一种硅片烘烤支架制造技术

一种硅片烘烤支架，该支架包括侧板，支撑杆，定位杆；所述两侧板相向布置，在侧板靠近底端对称设置一对支撑孔，一对支撑杆两端分别插入所述支撑孔中，在支撑杆上设置卡口并向内凹陷，支撑孔上方偏离侧板中心位置两边分别设置定位孔，一对定位杆两端分别插入侧板两边的对称定位孔中。通过在侧板上分别设置支撑孔、定位孔，支撑杆、定位杆穿过该支撑孔、定位孔，从而将待烤硅片固定在该支架上，可以依据硅片大小灵活调整定位杆的位置，以适应不同尺寸硅片。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅生产
，具体涉及一种硅片烘烤支架。
技术介绍
硅片在清洗完后需要对其表面进行烘干作业，由于硅片厚度较薄，而且切割尺寸大小不一，现有烤箱或者各种烘烤装置没有专门针对硅片进行设计的支架，使得硅片难以固定在烤箱或者烘烤装置中。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于克服现有的技术缺陷，提供一种硅片烘烤支架。本技术所要解决的技术问题采用以下的技术方案来实现：一种硅片烘烤支架，包括侧板，支撑杆，定位杆；所述两侧板相向布置，在侧板靠近底端对称设置一对支撑孔，一对支撑杆两端分别插入两侧板的支撑孔中，在支撑杆上设置卡口，卡口向内凹陷并等距离间隔分布，待烤硅片侧边直立置于该卡口上，在支撑杆上设置10-25个卡口，支撑孔上方偏离侧板中心位置两边分别设置定位孔，可以设置3-5行，4-6列定位孔，一对定位杆两端分别插入两边的对称定位孔中，从而通过定位杆将硅片位置固定，防止硅片尺寸过大从支撑杆上滑离，在定位杆上设置与支撑杆上的卡口对应的凹槽，通过所述凹槽从两边将硅片卡住。进一步在支撑孔正上方设置把手，通过该把手方便的提携该烘烤支架。本技术的有益效果为：通过在侧板上分别设置支撑孔、定位孔，支撑杆、定位杆穿过该支撑孔、定位孔，从而将待烤硅片固定在该支架上，可以依据硅片大小灵活调整定位杆的位置，以适应不同尺寸硅片。附图说明图1为本技术俯视图；图2为本技术主视图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。如图1、2所示，一种硅片烘烤支架，包括侧板1，支撑杆2，定位杆4；两侧板1相向布置，在侧板1靠近底端对称设置一对支撑孔7，一对支撑杆2两端分别插入两侧板1的支撑孔7中，在支撑杆2上设置卡口3，卡口3向内凹陷并等距离间隔分布，待烤硅片侧边直立置于该卡口3上，在支撑杆2上设置10-25个卡口3，支撑孔7上方偏离侧板1中心位置两边分别设置定位孔8，可以设置3-5行，4-6列定位孔8，一对定位杆4两端分别插入两边的对称定位孔8中，从而通过定位杆4将硅片位置固定，防止硅片尺寸过大从支撑杆2上滑离，在定位杆4上设置与支撑杆2上的卡口3对应的凹槽5，通过凹槽5从两边将硅片卡住。进一步在支撑孔7正上方设置把手7，通过把手6方便的提携该烘烤支架。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片烘烤支架，其特征在于：该支架包括侧板，支撑杆，定位杆；所述两侧板相向布置，在侧板靠近底端对称设置一对支撑孔，一对支撑杆两端分别插入所述支撑孔中，在支撑杆上设置卡口并向内凹陷，支撑孔上方偏离侧板中心位置两边分别设置定位孔，一对定位杆两端分别插入侧板两边的对称定位孔中。

【技术特征摘要】
1.一种硅片烘烤支架，其特征在于：该支架包括侧板，支撑杆，定位杆；所述两侧板相向布置，在侧板靠近底端对称设置一对支撑孔，一对支撑杆两端分别插入所述支撑孔中，在支撑杆上设置卡口并向内凹陷，支撑孔上方偏离侧板中心位置两边分别设置定位孔，一对定位杆两端分别插入侧板两边的对称定位孔中。2.如权利要求1所述的一种硅片烘烤支架，其特征在于：所述卡口等...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕凤岗，程林，曹来福，戴珍旭，胡正田，
申请(专利权)人：安徽正田能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34