载板及使用该载板的太阳能电池生产设备制造技术

本发明专利技术涉及太阳能电池加工装置技术领域，尤其是涉及一种载板及使用该载板的太阳能电池生产设备。载板，包括板体，板体的上板面设置有两个陪片放置区和多个按行列排布的硅片放置区；硅片放置区设置有通气凹槽；相邻两个硅片放置区的边缘之间设置有硅片定位凸起，用于将硅片限定于硅片放置区中；两个陪片放置区分别位于板体的两个短边侧；陪片放置区的边缘与硅片放置区的边缘之间设置有硅片定位凸起。太阳能电池生产设备，包括载板传输装置和载板，载板传输装置用于传输载板。本发明专利技术能够避免损坏绒面和碰碎硅片的现象，提高成品良品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池加工装置
，尤其是涉及一种载板及使用该载板的太阳能电池生产设备。
技术介绍
晶硅太阳能电池具有工艺简单、太阳能转化效率较高等优点而被大规模应用，在晶硅电池的生产中，RIE干法制绒重要的真空工艺技术。RIE干法制绒是在真空化学气氛下经等离子激发形成低反射率的粗糙表面。RIE干法制绒的通常工艺流程为：将硅片在大气中放置在载板上，载板通过载板传输装置传输到装载腔中，在装载腔抽真空抽到10Pa左右，然后再传输到工艺腔接受RIE刻蚀。工艺完成后，载板进入卸载腔(放气腔)，并通过硅片吸取装置将处理后的硅片从载板上取下。使用现有的载板完成上述工艺后，当硅片吸取装置吸取硅片时，容易使绒面受损，甚至导致碰碎硅片的现象发生。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种载板，以解决使用现有的载板存在的吸取硅片时使绒面受损或碎片现象严重的技术问题。本专利技术的目的还在于提供一种太阳能电池生产设备，以解决现有的太阳能电池生产设备因使用现有的载板导致的吸取硅片时易产生绒面受损或碎片现象严重的技术问题。基于上述第一目的，本专利技术提供了一种载板，包括板体，所述板体的上板面设置有两个陪片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种载板，其特征在于：包括板体，所述板体的上板面设置有两个陪片放置区和多个按行列排布的硅片放置区；所述硅片放置区设置有通气凹槽；相邻两个所述硅片放置区的边缘之间设置有硅片定位凸起，用于将所述硅片限定于所述硅片放置区中；两个所述陪片放置区分别位于所述板体的两个短边侧；所述陪片放置区的边缘与所述硅片放置区的边缘之间设置有所述硅片定位凸起。

【技术特征摘要】
1.一种载板，其特征在于：包括板体，所述板体的上板面设置有两个陪片放置区和多个按行列排布的硅片放置区；所述硅片放置区设置有通气凹槽；相邻两个所述硅片放置区的边缘之间设置有硅片定位凸起，用于将所述硅片限定于所述硅片放置区中；两个所述陪片放置区分别位于所述板体的两个短边侧；所述陪片放置区的边缘与所述硅片放置区的边缘之间设置有所述硅片定位凸起。2.根据权利要求1所述的载板，其特征在于：所述通气凹槽包括第一子槽和第二子槽，所述第一子槽和所述第二子槽交叉设置。3.根据权利要求2所述的载板，其特征在于：所述第一子槽的长度方向与所述第二子槽的长度方向的夹角的角平分线与所述板体的短边相垂直。4.根据权利要求2所述的载板，其特征在于：所述第一子槽的长度方向与所述第二子槽的长度方向相垂直。5.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫路，朱海剑，庄正军，上官泉元，
申请(专利权)人：江西比太科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36