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本发明公开了一种固态源自动引束的方法，首先在启动固态源时选定相应种类的固态源，按照固态源种类不同坩埚电源的温度初始值(2)也不同，坩埚电源的温度初始值(2)设定后，同时送入氩气1.0sccm(3)充当载体，当坩埚的温度反馈值与它的设定值在允...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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