本发明公开一种组件新型边框，其新型边框包括长边框、短边框、定位角码。根据组件不同类型、不同尺寸，确定需要的新型边框中长边框、短边框不同尺寸要求。根据不同尺寸需求，组成不同组件类型。本发明在生产过程中可有效兼容不同组件类型、不同尺寸的组件...

太阳能作为一种可以永续使用的绿色可再生能源，有着巨大的开发应用潜力。但由于光伏电池的输出特性与外界环境因素的变化有很大关系，目前大规模量产的光伏电池光电转换效率仍然不高且价格昂贵。光伏发电自动跟踪装置是提高太阳能利用率，降低光伏发电成本...

本发明公开一种光伏背板汇流条伸出尺寸测量新方法，其测量使用的工装包括定位螺栓、高度尺、移动水平尺、定位尺。根据接线盒要求的背板汇流条伸出尺寸、间距不同要求，上下移动移动水平尺，在高度尺、定位尺、移动水平尺之间形成测量活动置区。本发明在测...

本发明公开一种光伏接线盒工装打胶新方法，其线盒使用的工装包括定位体，垂直连接在定位体上方的滑杆，滑杆上连接可移动和可固定的三个限位体。根据不同个体接线盒尺寸或分体式线盒，左右移动限位体，在定位体和限位体、限位体和限位体之间形成线盒放置区...

本发明属于半导体芯片制造领域，特别涉及低能大束流离子注入机对硅晶圆注入离子工艺中的自动均匀性调节方法。一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法包括：线圈组的调节方法(1)、磁极组的调节方法(2)。其特征是先通过调节低能大束流机台特有的多...

本发明涉及用于晶圆缺口位置检测的红外线光源。本发明提供了一种新型红外线控制电路，该红外线控制电路具有稳定可控、成本低的优点。当该红外线控制电路应用于离子注入机时，可为晶圆缺口检测提供稳定可控的红外线光源，属于半导体领域。

本发明公开了一种竖直方向束流密度的测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯(1)，束流挡板(3)，传动装置(10)，控制器(12)。该方法包括：设定测量精度，精度将决定束流挡板每运动多少距离(6)法拉第杯...

本发明公开了一种竖直方向束流角度的连续测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯(5)，束流挡板(4)，前置角度挡板(3)，束流挡板传动装置(35)，前置挡板传动装置(42)，控制器(37)。该方法包括：束...

本发明公开了一种束流性质的测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯阵列(9)，束流挡板(8)，束流挡板传动装置(51)，前置挡板阵列(19)，前置挡板阵列传动装置(32)，控制器(54)，该方法包括：测量...

本发明公开了一种离子注入机中断后恢复注入状态的方法，包括：续打界面程序(1)、数据库(2)、调度逻辑程序(3)、注入逻辑程序(4)。其中调度逻辑程序(3)和注入逻辑程序(4)是必须的软件环境，运行在一台正常进行加工的离子注入机上。续打界...

本发明公开了一种双出口平行透镜，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、真空盒(4)。平行透镜磁极面有一个入口和两个出口，入口磁极边线形状为圆弧，两个出口边线形状为曲率不同的曲线。当线圈加一定电流后，带电离子束以一定角度由入口进入平行...

本发明公开了一种大束流离子注入机打火剂量补打方法，包括：PMAC板卡(1)ACC‑24E2A PMAC轴卡(2)打火检测板(3)直线运动控制组件(4)工控机(5)PMAC MACRO机箱(6)光栅尺(7)直线电机(8)驱动器(9)电源(...

本发明涉及一种用于特种离子注入机的引束功能。本发明提供了一种自动引束的方法，该自动引束的方法具有调束成功率高的特点。该自动引束方法适用于特种离子注入机，程序稳定性高，与手动引束相比，提高了效率，减少了工作量。

本发明公开了一种固态源自动引束的方法，首先在启动固态源时选定相应种类的固态源，按照固态源种类不同坩埚电源的温度初始值(2)也不同，坩埚电源的温度初始值(2)设定后，同时送入氩气1.0sccm(3)充当载体，当坩埚的温度反馈值与它的设定值...

本发明公开了一种新型中束流离子注入机平行透镜磁铁结构，包括：磁铁磁极模块(1)、通电线圈模块(2)、磁铁磁轭模块(3)，其中磁铁磁极模块(1)由上下磁极构成，磁极间能够产生理想磁场，进而将以一定发散角进入磁铁的离子束利用磁极进行偏转后，...

本发明公开了一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)，其中支撑架(101)为三角立体结构，主要起到装置的支撑和定位作用；驱动机构(102...

本发明公开了一种双向聚焦质量分析器，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、磁屏蔽板(4)、真空盒(5)。质量分析器磁极半径R为400mm，偏转角度

本发明公开了一种晶片位置校准方法及装置，包括：Finger(1)、Wafer导向板(2)、Wafer(3)和Casset托盘(4)。本发明主要介绍了Wafer位置校准的方法及装置，本方法及装置提高了Wafer位置的准确性，提高了Wafe...

一种电池片石墨舟的输送线：包括：本发明公布了一种石墨舟输送线。光伏产业作为我国战略性新兴产业之一，是未来能源发展规划的重要组成部分，对太阳能电池片的需求日益增长。太阳能电池片是易碎品，在生产、包装、运输及存储过程中的防护极为重要。本发明...

一种200片装电池片石英舟的缓存装置：包括：本发明公布了一种200片装电池片石英舟的缓存装置。太阳能电池片是易碎品，在生产、包装、运输及存储过程中的防护极为重要，该发明重点解决智能制造生产过程中太阳能电池片的缓存。本发明专利的技术方案要...