【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件制造控制系统,尤其涉及离子注入机的。
技术介绍
离子注入机是一种通过引导杂质注入半导体晶片,从而改变晶片的传导率的设备,其中晶片传输系统的稳定性直接关乎设备的生产效率以及企业的效益,因此一套行之有效的晶片传输控制系统就至关重要,而在晶片传输控制系统中机械手是唯一的传输载体,因此如果能够提高机械手传送晶片的稳定性和精准度,那么整个系统的稳定性就大幅度地提高。要提高机械手传送晶片的稳定性和精准度,就要定位晶片在机械手上圆心位置,进而计算出机械手上晶片的偏移量,通过调节机械手的方向和位置来抵消掉这些误差,达到传送的精准度和稳定性。鉴于机械手传送晶片的重要性,如何开发出是离子注入机稳定性急需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术是针对现有技术中无法确定机械手上晶片的偏移误差,影响设备稳定性,可能给客户造成重大损失,而开发出的。如图1示意图。本专利技术通过以下技术方案实现:1.,包括:机械手(I)、控制器(2)、编码器(3)、传感器I (4)、传感器2 (5)、传感器3 (6)、传感器4 (7)、晶片(8),其中传感器4 (7)是备用的。2.,其中所述的机械手(I)用来传送晶片(8),控制器⑵通过编码器⑶采集到的编码,来控制和调节机械手取送晶片⑶的方向和距离,机械手(I)取到晶片(8)后,那么传感器1(4)、传感器2(5)和传感器3(6)就会检测机械手上晶片的3个位置编码,然后把这3个位置编码传递给控制器(2),控制器(2)通过一系列运算,最终定位出晶片(8)的圆心。3.,如图2中所示:设置了一个晶片圆心O的理论位置,即晶片在机械手上的理论 ...
【技术保护点】
一种定位机械手上晶片圆心的方法,包括:机械手(1)、控制器(2)、编码器(3)、传感器1(4)、传感器2(5)、传感器3(6)、传感器4(7)、晶片(8),其中传感器4(7)是备用的。其特征在于:机械手(1)用来传送晶片(8),控制器(2)通过编码器(3)采集到的编码,来控制和调节机械手取送晶片(8)的方向和距离,机械手(1)取到晶片(8)后,那么传感器1(4)、传感器2(5)和传感器3(6)就会检测机械手上晶片的3个位置编码,然后把这3个位置编码传递给控制器(2),控制器(2)通过一系列运算,最终定位出晶片(8)的圆心。
【技术特征摘要】
1.一种定位机械手上晶片圆心的方法,包括:机械手(I)、控制器(2)、编码器(3)、传感器I (4)、传感器2 (5)、传感器3出)、传感器4(7)、晶片(8),其中传感器4(7)是备用的。其特征在于:机械手(I)用来传送晶片(8),控制器(2)通过编码器(3)采集到的编码,来控制和调节机械手取送晶片(8)的方向和距离,机械手(I)取到晶片(8)后,那么传感器1(4)、传感器2 (5)和传感器3 (6)就会检测机械手上晶片的3个位置编码,然后把这3个位置编码...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨亚兵,蔡先武,
申请(专利权)人:北京中科信电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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