一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空蒸镀装置技术领域，尤其是一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置，包括一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置,包括真空槽，所述真空槽底部内壁上从左到右依次设有固定件、中和器和蒸镀源，所述固定件上设有离子源，所述真空槽内部上方设有旋转保持构件，所述旋转保持构件两侧连接有连接支撑构件，所述旋转轴下方连接有基板保持器，所述连接支撑构件下方连接有加热罩，所述加热罩两端连接有密封挡板，所述基板保持器、加热罩和密封挡板围成的密封空间内设有多个加热管。该实用新型专利技术可以有效的防止真空槽内被污染，同时，提高了真空蒸镀装置的蒸镀率、蒸镀速率以及蒸镀效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空蒸镀装置
，具体为一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置。
技术介绍
目前，传统的吸收式红外截止滤光片片使用的基板通常为蓝玻璃，即磷酸盐玻璃或硅酸盐玻璃，在其表面镀制红外截止膜(IR-CUT)，其作用是进一步降低红外光的透过率。传统红外截止滤光片IRCF生产工艺流程是应用玻璃基板经过大片切断、超声波清洗、真空蒸镀、小片切割(可能包含滚圆加工)、成品超声波清洗、产品表面检验等工序。这种传统工艺会有操作步骤多、整体良率不高、产能受制约等问题。并且玻璃基板厚度目前最薄的在0.145mm厚度，镜头模组使用玻璃为基板的话，会使模组整体厚度无法再缩减、镜片存在易破裂的安全隐患。现有的滤光片真空蒸镀装置存在以下缺点：(一)蒸镀材料的粒子通过基板保持器的外周部和真空槽的内壁面之间的间隙而导致真空槽内被污染；(二)蒸镀材料在蒸镀过程中有时没有足够的能量，从而使产生的薄膜厚度不均匀，且容易破裂。现有的大部分真空蒸镀装置的蒸镀率、蒸镀速率以及蒸镀效果都不是太理想。
技术实现思路
本技术解决的技术问题在于克服现有技术的缺陷，提供一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置。所述机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置具有防污染、蒸镀率高等特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置，包括一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置,包括真空槽，所述真空槽底部内壁上从左到右依次设有固定件、中和器和蒸镀源，所述蒸镀源上方安装有能够开闭操作的第一闸板，所述固定件上设有离子源，所述离子源上方安装有能够开闭操作的第二闸板，所述真空槽内部上方设有旋转保持构件，且旋转保持构件内设有旋转轴，所述旋转保持构件两侧连接有连接支撑构件，所述旋转轴下方连接有基板保持器，且基板保持器上有多组基板，所述连接支撑构件下方连接有加热罩，所述加热罩两端连接有密封挡板，且密封挡板固定连接在真空槽侧壁上，所述基板保持器、加热罩和密封挡板围成的密封空间内设有多个加热管。优选的，所述第一闸板和第二闸板分别外接有控制开关控制其开启与闭合。优选的，所述旋转轴外接于电机的动力输出端。优选的，所述加热罩和加热管分别外接于电源输出端。优选的，所述连接支撑构件为倒U型。优选的，所述基板保持器和加热罩均为半球状拱顶型。优选的，所述基板的个数为10-12个。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置，在工作过程中，打开第一闸板，蒸镀源对成膜材料进行加热并朝向基板放出蒸镀物质，同时，打开第二闸板，离子源通过反应气体或稀有气体等离子体诱导出带电的离子并通过加速电压朝向基板加速射出，同时，中和器由稀有气体等离子体诱导出电子，并利用加速电压进行加速来放出电子，从而利用射出的电子来中和附着于基板表面的离子，通过设置的加热罩和加热管，可以确保蒸镀材料在蒸镀过程中拥有足够的能量，进而使产生的薄膜厚度均匀，且不容易破碎，从而提高真空蒸镀装置的蒸镀率、蒸镀速率以及蒸镀效果；同时，真空槽内设置的密封挡板可以防止蒸镀材料的粒子通过基板保持器的外周部和真空槽的内壁面之间的间隙而导致真空槽内被污染。该技术可以有效的防止真空槽内被污染，同时，提高了真空蒸镀装置的蒸镀率、蒸镀速率以及蒸镀效果。附图说明图1为本技术结构示意图。图中：1真空槽、2蒸镀源、21第一闸板、3离子源、31固定件、32第二闸板、4中和器、5旋转保持构件、6旋转轴、7连接支撑构件、8基板保持器、9加热罩、10加热管、11基板、12密封挡板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置，包括真空槽1，真空槽1底部内壁上从左到右依次设有固定件31、中和器4和蒸镀源2，蒸镀源2对成膜材料进行加热并朝向基板放出蒸镀物质，且蒸镀源2上方安装有能够开闭操作的第一闸板21，固定件31上设有离子源3，离子源3通过反应气体或稀有气体等离子体诱导出带电的离子并通过加速电压朝向基板加速射出，离子源3上方安装有能够开闭操作的第二闸板32，第一闸板21和第二闸板32分别外接有控制开关控制其开启与闭合，中和器4由稀有气体等离子体诱导出电子，并利用加速电压进行加速来放出电子，从而利用射出的电子来中和附着于基板表面的离子。真空槽1内部上方设有旋转保持构件5，且旋转保持构件5内设有旋转轴6，旋转轴6外接于电机的动力输出端，旋转保持构件5两侧连接有连接支撑构件7，且连接支撑构件7为倒U型，旋转轴6下方连接有基板保持器8，且基板保持器8上有多组基板11，基板11的个数为10-12个，连接支撑构件7下方连接有加热罩9，加热罩9两端连接有密封挡板12，且密封挡板12固定连接在真空槽1侧壁上，基板保持器8、加热罩9和密封挡板12围成的密封空间内设有多个加热管10，且加热管10外接于电源输出端，基板保持器8和加热罩9均为半球状拱顶型。本技术工作流程：在工作过程中，打开第一闸板21，蒸镀源2对成膜材料进行加热并朝向基板11放出蒸镀物质，同时，打开第二闸板32，离子源3通过反应气体或稀有气体等离子体诱导出带电的离子并通过加速电压朝向基板加速射出，同时，中和器4由稀有气体等离子体诱导出电子，并利用加速电压进行加速来放出电子，从而利用射出的电子来中和附着于基板表面的离子，通过设置的加热罩9和加热管10，可以确保蒸镀材料在蒸镀过程中拥有足够的能量，进而使产生的薄膜厚度均匀，且不容易破碎，从而提高真空蒸镀装置的蒸镀率、蒸镀速率以及蒸镀效果；同时，真空槽1内设置的密封挡板12可以防止蒸镀材料的粒子通过基板保持器8的外周部和真空槽1的内壁面之间的间隙而导致真空槽1内被污染。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置，包括真空槽(1)，其特征在于：所述真空槽(1)底部内壁上从左到右依次设有固定件(31)、中和器(4)和蒸镀源(2)，所述蒸镀源(2)上方安装有能够开闭操作的第一闸板(21)，所述固定件(31)上设有离子源(3)，所述离子源(3)上方安装有能够开闭操作的第二闸板(32)，所述真空槽(1)内部上方设有旋转保持构件(5)，且旋转保持构件(5)内设有旋转轴(6)，所述旋转保持构件(5)两侧连接有连接支撑构件(7)，所述旋转轴(6)下方连接有基板保持器(8)，且基板保持器(8)上有多组基板(11)，所述连接支撑构件(7)下方连接有加热罩(9)，所述加热罩(9)两端连接有密封挡板(12)，且密封挡板(12)固定连接在真空槽(1)侧壁上，所述基板保持器(8)、加热罩(9)和密封挡板(12)围成的密封空间内设有多个加热管(10)。

【技术特征摘要】
1.一种用于手机镜头薄型树脂滤光片真空蒸镀装置，包括真空槽(1)，其特征在于：所述真空槽(1)底部内壁上从左到右依次设有固定件(31)、中和器(4)和蒸镀源(2)，所述蒸镀源(2)上方安装有能够开闭操作的第一闸板(21)，所述固定件(31)上设有离子源(3)，所述离子源(3)上方安装有能够开闭操作的第二闸板(32)，所述真空槽(1)内部上方设有旋转保持构件(5)，且旋转保持构件(5)内设有旋转轴(6)，所述旋转保持构件(5)两侧连接有连接支撑构件(7)，所述旋转轴(6)下方连接有基板保持器(8)，且基板保持器(8)上有多组基板(11)，所述连接支撑构件(7)下方连接有加热罩(9)，所述加热罩(9)两端连接有密封挡板(12)，且密封挡板(12)固定连接在真空槽(1)侧壁上，所述基板保持器(8)、加热罩(9)和密封挡板(12)围成的密封空间内设有多个加热管(10)...

【专利技术属性】
技术研发人员：范辛，
申请(专利权)人：苏州京浜光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32