本实用新型专利技术公开了一种硅片真空夹紧装置，其特征在于：包括硅片、抽气管线、吸盘、放气阀和真空泵，硅片设置在吸盘上，真空泵通过抽气管线连接到吸盘，抽气管线中部设置有调节吸盘的夹紧气压的放气阀，吸盘采用单吸口多支撑平面吸盘，吸盘表面开若干道同心圆沟槽,通过中间几道放射形直槽使各圆槽相连，吸盘吸气口与抽气管线用密封管螺纹方式连接，抽气管线通过带有倒角的密封接头直接接至真空泵的吸气口上，真空泵采用旋片泵。本实用新型专利技术的夹紧装置夹紧可靠、变形小、运行稳定,可以实现硅片无损伤和无油污染的夹紧。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微型、纳米器件生产设备器件
，尤其是涉及一种硅片真空夹紧装置。
技术介绍
在涉及微型、纳米器件的现代前沿科研、生产活动中，硅片是最常见的基片材料。为实现器件的预定功能，需通过各种方法，把不同材料、不同厚度的薄膜逐步镀制在以硅为衬底的基片上，并刻蚀成各种复杂结构图形。在器件的制造、检测过程中，不可避免地要涉及到硅片的夹持问题。由于硅片厚度仅1_，刚度差且脆，在一般夹持装置下易变形甚至断裂，从而对器件的微结构、性能造成致命的损坏。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种硅片真空夹紧装置，本技术的夹紧装置夹紧可靠、变形小、运行稳定，可以实现硅片无损伤和无油污染的夹紧。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是:一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:包括硅片、抽气管线、吸盘、放气阀和真空泵，所述硅片设置在吸盘上，所述真空泵通过抽气管线连接到吸盘，所述抽气管线中部设置有调节吸盘的夹紧气压的放气阀。上述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述吸盘采用单吸口多支撑平面吸盘。上述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述吸盘表面开若干道同心圆沟槽，通过中间几道放射形直槽使各圆槽相连。上述的一种娃片真空夹紧装置，其特征在于:所述圆沟槽宽度定为4mm,深2mm,所述圆沟槽中间设置有吸盘吸气口，吸盘吸气口直径为15mm。上述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述吸盘以不锈钢制造，表面粗糙度R3.2，精度6级，全高1mm0上述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述吸盘吸气口与抽气管线用密封管螺纹方式连接。上述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述抽气管线通过带有倒角的密封接头直接接至真空泵的吸气口上。上述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述真空泵采用旋片泵。本技术与现有技术相比具有以下优点:本技术的夹紧装置夹紧可靠、变形小、运行稳定，可以实现硅片无损伤和无油污染的夹紧。下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。【附图说明】图1为本技术的硅片真空夹紧装置结构示意图；图2为本技术的吸盘和娃片具体结构不意图；图3为本技术的微型旋片真空泵结构示意图。【具体实施方式】如图1所示，一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:包括硅片1、抽气管线2、吸盘3、放气阀4和真空泵5，所述硅片I设置在吸盘3上，所述真空泵5通过抽气管线2连接到吸盘3，所述抽气管线2中部设置有调节吸盘3的夹紧气压的放气阀4。如图2所示，吸盘是本套装置的重要部件，其结构是否合理、加工精度的高低对硅片的变形起着举足轻重的影响；吸盘也直接决定了泵抽气量和泵的大小。对吸盘的基本要求是表面平整，精度高，夹紧可靠。由于硅片脆且厚度薄，不能承受过大的变形，考虑这样一些特点，决定采用单吸口多支撑平面吸盘形式。视硅片直径不同，根据具体吸盘尺寸，平面吸盘直径相应发生变化。为加强支撑同时保证抽气通畅，在吸盘表面开若干道同心圆沟槽，通过中间几道放射形直槽使各圆槽相连，这样每道槽抽空后都能提供吸力。在设计尺寸时，将圆槽宽度定为4_，深2_，中间吸气口直径则定为15_。吸盘以不锈钢制造，表面粗糙度R3.2，精度6级，全高1mm0整个夹持系统待抽空的体积主要由夹盘掏空体积和连接软管的体积决定。夹盘掏空容积按实验常用的硅片估算(不考虑中间未掏空部分)，约为0.08L。连接软管以内径10mm、长2m计，抽空体积为0.16L,总抽气容积约为0.24L。考虑到吸盘大小变化、漏气等因素影响，泵实际按抽速0.3L/S设计。显然此参数均留足了裕度，因此可保证在使用较大吸盘时系统仍能可靠工作。卡具和工作台的联结由4个M5的螺钉完成。吸盘吸气口与抽气管线的连接用密封管螺纹，抽气管线通过带有倒角的密封接头直接接至真空泵吸气口上。如图3所示，根据以上分析及初选的工作抽速等参数，比较各粗真空泵，从体积、性能、可靠性和经济性等方面综合考虑，决定采用旋片泵作为本系统的真空泵。真空泵的结构设计参考了 2XZ型油封式直联旋片泵的结构，并对内外结构做了一些精简。旋片和泵壁之间在工作时将会有一定摩擦，因此旋片采用自润滑材料(PFET)，泵腔内壁要有较高光洁度(R3.2)以减少摩擦(动摩擦系数约0.05)。同时使用低转速电机，电机的选择要求体积小，转速适中。设计中选择YFK12040/4型电机，功率40W，转速为800r/min。电机转子的结构为转子盘式，转子盘用6颗M2.5的十字槽沉头螺钉固定，节省空间，两转子体之间形成旋片槽，旋片材料膨胀系数约是转子材料的2倍，旋片和旋片槽间留出0.05_间隙。以上所述，仅是本技术的较佳实施例，并非对本技术作任何限制，凡是根据本技术技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本技术技术方案的保护范围内。【主权项】1.一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:包括硅片(I)、抽气管线(2)、吸盘(3)、放气阀(4)和真空泵(5)，所述硅片(I)设置在吸盘(3)上，所述真空泵(5)通过抽气管线(2)连接到吸盘(3)，所述抽气管线(2)中部设置有调节吸盘(3)的夹紧气压的放气阀(4)。2.按照权利要求1所述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述吸盘(3)采用单吸口多支撑平面吸盘。3.按照权利要求1所述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述吸盘(3)表面开若干道同心圆沟槽，通过中间几道放射形直槽使各圆槽相连。4.按照权利要求3所述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述圆沟槽宽度定为4mm,深2mm,所述圆沟槽中间设置有吸盘吸气口，吸盘吸气口直径为15mm。5.按照权利要求1所述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述吸盘(3)以不锈钢制造，表面粗糙度R3.2，精度6级，全高10mm。6.按照权利要求4所述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述吸盘吸气口与抽气管线(2)用密封管螺纹方式连接。7.按照权利要求1所述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述抽气管线(2)通过带有倒角的密封接头直接接至真空泵(5)的吸气口上。8.按照权利要求1所述的一种硅片真空夹紧装置，其特征在于:所述真空泵(5)采用旋片泵。【专利摘要】本技术公开了一种硅片真空夹紧装置，其特征在于：包括硅片、抽气管线、吸盘、放气阀和真空泵，硅片设置在吸盘上，真空泵通过抽气管线连接到吸盘，抽气管线中部设置有调节吸盘的夹紧气压的放气阀，吸盘采用单吸口多支撑平面吸盘，吸盘表面开若干道同心圆沟槽,通过中间几道放射形直槽使各圆槽相连，吸盘吸气口与抽气管线用密封管螺纹方式连接，抽气管线通过带有倒角的密封接头直接接至真空泵的吸气口上，真空泵采用旋片泵。本技术的夹紧装置夹紧可靠、变形小、运行稳定,可以实现硅片无损伤和无油污染的夹紧。【IPC分类】H01L21-683【公开号】CN204497210【申请号】CN201520201894【专利技术人】高政邦 【申请人】高政邦【公开日】2015年7月22日【申请日】2015年4月5日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种硅片真空夹紧装置，其特征在于：包括硅片(1)、抽气管线(2)、吸盘(3)、放气阀(4)和真空泵(5)，所述硅片(1)设置在吸盘(3)上，所述真空泵(5)通过抽气管线(2)连接到吸盘(3)，所述抽气管线(2)中部设置有调节吸盘(3)的夹紧气压的放气阀(4)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高政邦，
申请(专利权)人：高政邦，
类型：新型
国别省市：山东;37
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