【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硅片生产领域，特别是一种硅片用真空干燥设备。
技术介绍
1、现有技术中，硅片需要通过真空干燥设备进行干燥，通常将硅片放在箱体内静置干燥，效率慢。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种硅片用真空干燥设备，以克服现有技术中的不足。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、本申请实施例公开了一种硅片用真空干燥设备，其特征在于：包括箱体，所述箱体内设有支撑台，所述支撑台上设置有多个花篮，所述支撑台的底部与箱体的内底面铰接，所述箱体上设有驱动支撑台沿支撑台与箱体内底面铰接处来回摆动的驱动机构。
4、优选的，在上述的一种硅片用真空干燥设备中，所述驱动机构包括纵轴、第一连接板、第二连接板、第三连接板和伸缩气缸，所述纵轴与箱体转动连接，所述第一连接板的一端固定套设置纵轴上，所述第一连接板的另一端与第二连接板的一端铰接，所述第二连接板的另一端与与支撑台的一端铰接，所述纵轴的一端贯穿箱体延伸至箱体外且与所述第三连接板的一端固定连接，所述第三...
【技术保护点】
1.一种硅片用真空干燥设备，其特征在于：包括箱体，所述箱体内设有支撑台，所述支撑台上设置有多个花篮，所述支撑台的底部与箱体的内底面铰接，所述箱体上设有驱动支撑台沿支撑台与箱体内底面铰接处来回摆动的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的一种硅片用真空干燥设备，其特征在于：所述驱动机构包括纵轴、第一连接板、第二连接板、第三连接板和伸缩气缸，所述纵轴与箱体转动连接，所述第一连接板的一端固定套设置纵轴上，所述第一连接板的另一端与第二连接板的一端铰接，所述第二连接板的另一端与与支撑台的一端铰接，所述纵轴的一端贯穿箱体延伸至箱体外且与所述第三连接板的一端固定连接，所述第...
【技术特征摘要】
1.一种硅片用真空干燥设备，其特征在于：包括箱体，所述箱体内设有支撑台，所述支撑台上设置有多个花篮，所述支撑台的底部与箱体的内底面铰接，所述箱体上设有驱动支撑台沿支撑台与箱体内底面铰接处来回摆动的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的一种硅片用真空干燥设备，其特征在于：所述驱动机构包括纵轴、第一连接板、第二连接板、第三连接板和伸缩气缸，所述纵轴与箱体转动连接，所述第一连接板的一端固定套设置纵轴上，所述第一连接板的另一端与第二连接板的一端铰接，所述第二连接板的另一端与与支撑台...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：发明
国别省市：
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