CIGS太阳能电池薄膜生产线制造技术

本发明专利技术公开了CIGS太阳能电池薄膜生产线，包括多个镀膜子线，各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜，每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内，张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内；其中：张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的，张力检测辊用于实时监测薄膜张力，张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度，张力调节辊为非传动辊，薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。本发明专利技术提供的CIGS太阳能电池薄膜生产线元素扩散路径短，无中间产物，无元素蒸发，薄膜效率高，特别适合大面积规模工业化生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及CIGS太阳能电池薄膜生产线，属于新能源制造领域。
技术介绍
CIGS太阳能电池，由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶薄膜太阳能电池，CIGS太阳能电池具有层状结构，吸收材料属于I-III-VI族化合物，其衬底一般采用不锈钢、玻璃或柔性薄膜衬底，是组成电池板的关键技术。该产品具有光吸收能力强，发电稳定性好、转化效率高，白天发电时间长、发电量高、生产成本低以及能源回收周期短等诸多优势。CIGS太阳能电池一般采用真空溅射、蒸发或者其他非真空的方法分别沉积多层薄膜，形成P-N结而构成光电转换器件。从光入射层开始，各层分别为：金属栅状电极、减反射膜、窗口层(ZnO)、过渡层(CdS)、光吸收层(CIGS)、金属背电极(Mo)、玻璃或柔性薄膜衬底。CIGS太阳能电池的底电极Mo和上电极n-ZnO一般采用磁控溅射的方法，工艺路线较为成熟。吸收层的制备具有许多不同的方法，这些沉积制备方法包括：蒸发法、溅射后硒化法、电化学沉积法、喷涂热解法和丝网印刷法等。其中蒸发法与溅射后硒化法属于真空方法，已被产业界广泛采用。CIGS太阳能电池板的现有成本文档来自技高网...

【技术保护点】
CIGS太阳能电池薄膜生产线，其特征在于：包括多个镀膜子线，各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜，每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内，张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内；其中：张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的，张力检测辊用于实时监测薄膜张力，张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度，张力调节辊为非传动辊，薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。

【技术特征摘要】
1.CIGS太阳能电池薄膜生产线，其特征在于：包括多个镀膜子线，各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜，每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内，张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内；其中：张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的，张力检测辊用于实时监测薄膜张力，张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度，张力调节辊为非传动辊，薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。2.根据权利要求1所述的CIGS太阳能电池薄膜生产线，其特征在于：Mo子线沿薄膜的展开方向依次包括放卷室、第一溅射室、过渡室、第二溅射室及收卷室。3.根据权利要求1所述的CIGS太阳能电池薄膜生产线，其特征在于：环形CIGS子线沿柔性薄膜基材的展开方向依次包括放卷室、预热室、过渡室、蒸镀室、冷却室及收卷室，其中蒸镀室与过渡室交替设置，蒸镀室的两侧均设有过渡室。...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄乐，祝海生，黄国兴，孙桂红，黄夏，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43