【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金属化薄膜制造
,具体来说是一种设有新型蒸镀坩埚的金属化薄膜真空镀膜装置。
技术介绍
随着现代薄膜科学技术的发展,特别是电容器用和包装用金属化薄膜的大规模工业运用,庞大的薄膜生产和薄膜加工产业已在世界形成。家用电器、电力电器、电子产品以及包装产品需求迅速增加,从而使金属化薄膜的需求量不断增加,从而产生对高效率、高性能、多功能的薄膜蒸镀设备需求越来越迫切。薄膜蒸镀设备集机械、真空、镀膜、制冷、自动控制等多学科技术为一体,是在高真空环境条件下(4×10-2Pa) 将铝或锌通过高温汽化蒸发到塑料薄膜基材上,从而使塑料薄膜基材金属化的一种高科技先进设备。可广泛运用于BOPP、OPP、PET、PC 等塑料薄膜基材蒸镀铝膜及锌铝复合膜。电阻式加热蒸发源是蒸发镀膜设备最为关键的部件之一,蒸发源内部结构设计是成膜质量好坏的关键,现有技术中,蒸发物料很容易在口部沉积,口部沉积的物料很容易被蒸汽带到薄膜上,而且在加热的过程中很可能局部温度过高产生物料飞溅,从而影响了成膜的性能。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中的缺陷,提供一种设有新型蒸镀坩埚的金属 ...
【技术保护点】
一种设有新型蒸镀坩埚的金属化薄膜真空镀膜装置,包括真空镀膜室(57)和设于真空镀膜室(57)内的蒸镀鼓,其特征在于:所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构,所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构,所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚,所述蒸镀坩埚包括用于容纳被加热物料的容纳腔(49)、围绕在所述容纳腔(49)外围的加热腔(50)、以及包围所述加热腔(50)的外壁(51),所述加热腔(50)内由上往下依次设有用于保证坩埚蒸发口的温度高于蒸发物料凝点并独立控温的上部加热单元(52)、位于坩埚外围独立控温的下部加热单元(53),所述加热腔(50)顶部设有用于所述被加热物料通过的流道(54 ...
【技术特征摘要】
1.一种设有新型蒸镀坩埚的金属化薄膜真空镀膜装置,包括真空镀膜室(57)和设于真空镀膜室(57)内的蒸镀鼓,其特征在于:所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构,所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构,所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚,所述蒸镀坩埚包括用于容纳被加热物料的容纳腔(49)、围绕在所述容纳腔(49)外围的加热腔(50)、以及包围所述加热腔(50)的外壁(51),所述加热腔(50)内由上往下依次设有用于保证坩埚蒸发口的温度高于蒸发物料凝点并独立控温的上部加热单元(52)、位于坩埚外围独立控温的下部加热单元(53),所述加热腔(50)顶部设有用于所述被加热物料通过的流道(54),所述流道(54)的顶端设置有开口,所述流道(54)的两端的直径大于所述流道(54)中部的直径,所述流道(54)的设置有所述开口的一端的直径小于所述容纳腔(49)的内径。2.根据权利要求1所述的设有新型蒸镀坩埚的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述加热腔(50)和外壁(51)之间设有热屏蔽层(55)。3.根据权利要求1所述的设有新型蒸镀坩埚的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述上部加热单元(52)和下部加热单元(53)的加热装置为围绕所述加热腔(50)螺旋延伸的电阻丝(56)。4.根据权利要求1所述的设有新型蒸镀坩埚的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述蒸镀鼓包括辊套(1)、辊体(2)、流通管(3),所述辊套(1)同心套设于辊体(2)外,所述辊体(2)和辊套(1)之间形成冷却腔(4),所述冷却腔(4)内填充有冷却液(5),所述辊体(2)外环套有隔热层(6),所述流通管(3)包括位于冷却腔(4)的冷却管(31)以及位于隔热层(6)内的回流管(32),所述冷却管(31)一端和回流管(32)流通,所述辊套(1)两端分别设有第一法兰(7)和第二法兰(8),所述第一法兰(7)上设有轴头组件,所述的轴头组件包括进水管(9)以及同心设置在该进水管(9)内的出水管(10),所述进水管(9)一端和冷却管(31)连通,所述出水管(10)一端和回流管(32)流通,所述第二法兰(8)连接有动力轴(11)。5.根据权利要求4所述的设有新型蒸镀坩埚的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述辊体(2)内设有膨胀管(12),所述膨胀管(12)一段和冷却腔(4)连通,所述膨胀管(12)另一端封闭,所述膨胀管(12)中部设有活塞(13)。6.根据权利要求1所述的设有新型蒸镀坩埚的金属化薄膜真空镀膜装置,其特征在于:所述送膜机构包括竖立的基板(14)、设于基板(14...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈艺辉,
申请(专利权)人:铜陵市铜创电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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