一种固态源自动引束的方法技术

本发明专利技术公开了一种固态源自动引束的方法，首先在启动固态源时选定相应种类的固态源，按照固态源种类不同坩埚电源的温度初始值(2)也不同，坩埚电源的温度初始值(2)设定后，同时送入氩气1.0sccm(3)充当载体，当坩埚的温度反馈值与它的设定值在允许的误差内(5)，氩气以0.2sccm/s速度下降(6)，直至氩气关闭，此时坩埚内的固态源已经产生一定量的气体，并且逐渐增多，坩埚电源温度继续调节(4)，setup检测的束流值在不断增加，当setup检测束流值与目标值比较(7)相差较大时，坩埚电源温度继续调节(4)，当setup检测束流值与目标值比较在误差内(7)时，停止坩埚电源温度调节(4)，即可结束(8)。

A method of automatic beam guiding by solid state source

【技术实现步骤摘要】
一种固态源自动引束的方法
本专利技术涉及一种固态源自动引束的方法，应用到离子注入机中，属于半导体器件制造领域。
技术介绍
在半导体制造过程的离子注入工艺中，要求离子注入机设备不但能使用气体注入B、P、As等离子，还要求能注入Sb、In等重金属离子，而Sb、In等重金属元素不能通过气态化合物分子直接送气，只能使用卤化物固体气化工作，这样就必须使用固体坩锅蒸发器。在整个过程中，坩锅蒸发器加热温度的控制直接决定着固体离子源能否稳定可靠地工作，而其加热温度又由坩埚电源控制决定，因此固态源的自动调节主要是坩埚电源的温度调节过程。
技术实现思路
如图1所示，固态源自动引束流程包括：开始(1)、坩埚电源温度初始值(2)、氩气1.0sccm(3)、坩埚温度调节(4)、坩埚温度反馈值与设置值比较是否在允许误差内(5)、氩气0.2sccm/s下降(6)、setup束流检测值与目标值是否在一定误差内(7)、结束(8)。本方法的应用装置框图如图2所示，其特征在于：首先固态源放入离子源的坩埚(9)里，坩埚电源给离子源的坩埚(9)加热，坩埚(9本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固态源自动引束的方法，包括：开始(1)、坩埚电源温度初始值(2)、氩气1.0sccm(3)、坩埚温度调节(4)、坩埚温度反馈值与设置值比较是否在允许误差内(5)、氩气0.2sccm/s下降(6)、setup束流检测值与目标值是否在一定误差内(7)、结束(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种固态源自动引束的方法，包括：开始(1)、坩埚电源温度初始值(2)、氩气1.0sccm(3)、坩埚温度调节(4)、坩埚温度反馈值与设置值比较是否在允许误差内(5)、氩气0.2sccm/s下降(6)、setup束流检测值与目标值是否在一定误差内(7)、结束(8)。


2.一种固态源自动引束的方法，其特征在于：首先固态源放入离子源内的坩埚里，坩埚电源给离子源内的坩埚加热，坩埚的温度持续上升，通过热传导，坩埚里的固态源温度也持续上升，直到固态源升华成气态，变成气体进入到离子源的弧室中。在启动固态源时选定相应种类...

【专利技术属性】
技术研发人员：林萍，肖志强，李莉，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11