【技术实现步骤摘要】
一种特种离子注入机自动引束的方法
本专利技术涉及一种特种离子注入机的自动引束方法，本专利技术应用于特种离子注入机软件中。
技术介绍
离子注入机作为一种大型的半导体加工设备，有复杂的水路、电气、气路及辅助系统，有着众多的运动部件。上千个部件之间需要紧密的配合，各个电源、磁极以及电机需要进行精密的控制。这对整体的稳定性要求极高。调节束流是离子注入之前的一个重要的环节，过程复杂，涉及到的电源和参数众多，需要考虑的因素也比较复杂，手动操作需要对机台非常了解才可以进行，并且要调出一个非常好的束流也很困难，特种离子注入机是定制机，相对大束流中束流等比较简单，以前的软件功能只实现了手动引束，没有实现自动功能，怎样使客户能够轻松实现引束的操作并且减轻现场调试人员的工作是急需考虑的问题。针对上面的问题，所以提出了一种特种离子注入机自动引束的方法来提高引束的效率。
技术实现思路
本专利技术公开了一种特种离子注入机自动引束的方法，主要用于特种离子注入机软件中。本方法能够实现自动引束的功能，并且能保证很高的成功率...
【技术保护点】
1.一种特种离子注入机自动引束的方法，包括：自动引束按钮、主线程判断、开启引束线程、引束流程、引束是否成功、结束、停止引束按钮、结束线程。其特征在于：在界面上点击自动引束按钮后，主线程判断相关条件满足后会开启引束线程来实现引束功能，不会占用主程序资源，使程序可以不卡，顺利运行。/n
【技术特征摘要】
1.一种特种离子注入机自动引束的方法，包括：自动引束按钮、主线程判断、开启引束线程、引束流程、引束是否成功、结束、停止引束按钮、结束线程。其特征在于：在界面上点击自动引束按钮后，主线程判断相关条件满足后会开启引束线程来实现引束功能，不会占用主程序资源，使程序可以不卡，顺利运行。
2.如权利要求1所示的一种特种离子注入机自动引束的方法，自动引束按钮、停止引束按钮是互斥关系，启动界面时自动引束按钮是enable的，停止引束按钮是disable的，当点击自动引束按钮后，停止引...
【专利技术属性】
技术研发人员：王博喜，李晨冉，李士会，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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