一种节能型太阳能电池硅片清洗装置以及清洗方法制造方法及图纸

一种节能型太阳能电池硅片清洗装置以及清洗方法，包括机架和装载硅片的硅片架，机架上设有纵横排列的第一清洗室、第二清洗室、第三清洗室、第四清洗室、第五清洗室、第六清洗室、第七清洗室、第八清洗室、第九清洗室、第一干燥室、第二干燥室、第三干燥室和第四干燥室；该硅片清洗装置还包括将硅片架在各清洗室和各干燥室之间进行移动的硅片架换位机构，硅片架换位机构包括提升硅片架的升降组件以及导轨组，升降组件的上端可滑动地固定在导轨组，升降组件的下端可拆卸地连接硅片架，导轨组通过支架固定在机架的上方；清洗液通入清洗室时，穿设过其他的清洗室以及干燥室，使得余温充分获得利用，利于降低能耗。

Energy saving solar cell silicon wafer cleaning device and cleaning method

An energy saving type solar cell wafer cleaning device and cleaning method, which comprises a frame and a silicon wafer loading frame, the frame is provided with a first cleaning room, arranged second rooms, third rooms, cleaning cleaning cleaning room fifth, fourth room, sixth room, cleaning cleaning cleaning seventh rooms and eighth rooms, Ninth rooms, cleaning and cleaning the first second drying chamber, a drying chamber, third drying chamber and fourth drying room; the wafer cleaning device also includes a wafer frame transposition mechanism of moving between wafer frame in each cleaning chamber and the drying chamber, the wafer frame transposition mechanism comprises a lifting frame and a guide wafer lifting assembly group, upper lifting component can slide fixed on the rail group, lower lifting assembly removably coupled to the wafer frame rail group through the upper bracket is fixed on the frame; the cleaning liquid into the cleaning room The utility model is provided with other cleaning chambers and a drying chamber, so that the residual temperature is fully utilized, and the energy consumption is reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种节能型太阳能电池硅片清洗装置以及清洗方法
本专利技术属于光伏组件生产
，涉及一种节能型太阳能硅片清洗装置以及清洗方法。
技术介绍
光伏行业是一个新兴的行业，随着光伏行业的快速发展，太阳能发电对单、多晶硅的要求量增大，同时对单、多晶硅的加工设备要求更高。伴随集成电路制造工艺的不断进步，半导体器件的体积正变得越来越小，这也导致了非常微小的颗粒也变得足以影响半导体器件的制造和性能，所以，硅片清洗工艺也变得越来越重要。太阳能电池硅片在切割后必需经过多级清洗，以去除附着在硅片表面的砂浆、金属杂质和有机物等杂质。目前所用清洗设备为多级槽式清洗机，通常含有三级以上清洗槽，待清洗硅片从第一级清洗槽开始逐级清洗后移出，在第一清洗槽中硅片表面附着的杂质最多，以后将逐级减少。在现有的多级清洗槽结构中，每一级清洗槽有独立的进水和出水系统，每级都有废水排出，各级清洗槽中所排出的污水直接排放，清洗硅片所需消耗的水量很大，这样不仅耗水量大，能耗大，而且还会污染环境，不利于光伏产业的长期发展。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种节能型太阳能硅片清洗装置以及清洗方法，清洗液得到循环利用，清洗液的进出过程中充分利用到其它环节的余温，降低了能耗。本专利技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种节能型太阳能硅片清洗装置，包括机架和装载硅片的硅片架，机架上设有纵横排列的第一清洗室、第二清洗室、第三清洗室、第四清洗室、第五清洗室、第六清洗室、第七清洗室、第八清洗室、第九清洗室、第一干燥室、第二干燥室、第三干燥室和第四干燥室；第二清洗室处于第一横列；第四清洗室、第一干燥室和第三清洗室处于第二横列，且第一干燥室处于第四清洗室和第三清洗室之间；第五清洗室、第二干燥室、第一清洗室、第四干燥室和第九清洗室处于第三横列，且第二干燥室处于第五清洗室和第一清洗室之间，第四干燥室处于第一清洗室和第九清洗室之间；第六清洗室、第三干燥室和第八清洗室处于第四横列，且第三干燥室处于第六清洗室和第八清洗室之间；第七清洗室处于第五横列；第五清洗室处于第一纵列；第四清洗室、第二干燥室和第六清洗室处于第二纵列，且第二干燥室处于第四清洗室和第六清洗室之间；第二清洗室、第一干燥室、第一清洗室、第三干燥室和第七清洗室处于第三纵列，且第一干燥室处于第二清洗室和第一清洗室之间，第三干燥室处于第一清洗室和第七清洗室之间；第三清洗室、第四干燥室和第八清洗室处于第四纵列，且第四干燥室处于第三清洗室和第八清洗室之间；第九清洗室处于第五纵列；该硅片清洗装置还包括将硅片架在各清洗室和各干燥室之间进行移动的硅片架换位机构，硅片架换位机构包括提升硅片架的升降组件以及导轨组，升降组件的上端可滑动地固定在导轨组，升降组件的下端可拆卸地连接硅片架，导轨组通过支架固定在机架的上方；第二清洗室的进液口连接进液管二，进液管二与纯水罐相连，第二清洗室的出液口连接排液管二，排液管二与废液池相连；第四清洗室的进液口连接进液管四，进液管四与酸性溶液储液罐一相连，进液管四依次穿设第三清洗室和第一干燥室，并延伸至第四清洗室，第四清洗室的出液口连接排液管四，排液管四依次穿设第二干燥室和第六清洗室，并与废液池相连；第五清洗室的进液口连接进液管五，进液管五与纯水罐相连，进液管五依次穿设第四清洗室、第二干燥室，并延伸至第五清洗室，第五清洗室的出液口连接排液管五，排液管五依次穿设第二干燥室、第六清洗室、第三干燥室和第七清洗室，并与废液池相连；第六清洗室的进液口连接进液管六，进液管六与碱性溶液储液罐相连，进液管六依次穿设第五清洗室和第二干燥室，并延伸至第六清洗室，第六清洗室的出液口连接排液管六，排液管六依次穿设第三干燥室和第八清洗室，并与废液池相连；第七清洗室的进液口连接进液管七，进液管七与纯水罐相连，进液管七依次穿设第六清洗室、第三干燥室，并延伸至第七清洗室；第七清洗室的出液口连接排液管七，排液管七依次穿设第三干燥室、第八清洗室和第四干燥室，并延伸至第一清洗室，排液管七与第一清洗室的进液口相连；第一清洗室的出液口连接排液管一，排液管一依次穿设第一干燥室和第三清洗室，并与废液池相连；第八清洗室的进液口连接进液管八，进液管八与酸性溶液储液罐二相连，第八清洗室的出液口连接排液管八，进液管八依次穿设第七清洗室和第三干燥室，并延伸至第八清洗室；排液管八穿设第四干燥室并延伸至第三清洗室，排液管八与第三清洗室的进液口相连；第三清洗室的出液口连接排液管三，排液管三依次穿设第一干燥室和第四清洗室，并与废液池相连；；第九清洗室的进液口连接进液管九，进液管九与纯水罐相连，第九清洗室的出液口连接排液管九，排液管九依次穿设第四干燥室、第一清洗室和第二干燥室并延伸至第五清洗室，排液管九与第五清洗室的进液口相连。第二清洗室通入纯水清洗硅片，第四清洗室通入酸性溶液清洗硅片，第五清洗室通入纯水清洗硅片，第六清洗室通入碱性溶液清洗硅片，第七清洗室通入纯水清洗硅片，第八清洗室通入酸性溶液清洗硅片，第九清洗室通入纯水清洗硅片，在前一个清洗室内完成清洗后，硅片先被移入干燥室内进行干燥，然后移入下一个清洗室进行下一步清洗。第二清洗室、第四清洗室、第五清洗室和第六清洗室清洗后所形成的废液都排入废液池，第七清洗室清洗后所形成的废液排入第一清洗室供下一批硅片清洗之用，第八清洗室清洗后所形成的废液排入第三清洗室供下一批硅片清洗之用，第九清洗室的废液排入第五清洗室供下一批硅片清洗之用，清洗液得到循环利用，且在清洗液的进出管路由于穿设了相邻的干燥室和其它清洗室，因此能充分利用余温，降低了能耗。在上述的节能型太阳能硅片清洗装置中，导轨组包括布置在第二横列上方的第一横向导轨、布置在第三横列上方的第二横向导轨、布置在第三横列上方的第三横向导轨、布置在第二纵列上方的第一纵向导轨、布置在第三纵列上方的第二纵向导轨和布置在第四纵列上方的第三纵向导轨；第一横向导轨和第一纵向导轨垂直相交于第四清洗室的正上方；第一横向导轨和第二纵向导轨垂直相交于第一干燥室的正上方；第一横向导轨和第三纵向导轨垂直相交于第三清洗室的正上方；第二横向导轨和第一纵向导轨垂直相交于第二干燥室的正上方；第二横向导轨和第二纵向导轨垂直相交于第一清洗室的正上方；第二横向导轨和第三纵向导轨垂直相交于第四干燥室的正上方；第三横向导轨和第一纵向导轨垂直相交于第六清洗室的正上方；第三横向导轨和第二纵向导轨垂直相交于第三干燥室的正上方；第三横向导轨和第三纵向导轨垂直相交于第八清洗室的正上方。在上述的节能型太阳能硅片清洗装置中，升降组件包括升降基座和竖直延伸的升降板，升降板的下端固接有与硅片架平行的固定板，固定板的下端面设有吸盘，升降基座内设有丝杆和驱动丝杆转动的电机，丝杆上连接有沿着丝杆上下移动的丝杆螺母座，丝杆螺母座与升降板固定连接。在上述的节能型太阳能硅片清洗装置中，每个清洗室都包括上室体和下室体，其中上室体具有一组隔板一、一组隔板二和一组隔板三，隔板一包围出清洗槽，隔板二包围在隔板一的外侧，隔板二与隔板一之间形成进液腔，隔板三包围在隔板二的外侧，隔板三构成上室体的外壁，隔板三与隔板二之间形成加热腔，加热腔内设有电加热器；隔板一具有至少两个带开关阀的入液口，清洗槽内还设有至少两组喷淋管，每组喷淋管两两相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，包括机架和装载硅片的硅片架，机架上设有纵横排列的第一清洗室、第二清洗室、第三清洗室、第四清洗室、第五清洗室、第六清洗室、第七清洗室、第八清洗室、第九清洗室、第一干燥室、第二干燥室、第三干燥室和第四干燥室；第二清洗室处于第一横列；第四清洗室、第一干燥室和第三清洗室处于第二横列，且第一干燥室处于第四清洗室和第三清洗室之间；第五清洗室、第二干燥室、第一清洗室、第四干燥室和第九清洗室处于第三横列，且第二干燥室处于第五清洗室和第一清洗室之间，第四干燥室处于第一清洗室和第九清洗室之间；第六清洗室、第三干燥室和第八清洗室处于第四横列，且第三干燥室处于第六清洗室和第八清洗室之间；第七清洗室处于第五横列；第五清洗室处于第一纵列；第四清洗室、第二干燥室和第六清洗室处于第二纵列，且第二干燥室处于第四清洗室和第六清洗室之间；第二清洗室、第一干燥室、第一清洗室、第三干燥室和第七清洗室处于第三纵列，且第一干燥室处于第二清洗室和第一清洗室之间，第三干燥室处于第一清洗室和第七清洗室之间；第三清洗室、第四干燥室和第八清洗室处于第四纵列，且第四干燥室处于第三清洗室和第八清洗室之间；第九清洗室处于第五纵列；该硅片清洗装置还包括将硅片架在各清洗室和各干燥室之间进行移动的硅片架换位机构，硅片架换位机构包括提升硅片架的升降组件以及导轨组，升降组件的上端可滑动地固定在导轨组，升降组件的下端可拆卸地连接硅片架，导轨组通过支架固定在机架的上方；第二清洗室的进液口连接进液管二，进液管二与纯水罐相连，第二清洗室的出液口连接排液管二，排液管二与废液池相连；第四清洗室的进液口连接进液管四，进液管四与酸性溶液储液罐一相连，进液管四依次穿设第三清洗室和第一干燥室，并延伸至第四清洗室，第四清洗室的出液口连接排液管四，排液管四依次穿设第二干燥室和第六清洗室，并与废液池相连；第五清洗室的进液口连接进液管五，进液管五与纯水罐相连，进液管五依次穿设第四清洗室、第二干燥室，并延伸至第五清洗室，第五清洗室的出液口连接排液管五，排液管五依次穿设第二干燥室、第六清洗室、第三干燥室和第七清洗室，并与废液池相连；第六清洗室的进液口连接进液管六，进液管六与碱性溶液储液罐相连，进液管六依次穿设第五清洗室和第二干燥室，并延伸至第六清洗室，第六清洗室的出液口连接排液管六，排液管六依次穿设第三干燥室和第八清洗室，并与废液池相连；第七清洗室的进液口连接进液管七，进液管七与纯水罐相连，进液管七依次穿设第六清洗室、第三干燥室，并延伸至第七清洗室；第七清洗室的出液口连接排液管七，排液管七依次穿设第三干燥室、第八清洗室和第四干燥室，并延伸至第一清洗室，排液管七与第一清洗室的进液口相连；第一清洗室的出液口连接排液管一，排液管一依次穿设第一干燥室和第三清洗室，并与废液池相连；第八清洗室的进液口连接进液管八，进液管八与酸性溶液储液罐二相连，第八清洗室的出液口连接排液管八，进液管八依次穿设第七清洗室和第三干燥室，并延伸至第八清洗室；排液管八穿设第四干燥室并延伸至第三清洗室，排液管八与第三清洗室的进液口相连；第三清洗室的出液口连接排液管三，排液管三依次穿设第一干燥室和第四清洗室，并与废液池相连；；第九清洗室的进液口连接进液管九，进液管九与纯水罐相连，第九清洗室的出液口连接排液管九，排液管九依次穿设第四干燥室、第一清洗室和第二干燥室并延伸至第五清洗室，排液管九与第五清洗室的进液口相连。...

【技术特征摘要】
1.一种节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，包括机架和装载硅片的硅片架，机架上设有纵横排列的第一清洗室、第二清洗室、第三清洗室、第四清洗室、第五清洗室、第六清洗室、第七清洗室、第八清洗室、第九清洗室、第一干燥室、第二干燥室、第三干燥室和第四干燥室；第二清洗室处于第一横列；第四清洗室、第一干燥室和第三清洗室处于第二横列，且第一干燥室处于第四清洗室和第三清洗室之间；第五清洗室、第二干燥室、第一清洗室、第四干燥室和第九清洗室处于第三横列，且第二干燥室处于第五清洗室和第一清洗室之间，第四干燥室处于第一清洗室和第九清洗室之间；第六清洗室、第三干燥室和第八清洗室处于第四横列，且第三干燥室处于第六清洗室和第八清洗室之间；第七清洗室处于第五横列；第五清洗室处于第一纵列；第四清洗室、第二干燥室和第六清洗室处于第二纵列，且第二干燥室处于第四清洗室和第六清洗室之间；第二清洗室、第一干燥室、第一清洗室、第三干燥室和第七清洗室处于第三纵列，且第一干燥室处于第二清洗室和第一清洗室之间，第三干燥室处于第一清洗室和第七清洗室之间；第三清洗室、第四干燥室和第八清洗室处于第四纵列，且第四干燥室处于第三清洗室和第八清洗室之间；第九清洗室处于第五纵列；该硅片清洗装置还包括将硅片架在各清洗室和各干燥室之间进行移动的硅片架换位机构，硅片架换位机构包括提升硅片架的升降组件以及导轨组，升降组件的上端可滑动地固定在导轨组，升降组件的下端可拆卸地连接硅片架，导轨组通过支架固定在机架的上方；第二清洗室的进液口连接进液管二，进液管二与纯水罐相连，第二清洗室的出液口连接排液管二，排液管二与废液池相连；第四清洗室的进液口连接进液管四，进液管四与酸性溶液储液罐一相连，进液管四依次穿设第三清洗室和第一干燥室，并延伸至第四清洗室，第四清洗室的出液口连接排液管四，排液管四依次穿设第二干燥室和第六清洗室，并与废液池相连；第五清洗室的进液口连接进液管五，进液管五与纯水罐相连，进液管五依次穿设第四清洗室、第二干燥室，并延伸至第五清洗室，第五清洗室的出液口连接排液管五，排液管五依次穿设第二干燥室、第六清洗室、第三干燥室和第七清洗室，并与废液池相连；第六清洗室的进液口连接进液管六，进液管六与碱性溶液储液罐相连，进液管六依次穿设第五清洗室和第二干燥室，并延伸至第六清洗室，第六清洗室的出液口连接排液管六，排液管六依次穿设第三干燥室和第八清洗室，并与废液池相连；第七清洗室的进液口连接进液管七，进液管七与纯水罐相连，进液管七依次穿设第六清洗室、第三干燥室，并延伸至第七清洗室；第七清洗室的出液口连接排液管七，排液管七依次穿设第三干燥室、第八清洗室和第四干燥室，并延伸至第一清洗室，排液管七与第一清洗室的进液口相连；第一清洗室的出液口连接排液管一，排液管一依次穿设第一干燥室和第三清洗室，并与废液池相连；第八清洗室的进液口连接进液管八，进液管八与酸性溶液储液罐二相连，第八清洗室的出液口连接排液管八，进液管八依次穿设第七清洗室和第三干燥室，并延伸至第八清洗室；排液管八穿设第四干燥室并延伸至第三清洗室，排液管八与第三清洗室的进液口相连；第三清洗室的出液口连接排液管三，排液管三依次穿设第一干燥室和第四清洗室，并与废液池相连；；第九清洗室的进液口连接进液管九，进液管九与纯水罐相连，第九清洗室的出液口连接排液管九，排液管九依次穿设第四干燥室、第一清洗室和第二干燥室并延伸至第五清洗室，排液管九与第五清洗室的进液口相连。2.根据权利要求1所述的节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，导轨组包括布置在第二横列上方的第一横向导轨、布置在第三横列上方的第二横向导轨、布置在第三横列上方的第三横向导轨、布置在第二纵列上方的第一纵向导轨、布置在第三纵列上方的第二纵向导轨和布置在第四纵列上方的第三纵向导轨；第一横向导轨和第一纵向导轨垂直相交于第四清洗室的正上方；第一横向导轨和第二纵向导轨垂直相交于第一干燥室的正上方；第一横向导轨和第三纵向导轨垂直相交于第三清洗室的正上方；第二横向导轨和第一纵向导轨垂直相交于第二干燥室的正上方；第二横向导轨和第二纵向导轨垂直相交于第一清洗室的正上方；第二横向导轨和第三纵向导轨垂直相交于第四干燥室的正上方；第三横向导轨和第一纵向导轨垂直相交于第六清洗室的正上方；第三横向导轨和第二纵向导轨垂直相交于第三干燥室的正上方；第三横向导轨和第三纵向导轨垂直相交于第八清洗室的正上方。3.根据权利要求1所述的节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，升降组件包括升降基座和竖直延伸的升降板，升降板的下端固接有与硅片架平行的固定板，固定板的下端面设有吸盘，升降基座内设有丝杆和驱动丝杆转动的电机，丝杆上连接有沿着丝杆上下移动的丝杆螺母座，丝杆螺母座与升降板固定连接。4.根据权利要求1所述的节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，每个清洗室都包括上室体和下室体，其中上室体具有一组隔板一、一组隔板二和一组隔板三，隔板一包围出清洗槽，隔板二包围在隔板一的外侧，隔板二与隔板一之间形成进液腔，隔板三包围在隔板二的外侧，隔板三构成上室体的外壁，隔板三与隔板二之间形成加热腔，加热腔内设有电加热器；隔板一具有至少两个带开关阀的入液口，清洗槽内还设有至少两组喷淋管，每组喷淋管两两相对地固定在隔板一的内壁上，每个喷淋管上开设有若干个喷淋孔，且喷淋孔呈间隔地上下分布；每组喷淋管依次首尾相连，每组喷淋管的第一个喷淋管的进口固接入液管，入液管与隔板一的一个入液口连接；进液腔的底部具有带开关阀的进液口，进液管穿设下室体并与进液口相连；清洗槽的底部具有带开关阀的出液口，排液管穿设下室体并与出液口相连。5.根据权利要求4所述的节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，每个清洗槽内设有一个低液位感应器、一个高液位感应器和一个温度感应器，温度感应器固设在低液位感应器和高液位感应器之间，隔板一的入液口高于高液位感应器。6.根据权利要求4所述的节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，隔板三采用隔热材料，隔板二采用导热材料，隔板一采用保温材料。7.根据权利要求4所述的节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，隔板一的内壁还水平凸设至少一对支撑架，硅片架放置在支撑架上，硅片架内承载硅片，两支撑架的间距小于硅片架的宽度。8.根据权利要求1所述的节能型太阳能硅片清洗装置，其特征在于，每个干燥室都具有上干燥室和下加热室，...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：金海平，
类型：发明
国别省市：浙江,33