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本发明涉及一种气相沉积设备，其特征在于，包括一种离子传输装置，所述离子传输装置包括射频供电端、管道和线圈，所述管道的第一端连接到所述射频供电端，所述线圈套装到所述管道的外壁上，所述线圈的两端施加恒定电压，结构简单。本发明还提供一种应用于气相...
该专利属于昆山龙腾光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山龙腾光电有限公司授权不得商用。

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