本发明专利技术涉及用于晶圆缺口位置检测的红外线光源。本发明专利技术提供了一种新型红外线控制电路，该红外线控制电路具有稳定可控、成本低的优点。当该红外线控制电路应用于离子注入机时，可为晶圆缺口检测提供稳定可控的红外线光源，属于半导体领域。
【技术实现步骤摘要】
一种红外线控制电路
本专利技术涉及一种红外线控制电路，应用在离子注入机。
技术介绍
离子注入机是将某种元素的原子进行电离，并使其在电场中加速，控制其以一定的速度和角度射入固体材料表面的设备。粒子注入时，要求晶圆的缺口方向一致，以保证对固体材料的导电性能改善一致。所以在粒子注入前，需要对晶圆进行精确定位。本专利技术设计了一种红外线控制电路，为离子注入机晶圆定位提供了稳定可控的红外线光源。
技术实现思路
本专利技术设计了一种红外线控制电路，提供了稳定可控的红外线光源，应用在离子注入机的晶圆定位。本专利技术的一种红外线控制电路由五大部分组成，包括输入电路、放大电路、输出电路、反馈电路及监测电路。本专利技术提供的一种红外线控制电路实现了两个功能，一是由输入电路101、放大电路102、输出电路103、反馈电路104实现的闭环控制红外线光强功能，二是由反馈电路104和监测电路105实现的实时监测红外线光强功能。本专利技术具有如下显著优点：1.红外线光强稳定可控、2.红外线光强可监测。3.控制电路简单，成本低。附图说明图1为根据本专利技术的一个实施方式的红外线控制电路结构框图图2为根据本专利技术的一个实施方式的输入电路结构框图图3为根据本专利技术的一个实施方式的放大电路结构框图图4为根据本专利技术的一个实施方式的输出电路结构框图图5为根据本专利技术的一个实施方式的反馈电路结构框图图6为根据本专利技术的一个实施方式的监测电路结构框图具体实施方式下面结合附图进一步详细描述本专利技术，本专利技术的较佳实施例图示在附图中。提供实施例是为了使揭示的内容更加透彻和完整。但不作为对本专利技术的限定。图1为根据本专利技术的一个实施方式的红外线控制电路结构框图，其中101为输入电路，102为放大电路，103为输出电路，104为反馈电路，105为监测电路。红外线控制电路的控制信号由输入电路101转化为相应电压信号，该电压信号经放大电路102进行电压调理，调理信号控制输出电路103的电流，驱动LED发出红外线，反馈电路104中的光敏电阻接收红外线信号，并转换为电压信号输入至放大电路的输入端，形成闭环控制。反馈电路104转换的电压信号另外经过监测电路105的处理，转换为0～10V的可监测电压信号，该信号是红外线光强的量化指标。图2为根据本专利技术的一个实施方式的输入电路结构框图，201为2个限流电阻，202为1个分压电阻，在202分压电阻处并联电容，起滤波作用。控制信号经过限流电阻限流，分压电阻的分压得到电压信号。控制信号与电压信号满足下式的关系：ui＝λ1·uc(1)式中ui为输入电路的电压信号，uc为输入电路的控制信号，λ1为与输入电路有关的系数。图3为根据本专利技术的一个实施方式的放大电路结构框图，301为放大器，302为PNP晶体管，303为NPN晶体管。放大电路的输入为输入电路101转化后的电压信号，该电压信号输入放大器301正向输入端，输出信号输入PNP晶体管302的发射极，PNP晶体管302的集电极输出连接NPN晶体管303的基极。在放大电路中，放大器301起到电压跟随作用，PNP晶体管302起到一级放大输出电压作用，NPN晶体管303起到二级放大输出电流作用。经过放大电路的处理，放大器301的输入电压信号与输出电流满足下式的关系：io＝λ2·ui(2)式中io为放大电路的输出电流，λ2为与放大电路有关的系数。图4为根据本专利技术的一个实施方式的输出电路结构框图，401为红外线LED。输出电流驱动红外线LED401发生红外线，其光强与输出电流满足下式的关系：Q＝λ3·io(3)式中Q为红外线光强量化值，λ3为与红外线LED有关的参数。综合式(1)(2)(3)，可得到该红外线控制电路的光强与控制信号满足下式的关系：Q＝λ1·λ2·λ3·uc(4)图5为根据本专利技术的一个实施方式的反馈电路结构框图，501为光敏电阻，502为固定值电阻。光敏电阻501接收红外线LED401发生的红外线，自身电阻随之发生变化，与其串联的固定值电阻502的分压uQ随之变化。uQ与红外线Q满足下式的关系：uQ＝η1·Q(5)式中uQ为固定值电阻502的分压，η1为与红外线LED410有关的参数。图6为根据本专利技术的一个实施方式的监测电路结构框图601为一级放大器，602为二级放大器，603为三级放大器。反馈电路104测的电压uQ信号经一级放大器601，进行反相比例放大，放大器601的输出连接放大器602的正向输入端，进行跟随处理，放大器602的输出连接放大器603的负向输入端，进行反相单位比例放大处理。监测电路的输出为差分信号，正端取自放大器603的输出，负端取自放大器602输出。监测电路的输出电压与反馈电路104测的电压uQ满足下式的关系：uO＝η2·uQ(6)式中uO为监测电路的输出电压，η2为与监测电路有关的系数。综合式(5)和(6)，可得出监测电路的输出电压与红外线光强的关系如下式：uO＝η1·η2·Q(7)综合前文所述，根据式(4)，通过调节控制信号，就可调节红外线光强；根据式(7)，红外线光强的大小可通过监测电路的输出电压量化表示。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种红外线控制电路，为晶圆定位提供稳定的红外线光源。该控制电路包括：/n输入电路，用于转换输入电压，/n放大电路，用于放大输入电压，/n输出电路，用于控制红外线产生器件，/n反馈电路，用于检测红外线强度信号，并将此信号反馈至放大电路的输入端，监测电路，用于处理红外线强度信号，转换0～10V可监测的电压信号。/n
【技术特征摘要】
1.一种红外线控制电路，为晶圆定位提供稳定的红外线光源。该控制电路包括：
输入电路，用于转换输入电压，
放大电路，用于放大输入电压，
输出电路，用于控制红外线产生器件，
反馈电路，用于检测红外线强度信号，并将此信号反馈至放大电路的输入端，监测电路，用于处理红外线强度信号，转换0～10V可监测的电压信号。
2.如权利要求1所述的一种红外线控制电路，其所述输入电路是由3个或任意不少于2个电阻接地。
3.如权利要求1所述的一种红外线控制电路，其所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘海财，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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