硅片流转一体机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片流转一体机，具有硅片花篮、硅片花篮翻转机构、硅片花篮抓取机构、硅片花篮回转机构。硅片花篮的上左侧板、下左侧板的外侧均设置有左侧凸柱，所述上右侧板、下右侧板的外侧均设置有右侧凸柱。硅片花篮翻转机构用于将竖直状态的硅片花篮翻转至水平状态，硅片花篮抓取机构用于抓取水平状态的硅片花篮。本实用新型专利技术使得硅片花篮可以用作流转工件，硅片进行流转、清洗、检测等工序时不需要另外的流转框、清洗框、检测框等。硅片及硅片花篮的流传实现自动化，减少人工成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种硅片流转一体机。
技术介绍
电池硅片在自动生产制造过程中，需要通过硅片花篮进行流转，现有的硅片花篮基本上只有插入硅片的作用，而对硅片进行流转、清洗、检测等需要将硅片花篮放入另外的花篮框里进行流转、清洗、检测等工作，需要较多的人工将花篮放入花篮框或从花篮框内取出，无法高效率的实现硅片的自动流转，费时费力。硅片进行清洗、检测等工序中硅片花篮的翻转、抓取及回转也需要较为自动化的设备，以减少人工成本。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种硅片流转一体机，减少人工成本。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片流转一体机，具有硅片花篮、硅片花篮翻转机构、硅片花篮抓取机构。所述硅片花篮具有上端板、下端板，所述上端板具有上左侧板、上右侧板、上连接板，所述下端板具有下左侧板、下右侧板、下连接板，所述上左侧板、下左侧板的外侧均设置有左侧凸柱，所述上右侧板、下右侧板的外侧均设置有右侧凸柱。所述硅片花篮翻转机构用于将竖直状态的硅片花篮翻转至水平状态，所述硅片花篮翻转机构具有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机通过第一联轴器连接转动减速机，所述转动减速机驱动转动轴，所述转动轴通过第一连接件连接花篮座，所述花篮座包括卡座以及与卡座垂直的背板，所述花篮座与第一连接件固定连接，所述花篮座的卡座设有与左侧凸柱对应的左侧卡槽、与右侧凸柱对应的右侧卡槽。所述硅片花篮抓取机构用于抓取水平状态的硅片花篮，所述硅片花篮抓取机构具有两套前、后对应设置的升降机构，所述升降机构包括升降电机，所述升降电机的输出轴连接丝杠，所述丝杠竖直设置，与丝杠配套的滑块固定连接悬吊臂固定板，所述悬吊臂固定板固定连接竖直设置的悬吊臂，所述悬吊臂底端设有抓钩气缸，所述抓钩气缸的输出杆底端固定连接抓钩，所述抓钩的中部部位与抓钩气缸的输出杆固定连接，所述抓钩设有至少一套与硅片花篮一端的左侧凸柱、右侧凸柱对应的凹口。进一步地，所述的硅片流转一体机具有用于回转硅片花篮的硅片花篮回转机构；所述硅片花篮回转机构具有回转轨道，所述回转轨道具有直行轨道与弧形轨道，所述弧形轨道的两侧边设有内侧挡板、外侧挡板，所述弧形轨道的端部设有硅片花篮感应器及限位电机，所述回转轨道安装有可循环的网带，所述硅片花篮感应器感应到弧形轨道的端部未有硅片花篮时，限位电机驱动网带循环运作，所述硅片花篮感应器感应到弧形轨道的端部有硅片花篮时限位电机驱动网带停止。进一步地，所述硅片花篮的上左侧板与下左侧板的内侧之间连接有前后设置的第一支撑柱、第二支撑柱，所述上右侧板与下右侧板的内侧之间连接有前后设置的第三支撑柱、第四支撑柱，所述第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱、第四支撑柱上均设置有套件，所述套件开有多个卡槽；所述套件的卡槽为整圆槽或半圆槽或圆弧槽；所述第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱、第四支撑柱的套件的卡槽所围成的框形大小与硅片大小相适应。进一步地，所述硅片花篮的上连接板与下连接板之间设置有至少1个连接柱；所述上连接板、下连接板的外侧中部均设置有中部凸柱；所述左侧凸柱、右侧凸柱、中部凸柱的中间部分的直径小于其两端部分的直径，所述硅片花篮翻转机构的花篮座的卡座设有与中部凸柱对应的中部卡槽。进一步地，所述硅片花篮翻转机构具有滑移机构，所述滑移机构具有滑移电机，所述滑移电机通过第二联轴器连接滑移减速机，所述滑移减速机驱动滑移轴，所述滑移轴两端设置有滚轮，所述滚轮置于固定设置的滑轨上，所述滑移机构与转动机构均安装在底板上。进一步地，所述硅片花篮翻转机构的滑移轴两端固定有主动齿轮，所述主动齿轮与被动齿轮啮合，所述被动齿轮与被动轴固定，所述被动轴两端设置有被动滚轮，所述被动滚轮置于固定设置的滑轨上。进一步地，所述硅片花篮回转机构的直行轨道的网带两侧设置有铝制挡边，两侧的铝制挡边均固定有滚筒支撑板，两侧的滚筒支撑板之间安装有无动力滚筒，所述无动力滚筒与网带的背面接触。进一步地，所述硅片花篮回转机构具有回转支架、夹紧气缸，所述夹紧气缸通过夹紧气缸连接板固定在回转支架上，所述夹紧气缸的输出杆前段固定有用于夹紧硅片花篮的夹紧块。本技术的有益效果是：本技术改进设计了硅片花篮，使得硅片花篮可以用作流转工件，硅片进行流转、清洗、检测等工序时不需要另外的流转框、清洗框、检测框等。采用硅片花篮翻转机构将竖直状态的硅片花篮翻转至水平状态，采用硅片花篮抓取机构抓取水平状态的硅片花篮进而可进行清洗等工序。空的硅片花篮还可以通过硅片花篮回转机构回至硅片插片处。硅片及硅片花篮的流传实现自动化，减少人工成本。附图说明下面结合附图对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图；图2是本技术中的硅片花篮的结构示意图；图3是硅片花篮翻转机构未安装花篮座时的俯视示意图；图4是本技术安装花篮座后的立体示意图；图5是硅片花篮抓取机构的结构示意图；图6是硅片花篮回转机构的结构示意图；图7是图6中的A处放大示意图；其中:11、上左侧板，12、上右侧板，13、上连接板，21、下左侧板，22、下右侧板，23、下连接板，31、左侧凸柱，32、右侧凸柱，33、中部凸柱，41、第一支撑柱，42、第二支撑柱，43、第三支撑柱，44、第四支撑柱，5、连接柱；2011、转动电机、2012、第一联轴器，2013、转动减速机，2014、转动轴，2015、第一连接件，2016、卡座，2017、背板，2021、滑移电机，2022、第二联轴器，2023、滑移减速机，2024、滑移轴，2025、滚轮，2026、滑轨；301、升降电机、302、悬吊臂，303、抓钩气缸，304、抓钩，305、硅片花篮；401、内侧挡板，402、外侧挡板，403、网带，404、滚筒支撑板，405、夹紧块，406、限位电机。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1所示，一种硅片流转一体机，具有硅片花篮、硅片花篮翻转机构、硅片花篮抓取机构。如图2所示，所述硅片花篮具有上端板、下端板，所述上端板具有上左侧板11、上右侧板12、上连接板13，所述下端板具有下左侧板21、下右侧板22、下连接板23，上左侧板11、下左侧板21的外侧均设置有左侧凸柱31，上右侧板12、下右侧板22的外侧均设置有右侧凸柱32。所述上左侧板11与下左侧板21的内侧之间连接有前后设置的第一支撑柱41、第二支撑柱42，所述上右侧板12与下右侧板22的内侧之间连接有前后设置的第三支撑柱43、第四支撑柱44，所述第一支撑柱41、第二支撑柱42、第三支撑柱43、第四支撑柱44上均设置有套件，所述套件开有多个卡槽。所述套件的卡槽为整圆槽或半圆槽或圆弧槽。所述第一支撑柱41、第二支撑柱42、第三支撑柱43、第四支撑柱44的套件的卡槽所围成的框形大小与硅片大小相适应。所述上连接板13与下连接板23之间设置有3个连接柱5。上连接板、下连接板的外侧中部均设置有中部凸柱33；左侧凸柱31、右侧凸柱32、中部凸柱33的中间部分的直径小于其两端部分的直径。本技术的硅片花篮既可以用于插入多片硅片，硅片插入第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱、第四支本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片流转一体机，其特征在于：具有硅片花篮、硅片花篮翻转机构、硅片花篮抓取机构；所述硅片花篮具有上端板、下端板，所述上端板具有上左侧板、上右侧板、上连接板，所述下端板具有下左侧板、下右侧板、下连接板，所述上左侧板、下左侧板的外侧均设置有左侧凸柱，所述上右侧板、下右侧板的外侧均设置有右侧凸柱；所述硅片花篮翻转机构用于将竖直状态的硅片花篮翻转至水平状态，所述硅片花篮翻转机构具有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机通过第一联轴器连接转动减速机，所述转动减速机驱动转动轴，所述转动轴通过第一连接件连接花篮座，所述花篮座包括卡座以及与卡座垂直的背板，所述花篮座与第一连接件固定连接，所述花篮座的卡座设有与左侧凸柱对应的左侧卡槽、与右侧凸柱对应的右侧卡槽；所述硅片花篮抓取机构用于抓取水平状态的硅片花篮，所述硅片花篮抓取机构具有两套前、后对应设置的升降机构，所述升降机构包括升降电机，所述升降电机的输出轴连接丝杠，所述丝杠竖直设置，与丝杠配套的滑块固定连接悬吊臂固定板，所述悬吊臂固定板固定连接竖直设置的悬吊臂，所述悬吊臂底端设有抓钩气缸，所述抓钩气缸的输出杆底端固定连接抓钩，所述抓钩的中部部位与抓钩气缸的输出杆固定连接，所述抓钩设有至少一套与硅片花篮一端的左侧凸柱、右侧凸柱对应的凹口。...

【技术特征摘要】
1.一种硅片流转一体机，其特征在于：具有硅片花篮、硅片花篮翻转机构、硅片花篮抓取机构；所述硅片花篮具有上端板、下端板，所述上端板具有上左侧板、上右侧板、上连接板，所述下端板具有下左侧板、下右侧板、下连接板，所述上左侧板、下左侧板的外侧均设置有左侧凸柱，所述上右侧板、下右侧板的外侧均设置有右侧凸柱；所述硅片花篮翻转机构用于将竖直状态的硅片花篮翻转至水平状态，所述硅片花篮翻转机构具有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机通过第一联轴器连接转动减速机，所述转动减速机驱动转动轴，所述转动轴通过第一连接件连接花篮座，所述花篮座包括卡座以及与卡座垂直的背板，所述花篮座与第一连接件固定连接，所述花篮座的卡座设有与左侧凸柱对应的左侧卡槽、与右侧凸柱对应的右侧卡槽；所述硅片花篮抓取机构用于抓取水平状态的硅片花篮，所述硅片花篮抓取机构具有两套前、后对应设置的升降机构，所述升降机构包括升降电机，所述升降电机的输出轴连接丝杠，所述丝杠竖直设置，与丝杠配套的滑块固定连接悬吊臂固定板，所述悬吊臂固定板固定连接竖直设置的悬吊臂，所述悬吊臂底端设有抓钩气缸，所述抓钩气缸的输出杆底端固定连接抓钩，所述抓钩的中部部位与抓钩气缸的输出杆固定连接，所述抓钩设有至少一套与硅片花篮一端的左侧凸柱、右侧凸柱对应的凹口。2.根据权利要求1所述的硅片流转一体机，其特征在于：具有用于回转硅片花篮的硅片花篮回转机构；所述硅片花篮回转机构具有回转轨道，所述回转轨道具有直行轨道与弧形轨道，所述弧形轨道的两侧边设有内侧挡板、外侧挡板，所述弧形轨道的端部设有硅片花篮感应器及限位电机，所述回转轨道安装有可循环的网带，所述硅片花篮感应器感应到弧形轨道的端部未有硅片花篮时，限位电机驱动网带循环运作，所述硅片花篮感应器感应到弧形轨道的端部有硅片花篮时限位电机驱动网带停止。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，徐虎，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32