【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种沉积纳米金刚砂设备，特别是涉及一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备。技术背景化学气相沉积/渗透(CVD/CVI)纳米金刚砂薄膜或复合材料通常采用三氯甲基硅烷为前驱体，三氯甲基硅烷尾气中往往含有未分解的有机硅烷、分解产物焦油、沉积产物粒子。未分解的有机硅烷遇空气中的水将产生腐蚀性极强的盐酸气，将严重的腐蚀机械泵，并对环境照成污染，因而不能直接排入大气。焦油和沉积产物粒子在机械泵中沉淀将会严重影响机械泵的性能，故也应该排除。文献“专利申请号是98113023.2的中国专利技术专利”公开了一种适用于工业化生产的CVI/CVD工艺尾气处理方法与设备，该专利技术是采用多集复合处理工艺，将油过滤器、固体过滤器、机械泵和水环泵组装为尾气处理设备。该方法能够进行较为全面的尾气处理，使尾气的排放达到环保标准。但是，由于文献所提设备集成化程度高、制造难度大，操作复杂，维修困难，成本很高等因素，限制了其在市场上的推广。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在克服现有尾气处理设备复杂成本高的缺点，提供了一种更为简单高效的沉积与尾气处理一体化设备。为实现本专利技术的目的所采用的技术方案是：一种沉积与尾气处理一体化设备，分为上下两段，上段为高温热解炉，用于尾气的进一步分解，形成简单分子化合物，如HCl。下段为中温热解炉，用于三氯甲基硅烷的热解，形成纳米金刚砂涂层，或复合材料的基体。该专利技术的高温热解炉和中温热...
【技术保护点】
一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备，其特征在于包括上下两段，上段为高温热解炉，下段为中温热解炉。
【技术特征摘要】
1.一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备，其特征在于包括上下两段，上段为高温热
解炉，下段为中温热解炉。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于所述的高温热解炉和中温热解炉相互贯通，
其中中温热解炉炉膛内径与高温热解炉炉膛内径比为1～3...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈照峰，汪洋，
申请(专利权)人：南京沙壳新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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