晶圆自动取放机械手制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆自动取放机械手，机械手臂能够在水平面内直线往复滑动定位于水平伸展定位板上，水平伸展定位板能够绕竖直方向轴线旋转定位于垂直升降板上，垂直升降板能够沿竖直方向直线升降定位于基座上，所述水平伸展驱动装置、水平旋转驱动装置和垂直升降驱动装置分别驱动机械手臂、水平伸展定位板和垂直升降板动作，且所述机械手臂上设有至少一个吸盘，控制器分别控制水平伸展驱动装置、水平旋转驱动装置、垂直升降驱动装置和吸盘的真空吸引装置动作，本实用新型专利技术能够快速的将晶圆放入或取出晶圆盒，全自动化控制，无需人工辅助，取放速度快，取放位置准确。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶圆自动取放机械手，其特征在于：包括固定安装于晶圆去膜设备机架上的基板（1）、水平伸展驱动装置（2）、水平旋转驱动装置（3）、垂直升降驱动装置（4）、水平伸展定位板（5）、垂直升降板（9）、机械手臂（10）和控制器，机械手臂（10）能够在水平面内直线往复滑动定位于水平伸展定位板（5）上，水平伸展定位板（5）能够绕竖直方向轴线旋转定位于垂直升降板（9）上，垂直升降板（9）能够沿竖直方向直线升降定位于基座上，所述水平伸展驱动装置（2）、水平旋转驱动装置（3）和垂直升降驱动装置（4）分别驱动机械手臂（10）、水平伸展定位板（5）和垂直升降板（9）动作，且所述机械手臂（10）上设有至少一个吸盘（1...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周振根，
申请(专利权)人：昆山富利瑞电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：