【技术实现步骤摘要】
一种定向台上硅片位置自动校准的方法
本专利技术涉及一种半导体器件制造控制系统,尤其涉及离子注入机的一种定向台上硅片位置自动校准的方法。
技术介绍
在半导体离子注入领域,随着工艺制程中集成度与低能浅结掺杂等技术要求的提高,对离子注入机的注入工艺中硅片的注入角度、晶格方向以及传输精度提出更高的要求。其中硅片传输系统的精确性与稳定性直接影响设备的生产效率,并与企业的效益息息相关,因此一套高效稳定的硅片传输系统就至关重要。在硅片传输系统中,机械手与定向台是不可或缺的重要组成部分,如果提高这两部分硅片传输的稳定性与精准度,那么整个传输系统的稳定性就大幅度提高。而提高机械手与定向台硅片传输的稳定系与精准度,就需要准确校准硅片在定向台上的位置,保证机械手能够精准地取放硅片,并进行后续传输。否则,硅片若在定向台上处于错误的位置,将导致硅片定向失败,更严重会导致硅片传输过程中滑落破损。传统的定向台上硅片位置的校准,是通过人工手动校准,效率低下,精准性差,且需要破坏真空腔体的稳定状体。因此,引入定向台上硅片位置的自动校准方法,达到自动校准定向台上硅片位置,保证硅片传输系统的稳定性及精准度。
技术实现思路
本专利技术是针对现有手动校准定向台上硅片位置效率低、准确性差,且影响设备的稳定状态,而开发出的一种定向台上硅片位置自动校准的方法。如图1所示,本专利技术通过以下技术方案实现:1.一种定位台上硅片位置自动校准的方法,包括:定向台(1)、控制器(2)、工控机(3)、机械手(4)。2.一种定位台上硅片位置自动校准的方法,其过程为:定向台(1)完成硅片相关信息的测量并传给控制器(2),控 ...
【技术保护点】
一种定位台上硅片位置自动校准的方法,包括:定向台(1)、控制器(2)、工控机(3)、机械手(4)。定向台(1)完成硅片相关信息的测量并传给控制器(2),控制器(2)再将此信息上传给工控机(3),工控机(3)计算出定向台(1)上硅片位置偏移量,并将此偏移量转换为机械手(4)坐标的位置补偿量,将此位置补偿量下发给机械手(4),完成位置校准。机械手(4)完成定向台(1)上硅片的取放任务。其中,控制器(2)接收工控机(3)指令,控制定向台(1)进行匀速旋转,并获得位置‑光强信息。
【技术特征摘要】
1.一种定位台上硅片位置自动校准的方法,包括:定向台(1)、控制器(2)、工控机(3)、机械手(4)。定向台(1)完成硅片相关信息的测量并传给控制器(2),控制器(2)再将此信息上传给工控机(3),工控机(3)计算出定向台(1)上硅片位置偏移量,并将此偏移量转换为机械手(4)坐标的位置补偿量,将此位置补偿量下发给机械手(4),完成位置校准。机械手(4)完成定向台(1)上硅片的取放任务。其中,控制器(2)接收工控机(3)指令,控制定向台(1)进行匀速旋转,并获得位置-光强信息。2.如权利要求1所述的一种定位台上硅片位置自动校准的方法,其特征在于:控制器(2)通过控制定向台(1)的匀速旋转运动,并采集旋转位置对应的光感...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:北京中科信电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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