基于双层机械手的安装定位工装及使用方法技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体镀膜设备中基于双层机械手的安装定位工装及使用方法，此结构及使用方法主要应用于双层机械手的前端手指安装及定位过程中，属于半导体镀膜设备的制造及应用
技术介绍
现有的半导体镀膜设备为提高设备产能，大部分采用了双层机械手传取片，但是在设备每次的装配、移位、水平调整及传片调试中，双层机械手的前端手指安装、调平及传片测试都比较耗时，调平流程比较复杂，大大增加了设备的整体维护时间。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的，设计了一种新型的基于双层机械手的安装定位工装结构，不仅能实现双层机械手前端手指的安装与调平的一体式操作，而且减少了设备的整体维护时间并降低了水平调整的复杂程度，尤其适用于双层机械手为左右对称的双臂结构。为实现上述目的，本专利技术采用下述技术方案：基于双层机械手的安装定位工装，包括安装定位基板(1)、机械手下层前端手指的定位孔(6)、机械手上层前端手指的定位孔(7)，其中安装定位基板(1)为对称结构，用于定位机械手上下层前端手指，而机械手下层前端手指的定位孔(6)、机械手上层前端手指的定位孔(7)的精确度完全依靠机械加工精度保证。具体安装方法：先将安装定位基板(1)的机械手上层前端手指的定位
孔(7)与机械手上层手臂(4)上的安装螺钉孔对齐并固定，再将机械手下层前端手指(2)沿着定位基板(1)的方向装入到机械手上层手臂(4)上固定锁紧，然后将安装定位基板(1)拆下。再进行机械手下层前端手指(3)的安装固定，将安装定位基板(1)的机械手下层前端手指的定位孔(6)与机械手下层手臂(5)上的安装螺钉孔对齐...
【技术保护点】
一种基于双层机械手的安装定位工装，其特征在于：该工装包括安装定位基板(1)、机械手下层前端手指的定位孔(6)、机械手上层前端手指的定位孔(7)，其中安装定位基板(1)为对称结构，用于定位机械手上下层前端手指。
【技术特征摘要】
1.一种基于双层机械手的安装定位工装，其特征在于：该工装包括安装定位基板(1)、机械手下层前端手指的定位孔(6)、机械手上层前端手指的定位孔(7)，其中安装定位基板(1)为对称结构，用于定位机械手上下层前端手指。2.采用如权利要求1所述的一种基于双层机械手的安装定位工装的使用方法，其特征在于：先将安装定位基板(1)的机械手上层前端手指的定位孔(7)与机械手上层手臂(4)上的安装螺钉孔对齐并固定，再将机械手下层前端手指(2)沿着定位基板(1)的方向装入到机械手上层手臂(4)上固定锁紧，然后将安装定位基板(1)拆下，再进行机械手下层前端手指...
【专利技术属性】
技术研发人员：廉杰，方仕彩，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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