一种新型宽束流减速器制造技术

本发明专利技术公开了一种新型宽束流减速器，包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1)和抑制电极1(2)之间的电势差产生一个加速电场，离子加速，同时聚焦电极(6)与抑制电极1(2)之间的电势差形成了一个水平方向电场，此电场方向使离子向里靠拢，达到水平方向离子聚焦作用。随后是两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜，根据透镜原理，离子在穿过透镜过程中，离子先聚焦后发散，通过减速器之后既达到减速目的，离子又起到聚焦作用。本发明专利技术装置与以往装置相比，宽束流垂直方向聚焦效果更好，并且减少了打火次数，能很好满足宽带束束流要求。

A new type of wide beam reducer

The invention discloses a novel wide beam reducer includes a deceleration electrode (1), two (2), 1 inhibition of electrode two to 1 electrode (3), two (4), 2 inhibition of electrode two to 2 electrode (5), two (6) focusing electrode and the two electrode 3 (7), ion through the deceleration electrode (1) into the reducer in the deceleration electrode (1) and 1 (2) inhibited the electrode potential difference between an accelerating electric field, ion acceleration, and the focusing electrode (6) and 1 (2) inhibited the electrode potential difference between formation a horizontal electric field, the electric field direction so that the ion to move closer, reaching the level of direction of ion focusing effect. Then is the two electrode 2 (4), inhibition of two electrode 1 (3) and two (5) 2 electrodes of a lens, the lens according to the principle, in the process of ion ion through the lens, focusing first after the divergence, through the speed reducer after reaching deceleration purposes, and has focused on the role of ion. Compared with the prior device, the device has better focusing effect in the vertical direction of the wide beam flow, and reduces the number of striking times, and can well meet the requirements of the broadband beam stream.

【技术实现步骤摘要】
一种新型宽束流减速器
本专利技术涉及一种新型宽带束流减速器，主要涉及离子注入机，属于半导体制造领域。
技术介绍
随着半导体工艺的发展，且随着特质线宽的缩小，工艺复杂程度的提高，束流的均匀性和稳定性对于离子注入系统愈发重要，已成为器件成败与否的重要关键。在低能宽带离子注入机引出束流能量很低、束流很大时，由于空间电荷效应的影响，离子束发散严重，导致束流水平均匀性调节更加困难，因此如何设计恰当离子光学系统及宽带束均匀性调节装置；以保证离子束流均匀性和稳定性是宽束离子注入机设备成功的关键。宽带离子源产生高密度等离子体，由引出系统引出具有一定宽度尺寸的宽带离子束，在需要低能离子束的时候，需要启动一级或者二级减速器，某些模式中，两级减速器都需要使用，减速器主要作用就是获得低能的离子束，通过给电极输入负电压，但是同时离子束流大小以及品质不能变差，原先的减速器设计不能满足我们的使用要求。首先是离子束流损失严重，主要是由于电极结构导致离子发散，其次是束流打到抑制电极，打火严重，以至于电源经常关闭。严重影响束流品质。
技术实现思路
为了解决宽带束束流发散以及打火的问题，本专利技术集合开发半导体离子注入机的成功经验及技术优势，在离子光学系统基础上设计一种宽束减速器装置。该装置使得宽束流垂直方向聚焦效果更好，并且减少了打火次数。能很好满足宽带束束流要求。为了实现上述目的，该装置采用下面技术方案：本专利技术公开了一种新型宽束减速器，包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1)和抑制电极1(2)之间的电势差产生一个加速电场，离子加速，在先前的装置基础上，不仅改变了减速电极(1)与抑制电极1(2)的间距，而且抑制电极1(2)比先前的宽度减少，离子加速距离明显缩短，离子发散的角度也相应减小，同时聚焦电极(6)与抑制电极1(2)之间的电势差形成了一个水平方向电场，此电场方向使离子向里靠拢，达到水平方向离子聚焦作用，随后是两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜，根据透镜原理，离子在穿过透镜过程中，离子先聚焦后发散，通过减速器之后既达到减速目的，离子又起到聚焦作用。本专利技术与现有的技术相比具有如下显著优点：1、该减速器在垂直方向聚焦效果好，并减少打火次数；2、该减速装置稳定性好，结构简单，成本较低。附图说明图1是本专利技术的总体结构图。图2是本专利技术图1的侧面剖面图。图3是本专利技术所述的先前减速器装置的侧面截面图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。附图1本专利技术宽束减速器的结构图，该装置主要用于低能宽束离子注入机减速环节。其特征包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速器之后既达到减速目的，又起到更好聚焦作用。附图2本专利技术所述的减速器侧面剖面图，通过此剖面图标注，与图3的比较可以看出，抑制电极1(2)与减速电极(1)间距减小，并且抑制电极1(2)也比先前减小，因此两电极间的电场分布距离减小，离子加速段减少，离子发散的角度相应减小。穿过加速电场后，与图3的比较发现。新型的减速器还包括两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜，根据透镜原理，离子在穿过透镜过程中，离子先聚焦后发散，加这个透镜之后。离子聚集效果比先前的减速器装置更好。以上所述仅为本专利技术的实施例，并非用于限定本专利技术的保护范围，而是用于说明本专利技术。凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型宽束流减速器装置，该装置主要用于低能宽束离子注入机减速环节。其特征包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速器之后既达到减速目的，又起到更好聚焦作用。

【技术特征摘要】
1.一种新型宽束流减速器装置，该装置主要用于低能宽束离子注入机减速环节。其特征包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速器之后既达到减速目的，又起到更好聚焦作用。2.一种新型宽束流减速器装置，该装置主要用于低能宽带束离子注入机减速环节。其特征是，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：林萍，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11