一种束流竖直方向角度的测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种竖直方向束流角度的连续测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯(5)，束流挡板(4)，前置角度挡板(3)，束流挡板传动装置(35)，前置挡板传动装置(42)，控制器(37)。该方法包括：束流挡板停在起始点(36)，前置挡板向下运动到结束点(50)，控制器(37)采集束流值大小，判断是否满足测量条件。前置挡板向下运动，每到达一个角度测量点(51)便停止运动，此时束流挡板开始向下运动，并开始不断采集束流值。当前置挡板到达结束点时结束测量，分析每组束流采集值得出束流挡板的临界位置(49)。经过数据处理，得到与测量点一一对应的束流角度大小(18)。

【技术实现步骤摘要】
一种束流竖直方向角度的测量装置及方法
本专利技术涉及离子注入机中束流角度的测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。
技术介绍
随着集成电路制造技术的飞速发展，对半导体工艺设备提出了越来越高的要求，为满足新技术的需要，作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一的离子注入机在束流指标、束能量纯度、注入深度控制、注入均匀性与生产率等方面需要不断地改进提高。注入的均匀性、束流平行度、注入角度、注入离子精度是离子注入机在注入过程中关键性能参数。这些参数需要通过束流测量来监测。离子注入机应用了多种技术测量束流的角度。移动法拉第杯与主剂量杯配合使用，可以测量束流水平方向的角度以及平行度。VPS用于测量束流竖直方向的平均角度。上述测量技术都有一定的缺点。如测量束流水平方向角度的技术，必须由移动法拉第配合，缺乏灵活性，而且只可测量固定点的角度。再如，VPS只能测量竖直方向的平均角度，无法测量任意点的角度。随着离子注入机技术不断向前发展，势必需要新的技术来测量束流剖面上任意点的角度。本专利技术提供了一种测量束流垂直方向上任意点角本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种竖直方向束流角度的连续测量装置，该装置包括：法拉第杯(5)，束流挡板(4)，前置挡板(3)，束流挡板传动装置(35)，前置挡板传动装置(42)，控制器(37)。/n

【技术特征摘要】
1.一种竖直方向束流角度的连续测量装置，该装置包括：法拉第杯(5)，束流挡板(4)，前置挡板(3)，束流挡板传动装置(35)，前置挡板传动装置(42)，控制器(37)。


2.一种用于在离子注入系统中，竖直方向束流角度的连续测量方法，该方法包括：将前置挡板运动到结束点，以判断当前束流是否满足测量条件，开始测量时，控制器在前置挡板运动路径上预设了多个角度测量点，前置挡板每到达一个角度测量点便暂停运动，此时束流挡板向下运动，控制器每隔一小段间隔便采集一次束流值，得到一组束流值，然后前置挡板向下一个角度测量点运动，当前置挡板到达结束点时，结束测量，此时控制器将得到多组束流测量值，分析每组的束流采集值以得到对应的束流挡板临界位置，得到与测量点一一对应的角度值。


3.权利要求2中所述的方法，其中判断当前束流是否满足测量条件包括：前置挡板向下运动到结束点，束流挡板停在起始点。控制器采集束流值，并将前置挡板和束流挡板返回起始位置。控制器分析束流采集值是否满足竖...

【专利技术属性】
技术研发人员：李更兰，田龙，张丛，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11