一种用于真空镀膜机的抽气口结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机的抽气口结构，包括：真空腔室，在真空腔室的外周壁设置有抽气口，抽气口为呈上下延伸的长形口结构，在抽气口处设置有调节阀板，调节阀板可绕竖直的旋转轴线可转动调节地设置于抽气口处，抽气口的外侧连接有抽气罩，抽气罩设置有进气口和出气口，进气口与抽气口匹配连接。通过转动调节阀板来使得调节阀板的竖直侧边与抽气口之间形成过流间隙，过流间隙使得真空腔室上、中、下部的抽气流通面积相同，进而令真空腔室上、中、下部的抽气更加均匀，避免出现真空腔室内上、中、下的镀膜膜层的色差问题，同时根据实际的加工情况，转动调节阀板调节过流间隙的气体流通面积，无需通过抽气动力装置来调节。节。节。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的抽气口结构


[0001]本技术涉及真空镀膜机的
，特别涉及一种用于真空镀膜机的抽气口结构。

技术介绍

[0002]利用真空蒸发技术在工件表面镀制一层具有特殊性能膜层的技术，已经成熟运用于工业生产及装饰材料上，现有一般采用立式真空镀膜机，而立式真空镀膜机在使用时，存在以下问题：镀膜室与抽气系统连接处的抽气口，多开在镀室的壁体中部，现有为了提高抽真空的均匀度，会在镀室的壁体开设多个抽气口，多个抽气口呈上下间隔排布，在实际使用时由于相邻两个抽气口之间具有一定的距离，如果镀膜室的高度较高时，镀室上下两端与中部之间的抽气均匀性会很差，影响到工件的镀膜效果，并且在调节抽气量时，也难以控制。

技术实现思路

[0003]本技术目的在于提供一种用于真空镀膜机的抽气口结构，以解决现有技术中所存在的一个或多个技术问题，至少提供一种有益的选择或创造条件。
[0004]为解决上述技术问题所采用的技术方案：
[0005]本技术提供一种用于真空镀膜机的抽气口结构，其包括：呈竖直设置的真空腔室，在所述真空腔室的外周壁设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：其包括：呈竖直设置的真空腔室(100)，在所述真空腔室(100)的外周壁设置有至少一个抽气口(110)，所述抽气口(110)为呈上下延伸的长形口结构，在所述抽气口(110)处设置有调节阀板(120)，所述调节阀板(120)可绕竖直的旋转轴线可转动调节地设置于所述抽气口(110)处，所述抽气口(110)的外侧连接有抽气罩(130)，所述抽气罩(130)设置有进气口(140)和出气口(150)，所述进气口(140)与所述抽气口(110)匹配连接。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：所述旋转轴线与调节阀板(120)上下两端中心的连线共线。3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：所述调节阀板(120)的上下两端分别通过转动轴(121)与抽气罩(130)转动连接。4.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：武文全，
申请(专利权)人：佛山市佛欣真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：