一种电磁波谐振装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电磁波谐振装置，包括：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)、电容调节装置(5)和电容调节环(6)。其中电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)和四极透镜(4)组成谐振装置的主体部分，通过确定谐振装置中的电感、电容确定谐振装置的谐振频率；电容调节装置(5)和电容调节环(6)调节等效电容C的大小，从而改变谐振腔的谐振频率，使谐振腔谐振频率Fr＝13.56MHz，驻波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，电阻R＝50，电抗X＝0。

A kind of electromagnetic wave resonance device

The invention discloses an electromagnetic wave resonance device, which comprises an inductor coil (1), an equivalent capacitance (2), a drift tube (3), a quadrupole lens (4), a capacitance regulating device (5), and a capacitance adjusting ring (6). The inductance of the coil (1), (2), the equivalent capacitance of the drift tube (3) and (4) the main quadrupole resonance device part, by determining the inductance and capacitance in the resonant device determine the resonant frequency of the device; capacitance regulating device (5) and (6) regulating capacitance adjusting ring capacitance C the size, thus changing the resonant frequency of the cavity, the resonant frequency of Fr = 13.56MHz in Bobbi, SWR = 1, |Z| = 50 resistance impedance, R = 50, X = 0.

【技术实现步骤摘要】
一种电磁波谐振装置
本专利技术应用于高能离子注入机，电磁波谐振装置使离子加速方式不同于以往的高压直流加速，而是使高能离子注入机采用射频加速方式。
技术介绍
目前国外高能离子注入机多数采用射频加速方式实现高能量，相比于直流高压加速方式，射频加速方式具有更容易实现较高能量、更加稳定等优点。射频加速系统中，每个加速电极采用独立的RF功率电源系统以便于独立调节RF电压复制和相位，提高加速效率。每个RF功率源的同步控制对加速系统性能影响很大，其电压控制方式也不同于现有直流高压系统，因此需要突破相关技术。电磁波谐振装置作为射频加速中的核心部件，其重要性显而易见。
技术实现思路
本专利技术公开了一种电磁波谐振装置，主要用于高能离子注入机系统，使离子更容易获得高能量、高稳定性等特点，在高能离子注入机加速系统起到至关重要的作用。本专利技术通过以下技术方案实现：电磁波谐振装置包括：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)、电容调节装置(5)和电容调节环(6)。其特征在于：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)和四极透镜(4)组成谐振装置的主体部分，通过确定谐振装置中的电感、电容确定谐振腔的谐振频率；电容调节装置(5)和电容调节环(6)调节等效电容C的大小，从而调节谐振腔的谐振频率、驻波比、阻抗、电阻、电抗。本专利技术中电磁波谐振装置谐振频率Fr＝13.56MHz，驻波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，电阻R＝50，电抗X＝0。具体实施方式1、电磁波谐振装置包括：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)、电容调节装置(5)和电容调节环(6)。2、电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)和四极透镜(4)组成谐振装置的主体部分，通过确定谐振装置的等效电感L、等效电容C，确定谐振腔的谐振频率Fr；3、电容调节装置(5)通过其端面与腔体底部内表面的距离d，，从而改变的电容的大小(详见说明书附图2)，d增加时Fr增大，d减小时Fr减小，从而调节谐振腔的谐振频率、驻波比、阻抗、电阻、电抗；4、电容调节环(6)通过调节其端面与腔体底部内表面的距离d1(详见说明书附图3)，d1增加时Fr增大，d1减小时Fr减小，从而调节谐振腔的谐振频率、驻波比、阻抗、电阻、电抗。本专利技术中电磁波谐振装置谐振频率Fr＝13.56MHz，驻波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，电阻R＝50，电抗X＝0。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任附图说明图1电感线圈图2电容调节装置图3电容调节环。本文档来自技高网...

【技术保护点】
电磁波谐振装置包括：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)、电容调节装置(5)和电容调节环(6)。其特征在于：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)和四极透镜(4)组成谐振装置的主体部分，通过确定谐振装置中的电感、电容确定谐振腔的谐振频率；电容调节装置(5)和电容调节环(6)调节等效电容C的大小，从而调节谐振腔的谐振频率、驻波比、阻抗、电阻、电抗。本专利技术中电磁波谐振装置谐振频率Fr＝13.56MHz，驻波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，电阻R＝50，电抗X＝0。

【技术特征摘要】
1.电磁波谐振装置包括：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)、电容调节装置(5)和电容调节环(6)。其特征在于：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)和四极透镜(4)组成谐振装置的主体部分，通过确定谐振装置中的电感、电容确定谐振腔的谐振频率；电容调节装置(5)和电容调节环(6)调节等效电容C的大小，从而调节谐振腔的谐振频率、驻波比、阻抗、电阻、电抗。本发明中电磁波谐振装置谐振频率Fr＝13.56MHz，驻波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，电阻R＝50，电抗X＝0。2.如权利要求1所示的一种电磁波谐振装置，电感线圈(1)其特征在于：电感线圈(1)作为高频振荡线圈与等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)构成电磁波谐振腔的主体部分。根据谐振装置的谐振频率Fr＝13.56MHz，电感线圈(1)主要的设计参数：螺旋半径R＝101.7mm，螺距d＝41.6mm，线圈匝数n＝7.25(详见说明书附图1)。3.如权利要求1所示的一种电磁波谐振装置，等效电容(2)包括：谐振腔外壳、腔体底板。其特征在于：等效电容(2)与电感线圈(1)、漂移管(3)、四极透镜(4)构成电磁波谐振腔的主体部分。根据谐振装置的谐振频率Fr＝...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11