一种非接触高压监测报警的方法技术

本发明专利技术公开了一种非接触高压监测报警的方法，属于半导体制造领域。此非接触高压监测报警的方法包括：1、测试探头；2、信号调理电路；3、发光报警电路；4、蜂鸣报警电路；5、门连锁控制电路；6、电源转换电路等。测试探头将离子注入机高压区域的强电场转换为一定幅度的小信号，送入信号调理电路进行调整和判断，根据监测区域有无高压进行声光报警，且根据门联锁状态进行分级报警。本设计中还包含了一个电源转换电路，能够将外界电压转化为各电路工作电压。此高压监测方法采用非接触方式监测离子注入机高压区域是否存在高压，以保证操作者的人身安全，从而达到安全生产维护目的。本发明专利技术涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

Method for non-contact high voltage monitoring and alarming

The invention discloses a non-contact high voltage monitoring and alarming method, belonging to the field of semiconductor manufacturing. The non-contact high voltage monitoring and alarm method includes: 1, testing probes; 2, signal conditioning circuit; 3, light-emitting alarm circuit; 4, buzzer alarm circuit; 5 gate interlocking control circuit; 6, power conversion circuit. The test probe will convert the strong electric field of ion implantation in the high pressure region for a certain range of small signal, to the signal conditioning circuit for adjustment and judgment, according to the monitoring area has no high voltage acousto-optic alarm and interlock alarm status was graded according to the door. The design also contains a power conversion circuit, the external voltage can be converted to the operating voltage of each circuit. The high-pressure monitoring method uses non-contact mode to monitor whether there is high voltage in the high voltage area of the ion implanter, so as to ensure the personal safety of the operator, so as to achieve the purpose of safe production and maintenance. The invention relates to an ion implantation device, belonging to the field of semiconductor manufacturing.

【技术实现步骤摘要】
一种非接触高压监测报警的方法
本专利技术涉及离子注入机高压区域的高压监测报警，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。
技术介绍
离子注入机是半导体器件制造中常用的掺杂设备，该设备通过高压提供给掺杂离子动能，从而使掺杂离子进入硅片，完成注入工艺。离子注入机工艺注入过程中，不同工艺往往对应不同的离子能量，而不同的离子能量又直接取决于离子起终止电压。并且不同注入能量下，会在束流路径上不同区域加不同电压用来聚合或发散束流，用来保证束流品质。这些加到离子注入机不同区域的电压往往为高压，且由于注入机设备结构复杂，大多数区域直接裸露在可接触位置，危急操作人员安全。本专利技术提供了一种非接触高压监测报警的方法，该方法实现方便，集成度高，且实时持续监测，实践表明该电路对高压监测报警效果良好。
技术实现思路
本专利技术涉及一种非接触高压监测报警的方法。该专利技术应用于离子注入机，该方法适用于离子注入机工作或维护过程中对高压区域的高压监测报警，避免设备卸电装置故障或人为因素导致高压致伤事故。本专利技术通过以下技术方案实现：一种非接触高压监测报警的方法，如图1所示，它包括测试探头(1)、信号调理电路(2)、发光报警电路(3)、蜂鸣报警电路(4)、门连锁控制电路(5)、电源转换电路(6)。各功能单元的作用如下：测试探头：将离子注入机高压区域的强电场转换为一定幅度的小信号；信号调理电路：将测试探头所得小信号放大并进行调整判断；发光报警电路：完成声光报警功能；门联锁控制电路：通过判断离子注入机防护门开关状态，控制蜂鸣报警电路是否起作用。若注入机防护门打开状态，启动蜂鸣报警电路，若注入机防护门关闭状态，则关闭蜂鸣报警电路；电源转换电路：为其他各电路模块供电。本专利技术具有如下显著优点：1、监测高压方式为非接触方式，监测过程中不会对注入机高压区域产生任何影响。2、报警为分级报警，根据离子注入机防护门的开关状态，采用不同的报警级别。3、该方法全部由硬件电路完成，能够进行实时监测，并且结构简单、安全可靠。附图说明图1是非接触高压监测报警的结构框图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步的介绍，但不作为本专利技术的限定。如图1所以，测试探头(1)以非接触方式放置在所需高压监测的区域附近，测试探头(1)将高压区域的强电场转换为一定幅度的小信号，将此小信号送入信号调理电路(2)进行调整和判断，通过信号调理电路(2)，判断监测区域有无高压启动发光报警电路(3)，同时根据门联锁控制电路(5)的信号进行分级报警，若注入机防护门打开状态，启动蜂鸣报警电路(4)，若注入机防护门关闭状态，则关闭蜂鸣报警电路(4)。其中的电源转换电路(6)，能够将外界电压转化为各电路工作电压。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非接触高压监测报警的方法，主要包括测试探头(1)、信号调理电路(2)、发光报警电路(3)、蜂鸣报警电路(4)、门连锁控制电路(5)、电源转换电路(6)。测试探头将离子注入机高压区域的强电场转换为一定幅度的小信号，送入信号调理电路进行调整和判断，根据监测有无高压进行声光报警。

【技术特征摘要】
1.一种非接触高压监测报警的方法，主要包括测试探头(1)、信号调理电路(2)、发光报警电路(3)、蜂鸣报警电路(4)、门连锁控制电路(5)、电源转换电路(6)。测试探头将离子注入机高压区域的强电场转换为一定幅度的小信号，送入信号调理电路进行调整和判断，根据监测有无高压进行声光报警。2.如权利要求1所述的一种非接触高压监测报警的方法，其特征在于，采用非接触方式...

【专利技术属性】
技术研发人员：田龙，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11