一种离子注入机气动切换装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)，其中支撑架(101)为三角立体结构，主要起到装置的支撑和定位作用；驱动机构(102)主要由气缸固定块、气缸、绝缘棒夹块、开关撞块、调速阀装配而成，通过外围气路的切换，控制绝缘棒夹块实现一定角度内的往复运动；从动绝缘棒(103)由绝缘棒、放电球头、高压导线组成，在驱动机构(102)的带动下，实现接触位置的变换；浪涌抑制组件(104)由三个浪涌抑制放置块和两块低能二极管电路板构成，当从动绝缘棒(103)的放电球头与高电位接触时，实现浪涌抑制的作用；到位信号检测(105)由到位传感器、连接线缆和固定座组成，将切换的状态反馈到控制器、实现切换位置的监测。本发明专利技术涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

A pneumatic switching device for ion implanter

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机气动切换装置
本专利技术涉及一种半导体器件制造控制系统，即离子注入机，特别地涉及一种用于离子注入机高低能量气动切换的装置。
技术介绍
随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入设备提出了更高的要求，注入离子的能量是离子注入设备最重要的三个指标之一，通过改变注入的能量能够拓展离子注入设备的应用范围，可应用于各种材料改性、半导体器件制造以及大功率器件制造等领域。可见，实现不同能量的切换是离子注入设备的必要功能。为了能够完成不同能量的注入，设备需要在不同能量之间切换，因此，能量切换装置就成了注入设备的重要零部件。
技术实现思路
本专利技术公开了一种离子注入机气动切换装置，可用于离子注入设备不同能量之间的切换，操作简单，响应速度快。本专利技术公开了一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)。其中支撑架(101)为三角立体结构，主要起到装置的支撑和定位作用；驱动机构(102)通过外围气路的切换，控制绝缘棒夹块实现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)，其特征在于：能量切换电路的通断通过驱动机构(102)中气缸的伸缩运动完成，从动绝缘棒(103)的切换角度可以达到45度，不仅能够满足长距离接触点的通断，也能有效避免切换点之间高低电位距离过近造成的打火问题。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)，其特征在于：能量切换电路的通断通过驱动机构(102)中气缸的伸缩运动完成，从动绝缘棒(103)的切换角度可以达到45度，不仅能够满足长距离接触点的通断，也能有效避免切换点之间高低电位距离过近造成的打火问题。


2.如权利要求1所述的一种离子注入机气动切换装置，驱动机构(102)主要由气缸固定块(201)、气缸(202)、轴肩螺钉(203)、轴承隔垫(204)、调速阀(205)、开关撞块(206)、绝缘棒夹块(207)、销轴(208)等构成。其特征在于：气缸固定块(201)、气缸(202)和绝缘棒夹块(207)组成三角形结构，气缸(202)在压缩空气作用时实现伸缩运动，从而改变绝缘棒夹块(207)的角度，实现动力的输出，同时为了保证运动时整体结构的稳定性，气缸固定块(201)上下两端分别设计的连接点，固定到机架上。


3.如权利要求1所述的一种离子注入机气动切换...

【专利技术属性】
技术研发人员：李红赛，李士会，雷晓刚，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11