electrode evaporation method, which comprises the following steps: (1) to be plated wafer is placed on the electron beam evaporation Taiwan chamber, vacuum evaporation of metals; (2) Cr; (3) depositing metal Pt or Ti; (4). Metal plated Al; (5) of the cavity and the surface of the wafer is cooled to room temperature, vacuum chamber. The invention of aluminum metal evaporation phases through evaporation, control the speed and direction of the planet carrier rate and each stage of evaporation, to obtain a property of dense, uniform surface, bonding properties of aluminum electrodes is better; simple steps, without the need for aluminum layer evaporation and cooling of a layer that can be the thick layer of aluminum plating, greatly enhance the evaporation efficiency, reduce the evaporation process and cooling risk ratio for all electron beam evaporation Taiwan aluminum coating.
【技术实现步骤摘要】
一种可焊性强的GaN基LED铝电极蒸镀方法
本专利技术涉及一种使用电子束蒸发台制作GaN基LED晶片的金属电极的蒸镀方法,属于半导体加工
技术介绍
发光二极管(简称LED),是由氮、砷、镓、磷等的化合物制作而成,是一种将电能转化为光能,通过电子与空穴的复合辐射发光的装置。根据其化学性质可以分为有机发光二极管OLED和无机发光二极管LED,现在主要有砷化镓红光二极管、磷化镓绿光二极管、氮化镓蓝光二极管碳化硅黄光二极管等。LED被广泛认可为第四代照明光源或者绿色光源。因具有节能、环保、寿命长、体积小等各种特点,在各种背光源、普通照明、装饰、显示已经指示等领域倍大量应用,尤其近年来LED在普通照明领域被大众人群广泛接受下,整个LED行业得到了飞速的发展。最开始的LED电极结构大多数使用黄金作为主要蒸发材料,黄金因具有非常好的稳定性导热、延展性等优点被大量使用,随着普通照明领域的大规模使用,黄金的高昂成本,让人们较难接受。这是必须寻找一种可以代替黄金且价格低廉的金属作为LED电极主要材料。金属铝因具生产成本较低金属性良好而被采用。但是金属铝,因为其自身原因制作的电极结构极易在空气中产生氧化现象,金属表面氧化严重存在表民的金属氧化层薄膜使封装厂在对电极进行封装焊线时变得极为不易,而且常常发生无法焊线、焊球脱落、挤铝等异常现象。根据金属铝在蒸镀过程中的形成规律,可以通过具体的控制电子束蒸镀成膜过程,使铝膜具有一定的可焊性。中国专利文献CN104269484A提出了一种LED晶片蒸镀时防止电极表面产生麻点的方法,主要是通过将蒸镀的厚铝层通过分多层蒸镀的方法,同 ...
【技术保护点】
一种可焊性强的GaN基LED铝电极蒸镀方法,使用电子束蒸发台,包括以下步骤:(1)抽真空:将待蒸镀的晶片放置在电子束蒸发台腔室内,进行抽真空,使电子束蒸发台腔室内真空度至少为6.0E‑6Torr;(2)蒸镀金属Cr:腔室达到真空值要求后,进行Cr层蒸镀,通过膜厚仪控制速率为3‑6埃/秒,厚度达到10‑300埃;(3)蒸镀金属Pt或Ti:蒸镀金属Cr之后冷却1‑5分钟,进行Pt或Ti蒸镀,速率为1‑5埃/秒,厚度为300‑5000埃;(4)蒸镀金属Al:蒸镀金属Pt或Ti之后冷却1‑5分钟,进行Al层蒸镀,厚度为n埃在0‑n/4厚度,蒸镀速率为3‑6埃/秒,从下方看电子束蒸发台的行星架逆时针旋转,转速4‑8转/分钟;在n/4‑3n/4厚度,蒸镀速率为10‑25埃/秒,从下方看电子束蒸发台的行星架顺时针旋转,转速15‑20转/分钟;在3n/4‑n厚度,蒸镀速率为3‑6埃/秒,从下方看电子束蒸发台的行星架逆时针旋转,转速4‑8转/分钟;(5)冷却:蒸镀Al层完成后,使腔室和晶片表面冷却至室温,腔室破真空。
【技术特征摘要】
1.一种可焊性强的GaN基LED铝电极蒸镀方法,使用电子束蒸发台,包括以下步骤:(1)抽真空:将待蒸镀的晶片放置在电子束蒸发台腔室内,进行抽真空,使电子束蒸发台腔室内真空度至少为6.0E-6Torr;(2)蒸镀金属Cr:腔室达到真空值要求后,进行Cr层蒸镀,通过膜厚仪控制速率为3-6埃/秒,厚度达到10-300埃;(3)蒸镀金属Pt或Ti:蒸镀金属Cr之后冷却1-5分钟,进行Pt或Ti蒸镀,速率为1-5埃/秒,厚度为300-5000埃;(4)蒸镀金属Al:蒸镀金属Pt或Ti之后冷却1-5分钟,进行Al层蒸镀,厚度为n埃在0-n/4厚度,蒸镀速率为3-6埃/秒,从下方看电子束蒸发台的行星架逆时针旋转,转速4-8转/分钟;在n/4-3n/4厚度,蒸镀速率为10-25埃/秒,从下方...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐晓强,刘琦,闫宝华,徐现刚,
申请(专利权)人:山东浪潮华光光电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:山东,37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。