等离子体增强式化学气相沉积设备及其控制方法技术

公开一种等离子体增强式化学气相沉积设备，其包括将物体装载在托台上的装载站；通过对托台上装载的物体执行等离子体反应而形成功能膜的操作站；将物体从托台移走的卸载站；将托台从卸载站运送到装载站的循环站；以及将托台按顺序运送到各个站以使托台循环的运送机。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】公开一种等离子体增强式化学气相沉积设备，其包括将物体装载在托台上的装载站；通过对托台上装载的物体执行等离子体反应而形成功能膜的操作站；将物体从托台移走的卸载站；将托台从卸载站运送到装载站的循环站；以及将托台按顺序运送到各个站以使托台循环的运送机。【专利说明】
本专利技术的实施例涉及等离子体增强式化学气相沉积设备，并更具体地涉及一种提供具有耐腐蚀性、亲水性和抗菌功能的功能膜的设备和该设备的控制方法。具体地，本专利技术的实施例涉及等离子体增强式化学气相沉积(PECVD)设备及其控制方法。
技术介绍
在工业上，对于使用具有特定功能的、形成在基材上的膜(B卩，功能膜)的需求日益增大。这是因为功能膜能够补偿基材缺乏的性能。例如，在换热器的表面和车辆侧镜的表面可形成有具有预定功能(例如耐腐蚀性和亲水性)的功能膜。作为这些示例中的一个，下面将描述空调的换热器。空调是具有控制预定房间的期望温度和湿度的功能的电器。这样的空调典型地使用制冷循环，该制冷循环包括压缩机、蒸发器、膨胀阀和冷凝器。蒸发器和冷凝器是换热器的类型，它们包括使制冷剂能够在其中流动的管和安装在桶中的散热片。换言之，蒸发器与冷凝器中流动的制冷剂与周围空气热交换。蒸发器在蒸发制冷剂时可吸收热量，冷凝器在冷凝制冷剂时可发出热量。然而，当换热器的表面温度低于露点时，空气被冷凝并在换热器的表面生成水滴。如果水滴生成严重，则水滴被冻结而变成霜。换热器的表面上产生的水滴和/或霜可能造成若干问题。例如，水滴和/或霜可能减小换热面积，由此使换热器的换热性能恶化。而且，水滴和/或霜可能产生一种流阻，从而增大用来对换热器产生空气流动的风扇所需的电源。因此，优选地，水滴等物不会在换热器的表面上冷凝。为解决该问题，试图使换热器的表面具有亲水性，从而造成冷凝水滴沿换热器的表面向下流动。 同时，换热器、尤其是安装在空调的室外单元中的换热器直接暴露于外部，由此随着时间的推移可能出现腐蚀。当换热器被安装在含盐的环境中(例如靠近海岸)时，这样的现象可能会严重。因此，建议在换热器的表面上施加耐腐蚀性的涂层。另外，随着使用时间的推移，可能产生寄居于换热器的表面的真菌和细菌以及难闻的气味，这会出现卫生的问题。然而，换热器典型地安装在室内单元或室外单元中，所以不易清洁换热器。因此，已经建议在换热器的表面应设置抗细菌/抗真菌(在下文中，抗菌)涂层。同时，如下将描述具有通过使用传统的等离子体增强式沉积来形成功能膜的设备及其控制方法。首先，在清洁室清洁基材。此后，经清洁的基材在等离子体反应室中进行等离子体反应沉积，产生功能膜。其中形成有功能膜的基材在清洁室中被再次清洁。换言之，根据传统的等离子体增强式沉积，预清洁、功能膜沉积和后清洁在不同的室中执行。此外，当形成功能膜时，耐腐蚀层、亲水膜和抗菌膜分别在不同室形成。因此，传统的等离子体增强式沉积必须包括独立的室以执行各个过程，并且每个过程可在各种不同的室中独立地执行。因此，形成功能层的设备和控制方法的缺点是很复杂。而且，使用传统的功能膜形成技术的传统的等离子体增强式沉积建议在制成产品之前在原料上形成功能膜。换言之，建议应在形成有功能膜的片形材被加工而制成换热器的散热片之前，在该片形材的表面上形成功能膜。然而，这样具有一个问题，即不能制造在其所有部件上形成功能膜的产品。而且，在从原料加工的区域上不形成功能膜，例如前截面，使得在前截面可能局部产生腐蚀。因此，产品的可靠性会下降。为解决该问题，韩国专利10-2003-0078455公开了一种等离子体增强式化学气相沉积设备，用以在产品自身上形成功能膜。在传统的等离子体增强式化学气相沉积设备，产品被运送到载体以形成功能层。电力经由接触一对滚轴的载体供应到产品。因此,供电十分复杂并且电力经由滚轴供应,使得供电的可靠性可能不利地下降。而且，在载体上形成功能膜，效率可能不利地下降。此外，产品、即换热器在被悬置于载体上时进行传送。因此，传送结构复杂，电力未能在载体与换热器之间稳定地供应，这可能引发问题。必须在换热器中形成单个电连接触点，而且无法在该换热器中整个地形成均匀的功能膜。同时，在传统的等离子体 增强式化学气相沉积设备中，可能不容易装载和卸载换热器。因此，工作过程的效率低下，并且可能难以安装并移走载体。
技术实现思路
技术问题因此，本专利技术的实施例涉及。为解决上述问题，本专利技术的实施例的目的是提供一种包括简单高效的功能层的设备以及控制该设备的方法。本专利技术的实施例的另一目的是提供一种包括能够通过稳定地供电而批量生产的功能膜的设备及其控制方法。本专利技术的实施例的又一目的是提供一种包括使工人能够装载和卸载产品的功能膜的设备。本专利技术的实施例的再一目的是提供一种等离子体增强式化学气相沉积设备，该设备的电极可经由侧门接近，以容易维护。解决方案本专利技术的实施例的另一目的是提供一种等离子体增强式化学气相沉积设备，该设备防止电极增大，从而稳定地保持电极并能够容易安装和移走电极。在一实施例中，等离子体增强式化学气相沉积设备包括装载站，以在托台上装载物体；操作站，通过对托台上装载的物体执行等离子体反应来形成功能膜；卸载站，分离托台与物体；循环站，将托台从卸载站运送到装载站；以及运送机，将托台按顺序运送到各个站以循环该托台。操作站可包括室，用以在其中接收物体。在室中可设置电源，用以选择性地向室内的托台供电；以及电极，具有与电源相反的极性。该等离子体增强式化学气相沉积设备可还包括进入门，用以选择性地打开及关闭室。运送机可包括设置在进入门前面的前部件，以将托台运送到室。运送机可包括升降机，用以改变托台的竖向位置。托台的竖向位置的改变可使工人能够有效地调整物体的装载高度和卸载高度。该升降机可用于循环该托台。运送机可包括内部件，用以在室的内部运送托台。该等离子体增强式化学气相沉积设备可还包括后门，用以选择性地打开及关闭室。运送机可包括设置在进入门前面的后部，用以将托台运送到室。后部可包括升降机，用以改变托台的竖向位置。运送机包括设置在室的外部的连接部，用以将托台从前部运送到后部。电极可包括至少一对相互面对的导电表面。室的侧表面可形成侧门，用以选择性地打开及关闭该室，电极设置在侧门中。导电表面可包括网状等离子体反应表面和在该反应表面的两侧支撑该反应表面的电极支架。支架联接件可设置在室的内壁中，以支撑电极支架，而且支架联接件可被弹性地支撑，以产生沿支架联接件的向外方向的弹力。导电表面可包括多层，等离子体反应表面的各个层之间设有喷嘴，用以供应反应气体、前体(precursor)和载气。喷嘴可沿圆管的纵向形成在圆管的表面上，加热器可埋置在圆管的后表面上。循环桶(circular tub)可位于导电表面的前面。电源可包括向前移动以选择性地接触托台的触点的移动触点。在一实施例中，在换热器上形成功能膜的等离子体增强式化学气相沉积设备，该设备包括:装载站，将换热器装载到托台上；操作站，接纳来自装载站的托台，并通过利用等离子体反应将功能膜设置到位于托台上的换热器；卸载站，从托台卸载涂覆有功能膜的换热器；以及至少一个运送机，使托台从卸载站返回装载站。操作站可包括将换热器保持在其中的室。等离子体增强式化学气相沉积设备可还包括电源，用以选择性地向托台和至本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴定根，李光浩，李长祐，金廷奎，辛镇赫，
申请(专利权)人：LG电子株式会社，
类型：
国别省市：