硅片石英吸笔制造技术

技术编号:10407822 阅读:197 留言:0更新日期:2014-09-10 17:20
本实用新型专利技术涉及一种硅片石英吸笔,包括通气管道和吸盘,所述通气管道包括相连通的手持部及连接部,所述手持部上开有一气体通孔,所述吸盘上开有一与连接部的末端连通的内凹部,所述吸盘表面还设置有一能供内凹部露出的膜片,其特征在于:所述吸盘上开有供膜片卡入的凹槽,该凹槽内围绕内凹部的周向间隔设置有多个第一凸起,所述的膜片上对应开设有供第一凸起插入的插接孔。上述结构使得膜片与吸盘之间连接牢固,同时能够减少吸盘对硅片的污染及损坏;在手持部的外周面包覆有一层防滑膜,并在气体通孔上方的防滑膜上设置指示用第二凸起,以便于操作人员可以更容易的识别气体通孔的位置,使用更加方便。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅片石英吸笔,包括通气管道(1)和吸盘(2),所述通气管道(1)包括相连通的手持部(11)及连接部(12),所述手持部(11)上开有一气体通孔(111),所述吸盘(2)上开有一与连接部(12)的末端连通的内凹部(21),所述吸盘(2)表面还设置有一能供内凹部(21)露出的膜片(3),其特征在于:所述吸盘(2)上开有供膜片(3)卡入的凹槽(23),该凹槽(23)内围绕内凹部(21)的周向间隔设置有多个第一凸起(231),所述的膜片(3)上对应开设有供第一凸起(231)插入的插接孔(31)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:竺峰赵国成
申请(专利权)人:宁波富星太阳能有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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