半导体组件取放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种半导体组件取放装置，其包含载座、旋转马达、直线马达及摆臂，其中，载座具有彼此相对设置的第一、第二组合部，且将旋转马达组设于第一组合部上，并将直线马达组设于第二组合部上，使旋转马达与直线马达沿着工作轴线彼此做动力连接，载座不仅能分担旋转、直线马达本身的重量，且使旋转马达驱动摆臂于工作轴在线做圆周运动，另使直线马达驱动摆臂于工作轴在线做直线运动，由此提供摆臂可准确、且快速取放半导体组件。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是涉及一种取放装置，特别是指ー种可准确、且快速取放半导体组件的取放装置。
技术介绍
在半导体制备エ艺中，请參考图I为公知的半导体取放装置的立体组合图，公知的半导体取放装置90包含有旋转马达91、载座92、直线马达93、基座94及摆臂95。旋转马达91是以圆周运动提供摆臂95旋转动力，直线马达93是以直线运动提供摆臂95位移动力，为了提供摆臂95结合旋转与直线ニ种运动方式，公知采用的结构组成方式，是先将基座94设置于旋转马达91获取旋转动力，再将直线马达93设置于基座94上提供摆臂95位移动力。·公知的结构组成进ー步分析将可发现以下问题旋转马达91承载着直线马达93、基座94及摆臂95三者的重量，同时又要施予前述三者动力，重量的施压加上旋转力量，且旋转马达91动作在第一轴线A，直线马达93动作在第二轴线B，第一轴线A与第二轴线B彼此互不相交之下，将得知旋转马达91的旋转轴心发生偏心是可被预期的，随着偏心的发生，定子与动子原本維持的间隙将消失，彼此越来越接近将会有摩擦的状况产生，不仅影响动カ输出，且旋转马达91发生烧毁的机率也大大提升。有鉴于此，如何针对上述公知的缺点进行研发改良，能有效减轻旋转马达于运转时的负担，使旋转、直线马达在同一轴线进行圆周、直线运动，实为相关业界所需努力研发的目标。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体组件取放装置，以解决上述
技术介绍
中不尽理想之处。为实现上述目的，本技术提供的半导体组件取放装置，包括—载座具有一第一组合部与一相对所述第一组合部设置的第二組合部；一旋转马达具有一第一定子与一第一动子，所述第一定子沿着一工作轴线被组设于所述载座的所述第一组合部上，且所述第一动子沿着所述工作轴线可旋转的组设于所述第一定子上；一直线马达具有一第二定子与一第二动子，所述第二定子沿着所述工作轴线被组设于所述载座的所述第二組合部上，且所述第二动子沿着所述工作轴线可直线位移的组设于所述第二定子上，所述直线马达的所述第二动子与所述旋转马达的所述第一动子动カ连接，使所述第ニ动子随所述第一动子相应所述工作轴线旋转；一摆臂被组设于所述直线马达的所述第二动子上。所述的半导体组件取放装置，其中所述载座具有一第一基板、一第二基板及ー隔板，所述第一组合部形成于所述第一基板上，所述第二組合部形成于所述第二基板上，所述隔板的ニ侧分别组设于所述第一基板与所述第二基板上；所述旋转马达的所述第一动子朝所述工作轴线延伸、且贯穿过所述第一基板上的所述第一组合部；所述半导体组件取放装置包含ー连接件，所述连接件沿着所述工作轴线被套设于所述旋转马达的所述第一动子上，所述连接件具有一第一端；以及所述直线马达具有ー导引件，所述导引件沿着所述工作轴线可旋转的组设于所述第二基板上的所述第二組合部，所述导引件具有一第一端组设于所述连接件的所述第一端，所述直线马达的所述第二定子被所述导引件沿着所述工作轴线穿设，且所述直线马达的所述第二动子可直线位移的组设于所述第二定子上。所述的半导体组件取放装置，其中所述第一基板的所述第一组合部具有一第一孔，所述旋转马达的所述第一动子经所述第一孔穿过所述第一基板的所述第一组合部。所述的半导体组件取放装置，其中所述第二基板具有一第二孔，所述第二孔组设一培林，所述直线马达的所述导引件穿置于所述培林上，使所述直线马达可旋转的组设于 所述第二基板上。所述的半导体组件取放装置，其中所述连接件的所述第一端形成一圈状的凸缘，所述直线马达的所述导引件的所述第一端形成ー圈状的凸缘，所述导引件的所述凸缘相对所述连接件的所述凸缘组设。所述的半导体组件取放装置，其中所述直线马达具有ー滑动件，所述滑动件插设于所述导引件与所述摆臂上。本技术提供的半导体组件取放装置，其运用载座的二相对设置的第一、第二组部，使旋转马达与直线马达相对设置于工作轴在线，提供摆臂以工作轴线为旋转中心，能被旋转马达驱动进行旋转运动，也被直线马达驱动进行直线运动，因此摆臂可准确、且快速的取放半导体组件。本技术提供的半导体组件取放装置，其运用载座同时分担旋转马达与直线马达的重量，且使旋转马达以工作轴线为中心做圆周运动，并使直线马达在工作轴在线获取旋转马达的旋转动力、再以工作轴线为直线位移的路径，因着旋转、直线马达动作于工作轴线，且将重量透过载座分担避免偏心问题，更随着偏心被解决也就不影响动カ传输。附图说明图I为公知的半导体取放装置的立体组合图。图2为本技术所提出实施例的半导体组件取放装置的立体组合图。图3为本技术所提出实施例的图2的半导体组件取放装置的立体分解图。图4为本技术所提出实施例的图2的半导体组件取放装置的E-E剖面图。图5为本技术所提出实施例的半导体组件取放装置采用一体成型载座的立体图。附图中主要组件符号说明半导体取放装置90 ;旋转马达91 ;载座92 ;直线马达93 ;基座94 ;摆臂95 ;第ー轴线A ;第ニ轴线B ;工作轴线C。载座10、10';第一组合部11;第二組合部12;第一基板13;侧131;第二基板14;侧141 ;隔板15 ;侧151 ;第一基部13';第二基部14';隔部15';第一孔16 ;第二孔17 ;培林18 ;旋转马达20 ;第一定子21 ;端211 ;第一动子22 ;连接件30 ;第一端31 ;凸缘32 ;直线马达40 ;第二定子41 ;第二动子42 ;导引件43 ;第一端431 ;凸缘432 ;滑动件44 ;摆臂50。具体实施方式本技术提供的半导体组件取放装置，其包含有载座、旋转马达、直线马达及摆臂；前述载座具有彼此相对设置的第一组合部与第二組合部；前述旋转马达具有第一定子沿着工作轴线被组设于第一组合部上，以及具有第一动子沿着工作轴线可旋转的组设于第一定子上；前述直线马达具有第二定子沿着工作轴线被组设于第二組合部上，以及具有第ニ动子沿着工作轴线可直线位移的组设于第二定子上，且直线马达的第二动子与旋转马达的第一动子动カ连接，使第二动子随第一动子相应工作轴线旋转；前述摆臂被组设于直线马达的第二动子上。所述半导体组件取放装置，其中，载座进一歩具有一第一基板、一第二基板及ー隔板，第一组合部形成于第一基板上，第二組合部形成于第二基板上，隔板的ニ侧分别组设于 第一基板与第二基板上；旋转马达的第一动子朝工作轴线延伸、且贯穿过第一基板上的第ー组合部；半导体组件取放装置进ー步包含ー连接件，连接件沿着工作轴线被套设于旋转 马达的第一动子上，连接件具有一第一端；直线马达进ー步具有ー导引件，导引件沿着工作轴线可旋转的组设于第二基板上的第二組合部，导引件具有一第一端组设于连接件的第一端，直线马达的第二定子被导引件沿着工作轴线穿设，且直线马达的第二动子可直线位移的组设于第二定子上。所述的半导体组件取放装置，其中，第一基板的第一组合部进ー步具有一第一孔，旋转马达的第一动子经第一孔穿过第一基板的第一组合部。所述的半导体组件取放装置，其中，第二基板进ー步具有一第二孔，第二孔组设一培林，直线马达的导引件穿置于培林上，使直线马达可旋转的组设于第二基板上。所述的半导体组件取放装置，其中，连接件的第一端进ー步形成ー圈状的凸缘，直线马达的导引件的第一端进ー步形成ー圈状的凸缘，导引件的凸缘相对连接件的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2012.02.02 TW 1012018731.一种半导体组件取放装置，其特征在干 ー载座(10)，其具有一第一组合部(11)与一相对所述第一组合部(11)设置的第二组合部(12)； ー旋转马达(20),其具有一第一定子(21)与一第一动子(22),所述第一定子(21)沿着一工作轴线(C)被组设于所述载座(10)的所述第一组合部(11)上，且所述第一动子(22)沿着所述工作轴线(C)可旋转的组设于所述第一定子(21)上； 一直线马达(40)，其具有一第二定子(41)与一第二动子(42)，所述第二定子(41)沿着所述工作轴线(C)被组设于所述载座(10)的所述第二組合部(12)上，且所述第二动子(42)沿着所述工作轴线(C)可直线位移的组设于所述第二定子(41)上，所述直线马达(40)的所述第二动子(42)与所述旋转马达(20)的所述第一动子(22)动カ连接，使所述第 ニ动子(42)随所述第一动子(22)相应所述工作轴线(C)旋转；以及 ー摆臂(50)，其被组设于所述直线马达(40)的所述第二动子(42)上。2.根据权利要求I所述的半导体组件取放装置，其特征在于 所述载座(10)具有一第一基板(13)、一第二基板(14)及ー隔板(15)，所述第一组合部(11)形成于所述第一基板(13)上，所述第二組合部(12)形成于所述第二基板(14)上，所述隔板(15)的ニ侧(151)分别组设于所述第一基板(13)与所述第二基板(14)上； 所述旋转马达(20)的所述第一动子(22)朝所述工作轴线(C)延伸、且贯穿过所述第一基板(13)上的所述第一组合部(11)； 所述半导体组件取放装置(I)包含一连接件(30)，所述连接件(30)沿着所述工作轴线(C)被套设于所述旋转马达(20)的所述第一动子(22)上，所述连接件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张介舟，
申请(专利权)人：旭科科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：