【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于装卸硅片的夹具，特别是一种用于装卸硅片的石英吸笔。
技术介绍
目前，太阳能电池生产工艺一般包括清洗制绒、扩散、刻蚀、去磷硅玻璃、镀膜、印刷电极、烧结及测试等工艺。其中镀膜工序是多晶硅太阳能电池生产过程中的关键工序，需要使用一种夹具用于装运硅片，避免人手直接接触硅片，从而保证工艺洁净度。现有多晶硅太阳能电池领域所用的镀膜设备多为管式镀膜设备，使用石墨舟装载硅片，操作时需要在石墨舟卡槽内插入硅片，以便在硅片一面完成SiNx镀膜。因此，夹具的设计不仅要保证工艺洁净度，还需便于员工操作，降低人为碎片率和不良率。·
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种用于装卸硅片的石英吸笔，降低了人为操作的碎片率和不良率，操作简单。本技术解决技术问题采用的技术方案是一种用于装卸硅片的石英吸笔，包括石英吸盘、石英吸管、抽真空接管，在所述石英吸盘内设有塑胶软垫，所述石英吸管下部设有塑胶套，将石英吸管与石英吸盘连接在一起。本技术操作时，将抽真空接管与抽真空机构连接，启动抽真空气路，通过石英吸盘吸住一片硅片，然后握紧石英吸管，手握位置为设有塑胶套处，然后将硅片移动至石墨舟卡槽内，然后断开抽真空气路，硅片即卡在石墨舟卡槽内，最后将本技术移出，完成一次硅片的装运。本技术的有益效果是在石英吸盘内设塑胶软垫，即在石英吸盘吸住硅片时，保证不触伤硅片；在石英吸管下部设有连接石英吸盘的塑胶套，操作时，手握在塑胶套上而不直接接触石英吸管，可降低装运过程中人为的碎片率和不良率。附图说明图I为本技术实施例的结构示意图。以下结合附图对本技术做进一步说明。具体实施方式如图I所示，一种用...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于装卸硅片的石英吸笔，包括石英吸盘(I)、石英吸管(3)、抽真空接管(4)，其特征在于在所述石英吸盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：禹牛云，王学林，吴晓钟，袁占强，
申请(专利权)人：浙江晶科能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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