一种硅片自动上料设备制造技术

本发明专利技术公开了一种不间断送料的硅片自动上料设备，包括机架，机架上设有第一滑动座以及第一滑动驱动装置，第一滑动座上设有两个升降台以及两个伺服升降驱动机构，升降台上设有储料框架；第一滑动座上设有两个导料皮带机构，机架上设有沿垂直与第一滑动座滑动方向运动的过渡底板以及过渡驱动装置，过渡底板上设有第二滑动座以及第二滑动驱动装置，第二滑动座与第一滑动座之间架设有两个传料皮带机构，过渡底板上设有传片张紧座，过渡底板与机架间架设有出片皮带机构，过渡底板上设有出片张紧座，第一滑动座及第二滑动座同步运动使两个传料皮带机构分别出片皮带机构相对接。

Automatic feeding device for silicon wafer

The invention discloses an automatic feeding device, uninterrupted feeding of the wafer comprises a machine frame, the machine frame is provided with a first sliding seat and a first sliding drive device is provided with a first sliding seat two lifts and two servo lifting driving mechanism, the lifting platform is the first storage frame; the sliding seat is provided with two the feeding belt mechanism, a machine frame is provided with a first sliding block sliding along the vertical direction of movement of the transition plate and transition driving device is provided with a transition plate second sliding seat and second sliding drive two conveying belt mechanism set up between the second sliding seat and the first sliding seat, the bottom plate is provided with a transition film backstand the transition plate and frame, set up a transition belt mechanism, the bottom plate is provided with a sheet tensioning seat, a sliding seat and a sliding seat the first two to two feeding synchronous movement The belt mechanism is respectively provided with an out piece belt mechanism.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片自动上料设备
本专利技术涉及一种硅片自动上料设备。
技术介绍
硅片进入清洗机清洗时，需将若干片硅片并列装载在料框中。硅片从清洗机出来后，需后段分选设备分选出不合格硅片。现有的后段上料设备中的硅片上料模式为手动人工上料、大型龙门架机械手上料两种。人工上料模式：需要人为的将硅片从清洗机后道搬运至上料台指定的储料区，并将硅片从料框中取出，并对设备进行相应上料模组允许运行的操作，属于纯手工操作，费时费力，效率低下。机械手上料模式：硬件成本价高，占地较大，且后期维护的费用高昂，技术要求高。以上两种现有的上料模式中，均有在上料模组之间切换或料框与料框之间转换时的送片间断，导致后段分选设备短时缺料，无法充分的发挥其工作效能。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种不间断送料的硅片自动上料设备。为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案为：一种硅片自动上料设备，包括机架，机架上设有第一滑动座以及驱动第一滑动座来回滑动的第一滑动驱动装置，第一滑动座上设有两个沿第一滑动座运动方向并列设置的升降台以及两个驱动升降台上下运动的伺服升降驱动机构，升降台上设有储料框架，储料框架中设有将片料从上到下平行排列的、与料框中布料距离相同的置料架；第一滑动座上设有两个分别与两个储料框架相对应的导料皮带机构，导料皮带机构一侧端部伸入相应储料框架中，机架上设有沿垂直与第一滑动座滑动方向运动的过渡底板，机架上设有驱动过渡底板运动的过渡驱动装置，过渡底板上设有第二滑动座，过渡底板上设有驱动第二滑动座与第一滑动座同步滑动的第二滑动驱动装置，第二滑动座与第一滑动座之间架设有两个传料皮带机构，传料皮带机构位于第一滑动座上的一端与相应的导料皮带机构相对接，过渡底板上设有两个沿竖直方向运动的、用于张紧传料皮带机构的传片张紧座，过渡底板上还设有驱动传片张紧座的传片张紧驱动装置；过渡底板与机架间架设有出片皮带机构，过渡底板上设有沿竖直方向运动的、用于张紧出片皮带机构的出片张紧座，过渡底板上还设有驱动出片张紧座的出片张紧驱动装置；第一滑动座及第二滑动座同步运动使两个传料皮带机构分别出片皮带机构相对接；导料皮带机构、传料皮带机构与出片皮带机构的线速度一致。本专利技术进一步所要解决的技术问题是：提供一种在清洗机和后段分选设备间自动上料的硅片自动上料设备。为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案为：所述机架上在储料框架远离出片皮带机构的一侧设有平行于两个储料框架连线方向的滑轨，滑轨上滑动设有送料座，机架上设有驱动送料座的伺服送料动力机构，送料座上设有转动台以及驱动转动台的转动驱动装置，转动台上铰接有转运架以及驱动转运架在水平位置和竖直位置间来回翻转的翻转驱动装置，转运架包括与转动台相铰接的底板，底板上在与转动台铰接一侧设有与底板相垂直的侧托板，底板上还设有与侧托板垂直的、用于限制料框位置的侧挡板，侧挡板上设有对应于料框中全部片料的推料槽口；机架上在滑轨一端处设有输送装满片料的料框的上料装置，机架上在上料装置上方设有将装满片料的料框推入转运架中的推框装置；机架上在两个储料框架不与出片皮带机构相对应处分别设有一个推片机构，推片机构穿过推料槽口将片料从转运架上的料框内推入相应储料框架中；机架上在滑轨另一端处设有将转至水平位置的转运架中的空料框送出的料框输出机构。作为一种优选的方案，所述侧托板上两侧在对应于置料架两边处分别设有缺口，所述料框输送机构为两条并列设置且同步转动的皮带输出机构，皮带输出机构的上部皮带位于缺口处。作为一种优选的方案，所述侧挡板上远离底板的一端铰接有用于压紧料框顶端的压紧块，所述侧挡板上设有驱动压紧块运动的压紧气缸。作为一种优选的方案，所述推框装置包括设置在机架上的推框气缸，推框气缸的活塞杆端部设有推框板。作为一种优选的方案，所述推片机构包括设置在机架上的安装架，安装架上设有推片气缸，推片气缸的活塞杆端部设有与侧挡板上推料槽口相配合的推片板。本专利技术的有益效果是：由于设有两个储料框架，一个储料框架供料时，可对另一个储料框架进行装料，从而保证物料的供给；本设备还可实现切换时料片不间断送料。由于机架上在滑轨一端处设有输送装满片料的料框的上料装置，机架上在上料装置上方设有将装满片料的料框推入转运架中的推框装置；机架上在两个储料框架不与出片皮带机构相对应处分别设有一个推片机构，推片机构穿过推料槽口将片料从转运架上的料框内推入相应储料框架中；机架上在滑轨另一端处设有将转至水平位置的转运架中的空料框送出的料框输出机构，使得清洗机出来的装载在料框中的片料能自动送至后段上料设备中，大大节省了人力成本。由于侧挡板上远离底板的一端铰接有用于压紧料框顶端的压紧块，所述侧挡板上设有驱动压紧块运动的压紧气缸，可以防止料框在翻转过程中发生倾覆的情况。附图说明图1是本专利技术的主视结构示意图。图2是本专利技术的俯视结构示意图。图3是本专利技术的左视结构示意图。图1至图3中：1.机架，2.第一滑动座，3.升降台，4.伺服升降驱动机构，5.储料框架，6.置料架；7.导料皮带机构，8.过渡底板，9.过渡驱动装置，10.第二滑动座，11.第二滑动驱动装置，12.传料皮带机构，13.传片张紧座，14.传片张紧驱动装置；15.出片皮带机构，16.出片张紧座，17.出片张紧驱动装置；18.滑轨，19.送料座，20.伺服送料动力机构，21.转动台，22.转动驱动装置，23.转运架，231.底板，232.侧托板，233.侧挡板，234.压紧块，235.压紧气缸，24.翻转驱动装置，25.上料装置，26.推框装置；261.推框气缸，262.推框板，27.推片机构，271.安装架，272.推片气缸，273.推片板。28.料框输出机构。具体实施方式下面结合附图，详细描述本专利技术的具体实施方案。如图1-3所示，一种硅片自动上料设备，包括机架1，机架1上设有第一滑动座2以及驱动第一滑动座2来回滑动的第一滑动驱动装置，第一滑动座2上设有两个沿第一滑动座2运动方向并列设置的升降台3以及两个驱动升降台3上下运动的伺服升降驱动机构4，升降台3上设有储料框架5，储料框架5中设有将片料从上到下平行排列的、与料框中布料距离相同的置料架6；第一滑动座2上设有两个分别与两个储料框架5相对应的导料皮带机构7，导料皮带机构7一侧端部伸入相应储料框架5中，机架1上设有沿垂直与第一滑动座2滑动方向运动的过渡底板2318，机架1上设有驱动过渡底板2318运动的过渡驱动装置9，过渡底板2318上设有第二滑动座10，过渡底板2318上设有驱动第二滑动座10与第一滑动座2同步滑动的第二滑动驱动装置11，第二滑动座10与第一滑动座2之间架设有两个传料皮带机构12，传料皮带机构12位于第一滑动座2上的一端与相应的导料皮带机构7相对接，过渡底板2318上设有两个沿竖直方向运动的、用于张紧传料皮带机构12的传片张紧座13，过渡底板2318上还设有驱动传片张紧座13的传片张紧驱动装置14；过渡底板2318与机架1间架设有出片皮带机构15，过渡底板2318上设有沿竖直方向运动的、用于张紧出片皮带机构15的出片张紧座16，过渡底板2318上还设有驱动出片张紧座16的出片张紧驱动装置17；第一滑动座2及第二滑动座10运动使两个传料皮带机构12分别出片皮本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片自动上料设备，其特征在于：包括机架，机架上设有第一滑动座以及驱动第一滑动座来回滑动的第一滑动驱动装置，第一滑动座上设有两个沿第一滑动座运动方向并列设置的升降台以及两个驱动升降台上下运动的伺服升降驱动机构，升降台上设有储料框架，储料框架中设有将片料从上到下平行排列的、与料框中布料距离相同的置料架；第一滑动座上设有两个分别与两个储料框架相对应的导料皮带机构，导料皮带机构一侧端部伸入相应储料框架中，机架上设有沿垂直与第一滑动座滑动方向运动的过渡底板，机架上设有驱动过渡底板运动的过渡驱动装置，机架上设有驱动过渡底板运动的过渡驱动装置，过渡底板上设有第二滑动座，过渡底板上设有驱动第二滑动座与第一滑动座同步滑动的第二滑动驱动装置，第二滑动座与第一滑动座之间架设有两个传料皮带机构，传料皮带机构位于第一滑动座上的一端与相应的导料皮带机构相对接，过渡底板上设有两个沿竖直方向运动的、用于张紧传料皮带机构的传片张紧座，过渡底板上还设有驱动传片张紧座的传片张紧驱动装置；过渡底板与机架间架设有出片皮带机构，过渡底板上设有沿竖直方向运动的、用于张紧出片皮带机构的出片张紧座，过渡底板上还设有驱动出片张紧座的出片张紧驱动装置；第一滑动座及第二滑动座同步运动使两个传料皮带机构分别出片皮带机构相对接；导料皮带机构、传料皮带机构与出片皮带机构的线速度一致。...

【技术特征摘要】
1.一种硅片自动上料设备，其特征在于：包括机架，机架上设有第一滑动座以及驱动第一滑动座来回滑动的第一滑动驱动装置，第一滑动座上设有两个沿第一滑动座运动方向并列设置的升降台以及两个驱动升降台上下运动的伺服升降驱动机构，升降台上设有储料框架，储料框架中设有将片料从上到下平行排列的、与料框中布料距离相同的置料架；第一滑动座上设有两个分别与两个储料框架相对应的导料皮带机构，导料皮带机构一侧端部伸入相应储料框架中，机架上设有沿垂直与第一滑动座滑动方向运动的过渡底板，机架上设有驱动过渡底板运动的过渡驱动装置，机架上设有驱动过渡底板运动的过渡驱动装置，过渡底板上设有第二滑动座，过渡底板上设有驱动第二滑动座与第一滑动座同步滑动的第二滑动驱动装置，第二滑动座与第一滑动座之间架设有两个传料皮带机构，传料皮带机构位于第一滑动座上的一端与相应的导料皮带机构相对接，过渡底板上设有两个沿竖直方向运动的、用于张紧传料皮带机构的传片张紧座，过渡底板上还设有驱动传片张紧座的传片张紧驱动装置；过渡底板与机架间架设有出片皮带机构，过渡底板上设有沿竖直方向运动的、用于张紧出片皮带机构的出片张紧座，过渡底板上还设有驱动出片张紧座的出片张紧驱动装置；第一滑动座及第二滑动座同步运动使两个传料皮带机构分别出片皮带机构相对接；导料皮带机构、传料皮带机构与出片皮带机构的线速度一致。2.如权利要求1所述的一种硅片自动上料设备，其特征在于：所述机架上在储料框架远离出片皮带机构的一侧设有平行于两个储料框架连线方向的滑轨，滑轨上滑动设有送料座，机架上设有驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞宗祥，邹磊，曹洪远，陈根林，
申请(专利权)人：苏州翔樱自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32