避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室制造方法及图纸
Opening and closing device and vacuum chamber for avoiding punching of vacuum cavity door
The invention provides a vacuum cavity to avoid the door opening and closing device and vacuum chamber flushing, including linear drive shaft linear drive parts and joint parts, part of the joint end is fixed on the edge part of the joint cavity door, the other end is provided with a connecting hole; the outer wall at one end of the linear driving member is movably connected to the vacuum chamber on the other end and joint part connecting hole are movably connected by the other end; the linear rotation of the driving member to drive the rotating joint component to open or close the door cavity around the baffle plate; drive shaft end of the sleeve in the linear connection; baffle hole located on the part of the joint, its cut-off end is close to the linear drive unit; a bolt passes through the connecting hole, the baffle and the baffle sleeve sleeve is fixedly connected, and the activities between the baffle and the joint part is located in the joint part of the connecting block; The plate blocking member is arranged near the cut-off end of the baffle plate, and when the stop end of the baffle is in contact with the baffle block, the joint member is jammed by the baffle plate and can not continue to rotate.
【技术实现步骤摘要】
避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室
本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室。
技术介绍
真空腔在工作或维护时，需要将腔门关闭或开启。通常，真空腔腔门边缘固定连接有接头部件，真空腔外壁上连接有线性驱动部件，接头部件的一端具有连接孔，一栓销穿过连接孔将接头部件的一端与线性驱动装置的一端活动连接，也即是，在开启或关闭腔门的过程中，栓销抵靠在连接孔的上端，线性驱动部件通过栓销推动接头部件实现腔门打开或闭合，接头部件可以以该栓销为支点相对线性驱动部件而产生一个相对旋转，从而将腔门开启或关闭。当腔门关闭后，对真空腔抽真空，此时，腔门会在真空吸力的作用下进一步向下移动，为避免连接孔中的栓销与连接孔顶端发生硬性挤压，可以设置连接孔尺寸大于栓销外径尺寸。当真空腔门在抽真空过程中进一步向下降落时，采用上述连接孔可以释放施加于腔门上的力，使腔门在抽真空时可以向下移动，避免腔门向下时与现行驱动部件冲突干涉，以确保更高的真空度。然而，由于连接孔尺寸大于栓销外径尺寸，当需要腔门开启方向超过竖直方向或腔门重心超过竖直状态时，腔门在自身的重力作用下会发生突然翻转，迫使上述栓销向连接孔的下端滑行，导致腔门产生相对于开启方向的相反方向的震动或抖动，特别是，在腔门完全开启且处于竖直状态时，由于腔门自身的重力作用以及腔门旋转的末速度，会使得腔门产生严重的过冲，导致腔门运动的不可控，并且，对易碎部件造成震动而使其损坏，还会产生不需要的颗粒物，破坏机械支撑系统。因此，亟需探索如何避免腔门开启时的过冲问题的解决方案，以减小由于过冲带来的上述影响和损失。专利...
【技术保护点】
一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置，其包括接头部件(1)和具有线性驱动轴(6)的线性驱动部件(202)，所述接头部件(1)一端固定于所述腔门(201)边缘，另一端设置一连接孔(7)；所述线性驱动部件(202)通过所述连接孔(7)驱动所述接头部件(1)转动从而开启或关闭所述腔门(201)；其特征在于，所述启闭装置还包括：挡板套筒(5)，环绕在所述线性驱动轴(6)的端部；挡板(3)，位于所述连接孔(7)一侧，通过一栓销(4)实现与所述连接孔(7)和所述挡板套筒(5)的依次连接；挡板阻件(8)，位于所述接头部件(1)上，当所述腔门(201)开启至竖直方向或腔门(201)重心至竖直方向时，所述挡板(3)与所述挡板组件(8)互相抵靠。
【技术特征摘要】
1.一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置，其包括接头部件(1)和具有线性驱动轴(6)的线性驱动部件(202)，所述接头部件(1)一端固定于所述腔门(201)边缘，另一端设置一连接孔(7)；所述线性驱动部件(202)通过所述连接孔(7)驱动所述接头部件(1)转动从而开启或关闭所述腔门(201)；其特征在于，所述启闭装置还包括：挡板套筒(5)，环绕在所述线性驱动轴(6)的端部；挡板(3)，位于所述连接孔(7)一侧，通过一栓销(4)实现与所述连接孔(7)和所述挡板套筒(5)的依次连接；挡板阻件(8)，位于所述接头部件(1)上，当所述腔门(201)开启至竖直方向或腔门(201)重心至竖直方向时，所述挡板(3)与所述挡板组件(8)互相抵靠。2.根据权利要求1所述的启闭装置，其特征在于，所述挡板(3)、所述挡板套筒(5)及所述线性驱动轴(6)在腔门(201)开启或关闭过程中保持同步转动。3.根据权利要求1所述的启闭装置，其特征在于，所述连接孔(7)的尺寸大于所述栓销(4)的外径。4.根据权利要求3所述的启闭装置，其特征在于，所述连接孔(7)的形状为长槽型或椭圆形。5.根据权利要求4所述的启闭装置，其特征在于，所述长槽型连接孔(7)靠近所述线性驱动部件(202)的一端呈圆弧状；所述挡板(3)的所述截止端(3a)也呈圆弧状；当所述腔门(201)处于关闭状态时，所述挡板(3)的所述截止端(3a)的弧线内切于所述长槽型连接孔(7)靠近所述线性驱动部件(202)的一端的弧线；且所述长槽型连接孔(7)的中心线...
【专利技术属性】
技术研发人员：高颖，雷仲礼，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。