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本申请公开了一种硅片用真空干燥设备，包括箱体，所述箱体内设有支撑台，所述支撑台上设置有多个花篮，所述支撑台的底部与箱体的内底面铰接，所述箱体上设有驱动支撑台沿支撑台与箱体内底面铰接处来回摆动的驱动机构。该硅片用真空干燥设备通过伸缩气缸驱动第...
该专利属于张家港市超声电气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过张家港市超声电气有限公司授权不得商用。

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