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本发明公开了一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)，其中支撑架(101)为三角立体结构，主要起到装置的支撑和定位作用；驱动机构(102)主...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)，其中支撑架(101)为三角立体结构，主要起到装置的支撑和定位作用；驱动机构(102)主...