本发明公开了一种用Matlab计算均匀性的软件方法，包括Matlab生成的DLL文件(1)、主程序函数(2)、动态库Transfer文件、均匀性计算函数(3)、返回结果(4)。

本发明公开了一种气动阀控制方法，属于半导体装备领域。其中包括如下几个模块：工控机(1)、loopmaster板卡(2)、PDI控制器(3)、阀岛(4)、气阀(5)、到位传感器(6)。其中工控机发送命令，由loopmaster板卡建立光纤...

本发明讲述的是一种基于光电传感器光通量检测的插片机插槽定位方法。该方法由伺服系统(包括伺服电机和伺服驱动器)(1)、光电传感器(2)、可编程逻辑控制器(PLC)(3)、气动系统(4)组成。说明书对本方法进行了详细的说明，并给出具体实施方案。

本发明公开了一种定位台上硅片位置自动校准的方法，包括：定向台(1)、控制器(2)、工控机(3)、机械手(4)。定向台(1)完成硅片相关信息的测量并传给控制器(2)，控制器(2)再将此信息上传给工控机(3)，工控机(3)计算出定向台(1)...

本发明公开了一种电磁波谐振装置，包括：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)、电容调节装置(5)和电容调节环(6)。其中电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)和四极透镜(4)组成谐振装置的主体部分，通过确定谐...

本发明提供一种离子注入机用光路对中工装，该工装用于完成离子注入机关键光路部件位置校准，以保证离子束沿理论设计路线传输。该对中工装包括激光发射装置、可调整激光器固定架和光路部件工装，该对中工装可以实现对中束流离子注入机的离子源区与平行透镜...

本发明讲述的是一种基于PCI总线协议双光纤环路冗余结构通讯板卡。该发明由PCI总线接口(1)、双光纤接口(2)、控制板卡(3)组成。该发明是直接插在工业控制计算机的PCI插槽内，工业控制计算机通过对此通讯板卡进行写操作，将控制信息传送给...

本发明公开了一种多功能双灯丝离子源，包括弧室腔体，工艺气体被导入其中，在其内部生成等离子体；阳极筒，兼作阳极，安装在弧室腔体内并与其绝缘；两个热阴极，分别布置在阳极筒内两侧并与阳极筒和弧室腔体分别绝缘；两个阴极，分别布置在阳极筒内两侧并...

本发明公开了一种基于高能离子注入机射频信号的相位锁定电路。主要包括：鉴相器(1)，放大电路(2)，压控振荡器(3)，与非门(4)和环路滤波器(5)。鉴相器(1)接收射频输入和环路反馈信号，经过放大电路(2)放大鉴相器(1)的输出电压，该...

本发明公开了一种电源短路保护报警电路，属于半导体制造领域。电源短路保护报警电路包括：1、电源输出电路；2、电源短路自动断开/闭合电路；3、电源信号转换电路；4、报警电路。由于电源的电流监控输出端口输出0至10V电压信号，因此，当电源发生...

本发明公开了一种广泛适用的斑点束平行透镜磁铁边界形状设计方法，属于半导体装备领域。如图1所示是斑点束平行透镜磁铁及斑点束线的俯视图，斑点束平行透镜磁铁设计方法包括：1、平行透镜入口焦点位置O点；2、束线中心轨迹上入口焦点与平行透镜入口距...

本发明涉及一种粗调低能宽带离子束均匀性的方法，包括下列步骤：下载菜单数据，检测和设置能量模式；初始化所有调节参数，调节离子源、引出及聚焦参数，确保setcup杯束流最大；收回setcup杯后，通过逐级比较法拉第阵列两端测束杯束流，调节平...

本发明公开了一种新型宽束流减速器，包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1)和抑制...

本发明公开了一种中束流离子注入机的聚焦硅堆装置。所述该装置主要结构包括：固定夹板(1)、绝缘管(2)、PCB板(3)、高压二极管(4)、接线球(5)、放电盘(6)和高压插座(7)。整个装置的一侧由固定夹板(1)固定于加速管外壳，外部为绝...

本发明公开了一种非接触高压监测报警的方法，属于半导体制造领域。此非接触高压监测报警的方法包括：1、测试探头；2、信号调理电路；3、发光报警电路；4、蜂鸣报警电路；5、门连锁控制电路；6、电源转换电路等。测试探头将离子注入机高压区域的强电...

本发明涉及用于聚焦带电粒子束流的磁场结构。本发明提供了一种新型磁场聚焦结构，使束流在某一平面内实现非均匀的聚焦效果。当该磁场结构应用于离子注入机时，可矫正束流非均匀的空间或角度分布。

本发明公开了一种离子注入隔离真空装置，包括：执行模块(1)、驱动模块(2)、真空密封模块(3)，其中执行模块(1)的作用在于阻断离子源区和束线区的真空连接部位；驱动模块(2)为整个发明的动力部分，通过改进外购气缸实现对执行模块的驱动；真...

本发明公开了一种应用于宽带离子束离子注入机中的磁四极透镜，它包括四个电磁铁单元、一个离子束通道、四个支撑板和一个底板。其中电磁铁单元又由线圈、柱形磁轭、冷却水管道和固定板组成，线圈缠绕在磁轭上，冷却水管道盘形缠绕在线圈之间，固定板在磁轭...

本发明阐述了一种解决离子注入机PMAC部件运行时控制程序卡机或死机的处理方法。整个流程包括：1、上位机执行PMAC命令。2、上位机调用通讯控件发送对应的PMAC指令。3、下位机接收上位机发送的PMAC指令。4、下位机调用相应的PMAC模...

本发明公开了一种glitch信号处理装置，包括如下几个模块：主控制器，负责数据处理和控制信号的发送(1)、光纤信号传输模块(2)，通过光纤传送glitch触发信号、电源信号采集与控制模块(3)，采集电源反馈信号并控制设置值、电源模块(4...