吸附装置及真空蒸镀系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种吸附装置及真空蒸镀系统，其包括：多个条形电磁体，纵横排列形成网格状；供电机构，用于选择性地向多个条形电磁体中，位置与各个条状板一一对应的条形电磁体通电。本实用新型专利技术提供的吸附装置，其不仅可以避免刮伤掩膜版和基板，而且还可以选择性地吸附相应位置的条状板，从而使掩膜版形成的遮挡区域可以适应不同尺寸的基板，提高了灵活性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示
，具体地，涉及一种吸附装置及真空蒸镀系统。
技术介绍
随着显示技术的快速发展，对大尺寸和画质的要求也逐步增加，OLED作为未来的显示技术，尺寸也在逐步增加的同时，也在趋于多样化。如图1所示，现有的大尺寸OLED所使用的掩膜版是由多个条状板2组成，且使用张网机焊接在掩膜版框架1上。在对基板进行蒸镀工艺之前，需要使用吸附装置将基板与掩膜版贴合在一起，并传输至蒸发源的上方。图2为现有的吸附装置的剖视图。请参阅图2，吸附装置包括基座5，在该基座5内设置有永磁铁6。并且在基座5的下表面设置有粘接部件4，用以将基板3固定在基座5的底部。当吸附装置移动至掩膜版2的上方时，在永磁铁6的磁力作用下，各个条状板2被吸附至基板3的底部，并与之紧密贴合。上述吸附装置在实际应用中不可避免地存在以下问题：其一，由于永磁铁6的磁力始终存在，且磁力较大，导致在将基板3与各个条状板2分离的过程中，各个条状板2容易刮伤基板3，甚至造成各个条状板2损伤。其二，针对不同尺寸的基板3，上述吸附装置不能选择性地吸附不同的条状板2，以使掩膜版能够适应性地形成不同的遮挡区域，从而灵活性较差。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种吸附装置及真空蒸镀系统，其不仅可以避免刮伤掩膜版和基板，而且还可以选择性地吸附相应位置的条状板，从而使掩膜版形成的遮挡区域可以适应不同尺寸的基板，提高了灵活性。为实现本技术的目的而提供一种吸附装置，用于吸附掩膜版，所述掩膜版包括间隔排列的多个条状板，所述吸附装置包括：多个条形电磁体，纵横排列形成网格状；供电机构，用于选择性地向所述多个条形电磁体中，位置与所述各个条状板一一对应的条形电磁体通电。优选的，还包括：位置调节机构，用于独立地分别调节各个条形电磁体的位置。优选的，所述位置调节机构包括相互垂直的横向调节杆和纵向调节杆，其中，在多个条形磁体中，横向排列的条形电磁体的两端分别与所述横向调节杆可移动地连接；纵向排列的条形电磁体的两端分别与所述纵向调节杆可移动地连接。优选的，所述位置调节机构还包括横向标尺和纵向标尺，其中，所述横向标尺与所述横向调节杆并排设置；所述纵向标尺与所述纵向调节杆并排设置。优选的，所述供电机构包括：电力供应源，用于提供电能；多条电路，各条电路一一对应地将所述电力供应源与各个条形电磁体连接，并且在每条电路上设置有通断开关，用于接通或断开所述电路。优选的，所述电力供应源包括：电力供应线；闭合的供电电磁体，套设在所述电力供应线上，用以在所述电力供应线通电时，产生感应电流，并输送至各条所述电路。优选的，在每条所述电路上设置有电流调节装置，用于调节所述电路的电流大小。作为另一个技术方案，本技术还提供一种真空蒸镀系统，包括蒸镀设备和吸附装置，所述吸附装置用于吸附掩膜版，以使其与基板相贴合，并将二者传输至蒸镀设备中；所述吸附装置采用本技术提供的上述吸附装置。优选的，所述蒸镀设备包括：传输滚轮，用于承载并传输所述掩膜版；蒸发源，位于所述传输滚轮的下方，用于在所述吸附装置位于所述蒸发源的上方时，对所述掩膜版和基板进行蒸镀工艺。本技术具有以下有益效果：本技术提供的吸附装置及真空蒸镀系统的技术方案中，其通过采用电磁体吸附掩膜版，断电即可消除磁力，且磁力大小可调，从而在将基板与掩膜版贴合或分离的过程中，可以避免刮伤掩膜版和基板。而且，借助供电机构选择性地向多个条形电磁体中，位置与各个条状板一一对应的条形电磁体通电，可以选择性地吸附相应位置的条状板，从而使掩膜版形成的遮挡区域可以适应不同尺寸的基板，提高了灵活性。附图说明图1为现有的掩膜版的结构图；图2为现有的吸附装置的结构图；图3为本技术实施例提供的吸附装置的结构图；图4为本技术实施例中条形电磁体的排布图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图来对本技术提供的吸附装置及真空蒸镀系统进行详细描述。图3为本技术实施例提供的吸附装置的结构图。图4为本技术实施例中条形电磁体的排布图。请一并参阅图3和图4，掩膜版包括间隔排列的多个条状板12，且使用张网机焊接在掩膜版框架11上。在对基板13进行蒸镀工艺之前，需要使用吸附装置将基板13与条状板12贴合在一起，并传输至蒸发源21的上方。具体地，吸附装置包括基座16，在该基座16底部设置有多个条形电磁体15，多个条形电磁体15由多个纵向电磁体151(沿Y方向设置)和多个横向电磁体152(沿X方向设置)纵横排列形成网格状。并且，基板13通过粘接部件14固定在条形电磁体15的底部。吸附装置还包括供电机构，用于选择性地向多个条形电磁体15中，位置与各个条状板12一一对应的条形电磁体15通电。通电的各个条形电磁体15产生磁力，一一对应地将各个条状板12吸附至基板13的底部，并与之紧密贴合。通过采用电磁体吸附掩膜版，断电即可消除磁力，且磁力大小可调，从而在将基板13与条状板12贴合或分离的过程中，可以避免刮伤条状板12和基板13。而且，借助供电机构选择性地向多个条形电磁体15中，位置与各个条状板12一一对应的条形电磁体15通电，可以选择性地吸附相应位置的条状板12，从而使掩膜版形成的遮挡区域可以适应不同尺寸的基板13，提高了灵活性。优选的，吸附装置还包括位置调节机构，用于独立地分别调节各个条形电磁体15的位置，使之与各个条状板12的位置一一对应，从而可以进一步提高灵活性。在本实施例中，位置调节机构具体包括相互垂直的横向调节杆26(沿X方向设置)和纵向调节杆29(沿Y方向设置)，其中，在多个条形磁体15中，横向电磁体152(横向排列的条形电磁体)的两端分别与横向调节杆可移动地连接；纵向电磁体151(纵向排列的条形电磁体)的两端分别与纵向调节杆29可移动地连接。在调节时，可以根据条状板12的位置相应的调节第A～B个横向电磁体152中的至少一个，或者调节第1～3个纵向电磁体151中的至少一个。进一步，优选的，为了提高调节的准确性，位置调节机构还包括横向标尺24和纵向标尺28，其中，横向标尺24与横向调节杆26并排设置，在调节时，可以将相应的横向电磁体152与横向标尺24的某一刻度对齐。纵向标尺28与纵向调节杆29并排设置，在调节时，可以将相应的纵向电磁体151与纵向标尺28的某一刻度对齐。供电机构包括电力供应源和多条电路22。其中，电力供应源用于提供电能。优选的，电力供应源包括电力供应线19和闭合的供电电磁体18。其中，供电电磁体18套设在电力供应线19上，用以在电力供应线19通电时，因磁通量的变化而产生感应电流，并通过总电路17输送至各条电路22中。由此，可以实现不接触式供电，以减少因接触供电产生的污染颗粒。各条电路22一一对应地将上述电力供应源与各个条形电磁体15连接，并且在每条电路22上设置有通断开关23，用于接通或断开电路22。通过选择性地控制相应的通断开关23接通或断开，可以实现将需要的条形电磁体15通电，以将各个条状板12吸附至基板13的底部，从而使掩膜版形成的遮挡区域可以适应不同尺寸的基板13，提高了灵活性。进一步优选的，在每条电路22上设置有电流调节装置(图中未示出)，用于调节该电路22的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸附装置，用于吸附掩膜版，所述掩膜版包括间隔排列的多个条状板，其特征在于，所述吸附装置包括：多个条形电磁体，纵横排列形成网格状；供电机构，用于选择性地向所述多个条形电磁体中，位置与所述各个条状板一一对应的条形电磁体通电。

【技术特征摘要】
1.一种吸附装置，用于吸附掩膜版，所述掩膜版包括间隔排列的多个条状板，其特征在于，所述吸附装置包括：多个条形电磁体，纵横排列形成网格状；供电机构，用于选择性地向所述多个条形电磁体中，位置与所述各个条状板一一对应的条形电磁体通电。2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，还包括：位置调节机构，用于独立地分别调节各个条形电磁体的位置。3.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，所述位置调节机构包括相互垂直的横向调节杆和纵向调节杆，其中，在多个条形磁体中，横向排列的条形电磁体的两端分别与所述横向调节杆可移动地连接；纵向排列的条形电磁体的两端分别与所述纵向调节杆可移动地连接。4.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述位置调节机构还包括横向标尺和纵向标尺，其中，所述横向标尺与所述横向调节杆并排设置；所述纵向标尺与所述纵向调节杆并排设置。5.根据权利要求1-4任意一项所述的吸附装置，其特征在于，所述供电机构包括：电力供...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘杰，乔永康，潘晟恺，徐鹏，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34