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半导体镀膜设备用不同高度的销及使用方法技术
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文档序号:9224155
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半导体镀膜设备用不同高度的销及使用方法,主要针对现有技术存在的不能很好的解决不同支撑点处销高度不等的问题,而提供一种可通过在各支撑点处采用多个结构相同但高度不同的销,来实现各支撑点处的高度一致的技术问题。该结构通过更换不同高度的销,来实现各...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。
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