The invention relates to a vapor deposition device, which is characterized in that includes an ion transmission device, wherein the ion transmission device comprises a radio frequency power supply terminal, and the coil pipe, one end of the pipe is connected to the RF power supply end of the coil set to the outer wall of the pipe, applying a constant the voltage across the coil, simple structure. The invention also provides a device used in vapor deposition method and ion ion transport device to avoid collision, the formation of a uniform magnetic field within the tube, the ion movement along the trajectory of the collision will not happen with the pipeline, only simple improvement can be on the basis of the original equipment, reduce the cost of equipment upgrades.
【技术实现步骤摘要】
一种离子传输装置及气相沉积设备
本专利技术涉及化学气相沉积相关
,特别是一种气相沉积设备和一种应用于气相沉积设备的避免离子与离子传输装置发生碰撞的方法。
技术介绍
化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition,CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说,它是很简单的:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到晶片表面上。淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子,它是由硅烷和氮反应形成的。现有技术中常用的CVD设备为AKT-15K,CVDAKT-15KGasfeedthrough为连接解离腔室(remoteplasmasourceclean,RPSC)出口端连接背板(BackingPlate,B/P)的气体通道。因机台在对RPSC进行清洁时,NF3在RPSC之中解离成为N3-&F-离子在传输过程之中,离子与通道内壁发生碰撞,一方面会损失一部分能量,另一方面还会腐蚀通道内部产生微粒。离子在通道内发生碰撞后会损失电离能,从而使表现在成膜工艺室内解离率偏低。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术的目的在于提供一种气相沉积设备和一种应用于气相沉积设备的避免离子与离子传输装置发生碰撞的方法,以解决现有技术中的技术问题。根据本专利技术的第一方面,提供一种气相沉积设备,其特征在于,包括一种离子传输装置,包括射频供电端、管道和线圈,所述管道的第一端连接到所述射频供电端,所述线圈套装到所述管道的外壁上,所述线圈 ...
【技术保护点】
一种气相沉积设备,其特征在于,包括一种离子传输装置,所述离子传输装置包括射频供电端、管道和线圈,所述管道的第一端连接到所述射频供电端,所述线圈套装到所述管道的外壁上,所述线圈的两端施加恒定电压,在所述管道内形成匀强磁场。
【技术特征摘要】
1.一种气相沉积设备,其特征在于,包括一种离子传输装置,所述离子传输装置包括射频供电端、管道和线圈,所述管道的第一端连接到所述射频供电端,所述线圈套装到所述管道的外壁上,所述线圈的两端施加恒定电压,在所述管道内形成匀强磁场。2.根据权利要求1所述的气相沉积设备,其特征在于,还包括供电设备,所述供电设备为所述线圈提供恒定电压。3.根据权利要求1所述的气相沉积设备,其特征在于,所述线圈与相邻设备或部件靠近的部分设置有屏蔽结构,所述屏蔽结构用于避免相邻设备或部件对所述管道内磁场的干扰。4.根据权利要求3所述的气相沉积设备,其特征在于,所述屏蔽结构为铝箔。5.一种应用于气相沉积设备的避免离子与离子传输装置发生碰撞的方法,其特征在于,包括:a、将离子传输装置的线圈通入一定电流I,使离子传输装置的管道内产生一恒定磁场,其中,所述恒定磁场的磁感线方向与所述管道的轴向方向平行;b、使外部解离的离子与所述管道的轴向之间成一定夹角θ,并以大小为V0的初始速率入射到所述管道内;c、使所述解离的离子在穿过所述管道的过程中,在所述恒定磁场的作用下做螺旋运动,避免与管道的内壁相碰。6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐荣桢,齐贵波,
申请(专利权)人:昆山龙腾光电有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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