硅片吸片装置和自动插片装置制造方法及图纸

本申请公开了一种硅片吸片装置和自动插片装置，该硅片吸片装置包括支架，支架底部具有与水平面呈一定夹角的工作面，工作面上开设有至少一个气孔，支架的两侧分别对称安装有三个导轮，位于一侧的三个导轮呈三角形排列，位于同一侧的三个导轮的外侧绕设有传送带，硅片吸片装置还包括一电机，位于两侧的导轮之间连接有传动轴，电机连接于传动轴并可驱动其转动，支架高度相对低的一端并列设置有多个轴承，该多个轴承转动设置于支架上，支架高度相对低的一端还设置有可上下浮动的套环，支架上还设置有行程开关，该行程开关设置于套环的上方。本发明专利技术硅片吸片装置通过水流实现上下硅片的分离，同时通过套环与行程开关的配合控制硅片上移速度。

Silicon wafer suction device and automatic chip inserting device

The invention discloses a wafer suction disc device and automatic inserting device, the silicon slice suction device comprises a bracket, bracket is equipped with a working surface and the horizontal plane form a certain angle, the working face is provided with at least one hole, both sides of the bracket are symmetrically arranged with three rollers and three rollers are located on the side of the triangle, three side guide wheel located on the same side of the conveyor belt is coiled, silicon slice suction device also comprises a motor, wheel located on both sides of the connection shaft, the motor is connected to the drive shaft and can drive the rotation of one end bracket height relatively low are provided with a plurality of the plurality of bearings, bearing the rotation is arranged on the support frame, one end of the height of the bracket is also provided with a relatively low collar may fluctuate, bracket is also provided with a travel switch and the travel switch is set at the top of the collar. The silicon wafer suction device of the invention realizes the separation of upper and lower silicon chips through water flow, and simultaneously controls the speed of moving silicon wafer through the matching of the collar and the stroke switch.

【技术实现步骤摘要】
硅片吸片装置和自动插片装置
本申请属于半导体硅片加工和太阳能电池硅片加工领域，特别是涉及一种硅片吸片装置和自动插片装置。
技术介绍
在太阳能电池硅片的生产过程中，有一道工序是需要人们将硅片一片一片的插装到特制的装片盒内，在现有技术中，人们通常采用人工手动来完成插片操作，不仅劳动强度大、效率低，而且在插片过程中还极易损坏硅片。中国专利CN203932088U公开了一种全自动硅片插片机，其包括机体，所述的机体上设有硅片输出装置、硅片传送装置和装片盒，所述的硅片输出装置通过吸盘与硅片传送装置的硅片进入端连接，所述硅片传送装置的硅片送出端与装片盒相接，所述的装片盒上连接有驱动其相对机体上下升降的装片盒气缸，该结构可实现硅片的全自动化插装操作，相比现有技术的手工操作，大幅提高了硅片的插装效率。但是其仍然存在以下几点问题：1、无法适应不同尺寸的硅片插装；2、硅片输出装置中的硅片，上下之间容易发生粘连；3、硅片完成装片完成后，仍然需要人工进行搬运转移，自动化程度仍然不高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片吸片装置和自动插片装置，以克服现有技术中的不足。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：本申请实施例公开一种硅片吸片装置，包括支架，所述支架底部具有与水平面呈一定夹角的工作面，所述工作面上开设有至少一个气孔，该气孔与负压吸气装置连接，所述支架的两侧分别对称安装有三个导轮，位于一侧的三个导轮呈三角形排列，其中位于下方的两个导轮所在直线平行于所述工作面，且该两个导轮的底面凸伸于所述工作面的下方，位于同一侧的三个导轮的外侧绕设有传送带，所述硅片吸片装置还包括一电机，位于两侧的导轮之间连接有传动轴，所述电机连接于传动轴并可驱动其转动，所述支架高度相对低的一端并列设置有多个轴承，该多个轴承转动设置于支架上，所述轴承的底端凸伸于所述工作面的下方，所述支架高度相对低的一端还设置有可上下浮动的套环，所述支架上还设置有行程开关，该行程开关设置于套环的上方。优选的，在上述的硅片吸片装置中，所述支架高度相对低的一端并列设置有两个轴承，所述套环设置于所述两个轴承之间。相应的，本申请还公开了一种自动插片装置，包括机架、以及安装于机架上的第一提升装置、分片装置、所述的硅片吸片装置、硅片传动装置和第二提升装置，所述第一提升装置和第二提升装置分别位于硅片传动装置在传动方向的两端，所述第一提升装置包括第一托板、滑杆、第二动力装置和滑块，所述第一托板具有水平的支撑面，所述滑杆竖直安装于机架上，所述滑块套设于滑杆上，所述第二动力装置连接于滑块并可驱动其在竖直方向上移动，所述滑块与第一托板之间相固定，所述硅片吸片装置设置于第一托板的正上方，所述分片装置设置于硅片吸片装置的下方，且位于第一提升装置和硅片传动装置之间，所述分片装置面向硅片的侧面方向开设有多个喷水孔，所述硅片传动装置包括沿硅片输送方向上设置的多个导轮、以及被导轮传动的输送条。所述第二提升装置包括支架、第二托板和第二动力装置，所述第二托板沿竖直方向可滑动于支架上，所述第二动力装置连接于第二托板并可驱动其在竖直方向上移动。优选的，在上述的自动插片装置中，所述第一托板的支撑面上支撑有硅片围挡，所述硅片围挡与第一托板之间可拆卸固定，所述第一托板的上表面凸伸有多个定位部，所述硅片围挡的底部配合定位部凹设形成有凹槽。优选的，在上述的自动插片装置中，所述第二动力装置包括螺杆和电机，电机连接于螺杆并可驱动其转动，螺杆与滑杆并列设置，滑块与螺杆之间通过螺纹配合。优选的，在上述的自动插片装置中，所述第二提升装置包括支架、第二托板和第二动力装置，所述第二托板沿竖直方向可滑动于支架上，所述第二动力装置连接于第二托板并可驱动其在竖直方向上移动。优选的，在上述的自动插片装置中，所述第二托板的顶面凹设形成有对花篮侧面进行定位的凹槽，花篮定位后，其开口面向所述硅片传动装置的末端。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本专利技术分片装置通过喷水孔持续性的对位于上方硅片的侧面进行喷水，在水压作用下，相邻硅片之间通过水进行间隔，当顶层硅片被吸附之后，其下方硅片不易发生粘连，从而实现每次单片硅片的运输。另外，硅片上移过程中，由于工作面位于套环的一端较低，套环首先与硅片上表面发生接触，套环上移并触发行程开关，第一提升装置停止上移，位于顶面的硅片在吸附作用下转移，设置的轴承一方面对套环的上移幅度进行限位，另一方面对移动的硅片起到导引作用。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1所示为本专利技术具体实施例中自动插片装置的立体结构示意图；图2所示为本专利技术具体实施例中硅片吸片装置的立体结构示意图；图3所示为本专利技术具体实施例中第一提升装置、硅片吸片装置和硅片传动装置的立体结构示意图；图4所示为本专利技术具体实施例中第一提升装置的立体结构示意图；图5所示为本专利技术具体实施例中硅片吸片装置的立体结构示意图；图6所示为本专利技术具体实施例中第二提升装置、竖直翻转装置和水平转动装置的立体结构示意图；图7所示为本专利技术具体实施例中水平转动装置的立体结构示意图；图8所示为本专利技术具体实施例中自动插片装置另一角度的立体结构示意图；图9所示为本专利技术具体实施例中自动插片装置的俯视角度的立体结构示意图；图10所示为本专利技术具体实施例中第一护杆和第二护杆的结构示意图。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。结合图1和图2所示，自动插片装置，包括机架1、以及安装于机架1上的第一提升装置2、分片装置3、硅片吸片装置4、硅片传动装置5和第二提升装置6，第一提升装置2和第二提升装置6分别位于硅片传动装置5在传动方向的两端。结合图3和图4所示，第一提升装置2包括第一托板201、滑杆202、第二动力装置和滑块203，第一托板201具有水平的支撑面，滑杆202竖直安装于机架1上，滑块203套设于滑杆202上，第二动力装置连接于滑块203并可驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片吸片装置，其特征在于，包括支架，所述支架底部具有与水平面呈一定夹角的工作面，所述工作面上开设有至少一个气孔，该气孔与负压吸气装置连接，所述支架的两侧分别对称安装有三个导轮，位于一侧的三个导轮呈三角形排列，其中位于下方的两个导轮所在直线平行于所述工作面，且该两个导轮的底面凸伸于所述工作面的下方，位于同一侧的三个导轮的外侧绕设有传送带，所述硅片吸片装置还包括一电机，位于两侧的导轮之间连接有传动轴，所述电机连接于传动轴并可驱动其转动，所述支架高度相对低的一端并列设置有多个轴承，该多个轴承转动设置于支架上，所述轴承的底端凸伸于所述工作面的下方，所述支架高度相对低的一端还设置有可上下浮动的套环，所述支架上还设置有行程开关，该行程开关设置于套环的上方。

【技术特征摘要】
1.一种硅片吸片装置，其特征在于，包括支架，所述支架底部具有与水平面呈一定夹角的工作面，所述工作面上开设有至少一个气孔，该气孔与负压吸气装置连接，所述支架的两侧分别对称安装有三个导轮，位于一侧的三个导轮呈三角形排列，其中位于下方的两个导轮所在直线平行于所述工作面，且该两个导轮的底面凸伸于所述工作面的下方，位于同一侧的三个导轮的外侧绕设有传送带，所述硅片吸片装置还包括一电机，位于两侧的导轮之间连接有传动轴，所述电机连接于传动轴并可驱动其转动，所述支架高度相对低的一端并列设置有多个轴承，该多个轴承转动设置于支架上，所述轴承的底端凸伸于所述工作面的下方，所述支架高度相对低的一端还设置有可上下浮动的套环，所述支架上还设置有行程开关，该行程开关设置于套环的上方。2.根据权利要求1所述的硅片吸片装置，其特征在于：所述支架高度相对低的一端并列设置有两个轴承，所述套环设置于所述两个轴承之间。3.一种自动插片装置，其特征在于，包括机架、以及安装于机架上的第一提升装置、分片装置、权利要求1或2所述的硅片吸片装置、硅片传动装置和第二提升装置，所述第一提升装置和第二提升装置分别位于硅片传动装置在传动方向的两端，所述第一提升装置包括第一托板、滑杆、第二动力装置和滑块，所述第一托板具有水平的支撑面，所述滑杆竖直安装于机架上，所述滑块套设于滑杆上，所述第二动力装置连接于滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宣教，
申请(专利权)人：张家港市德昶自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32