蒸镀源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀源，属于蒸镀技术领域。所述蒸镀源包括：蒸镀本体和n个加热部件，所述n大于1，所述蒸镀本体包括为中空结构的坩埚、环绕设置在所述坩埚外壁的加热丝和设置有n个喷嘴的坩埚盖，所述坩埚盖设置在所述坩埚开口端；所述n个加热部件设置在所述坩埚内，每个所述加热部件位于一个喷嘴的下方，每个所述加热部件设置有加热丝。本实用新型专利技术解决了相关技术中蒸镀源蒸镀的可靠性较差的问题，提高了蒸镀源蒸镀的可靠性，用于显示装置。

evaporation source

The utility model discloses a evaporation source, belonging to the technical field of evaporation. The evaporation source includes evaporation body and N heating components, the n is greater than 1, the body comprises an evaporation crucible with n nozzle in the crucible wall of the heating wire and the set cover around the crucible, a hollow structure, the crucible cover is arranged at the open end the crucible; the N heating element is arranged on the bottom of the crucible, each of the heating parts in a nozzle, each of the heating element is provided with a heating wire. The utility model solves the problems of poor reliability of the evaporation of the evaporation source in the related technology, and improves the reliability of the evaporation of the evaporation source, and is used for a display device.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀源
本技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀源。
技术介绍
当前广泛使用的屏幕是液晶显示器(英文：LiquidCrystalDisplay；简称：LCD)和有机发光二极管显示器(英文：OrganicLight-EmittingDiode；简称：OLED)。OLED由于具有轻薄，低功耗，高对比度，高色域，可以实现柔性显示等优点，被认为是下一代显示器的发展趋势。OLED的显示包括被动式有机电激发光二极管(英文：PassivematrixOrganicLight-EmittingDiode；简称：PMOLED)显示和有源矩阵有机发光二极体面板(英文：Active-matrixorganiclightemittingdiode；简称：AMOLED)显示两种。其中，AMOLED的实现方式有低温多晶硅(英文：LowTemperaturePoly-silicon；简称：LTPS)背板+精细金属掩膜(英文：FineMetalMask；简称：FMM)方式，和氧化物(英文：Oxide)背板+白光有机发光二极管(英文：WhiteOrganicLightEmittingDiode；简称：WOLED)+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应监视器和电视等应用。目前LTPS背板+FMM的方式已经初步成熟，实现了量产。相关技术中，LTPS背板+FMM的方式是采用蒸镀源将OLED有机材料按照预定程序蒸镀到LTPS背板上，利用FMM上的图形，形成红绿蓝器件。其中，蒸镀源包括坩埚、加热丝和设置有多个喷嘴的坩埚盖。坩埚由钛材质制成且为中空结构，加热丝环绕设置在坩埚外壁，坩埚盖设置在坩埚开口端。在进行蒸镀时，坩埚内的OLED有机材料被加热丝加热后从喷嘴中喷出，进而完成对LTPS背板的蒸镀。由于坩埚由钛材质制成，所以坩埚的热传导性较差，且坩埚外壁的加热丝易变形，坩埚受热的均匀性较差，进而使OLED有机材料受热的均匀性较差，最终导致OLED有机材料灰化变性，因此，蒸镀源蒸镀的可靠性较差。
技术实现思路
为了解决相关技术中蒸镀源蒸镀的可靠性较差的问题，本技术提供了一种蒸镀源。所述技术方案如下：提供了一种蒸镀源，所述蒸镀源包括：蒸镀本体和n个加热部件，所述n大于1，所述蒸镀本体包括为中空结构的坩埚、环绕设置在所述坩埚外壁的加热丝和设置有n个喷嘴的坩埚盖，所述坩埚盖设置在所述坩埚开口端；所述n个加热部件设置在所述坩埚内，每个所述加热部件位于一个喷嘴的下方，每个所述加热部件设置有加热丝。可选的，所述蒸镀源还包括：喷嘴疏通部件，所述喷嘴疏通部件包括激光发生器、金属棒、控制器和第一驱动部件，所述喷嘴疏通部件位于所述坩埚内部或者外部；所述金属棒为中空结构，所述金属棒的顶端为密闭结构，所述激光发生器与所述控制器连接，所述激光发生器用于在所述控制器的控制下发射激光，并采用所述激光对所述金属棒加热，加热的金属棒能够在所述第一驱动部件的驱动力下穿入所述喷嘴内。可选的，每个所述加热部件的高度相等，且大于所述坩埚所能容纳的待蒸镀材料的最大厚度。可选的，所述喷嘴疏通部件位于所述坩埚内部，所述喷嘴疏通部件的数量为n，每个所述喷嘴疏通部件还包括：底座、激光传导部件和第二驱动部件，所述坩埚底面设置有n个开口，每个所述喷嘴在所述坩埚底面上的正投影的中心与一个开口的中心重合；每个所述加热部件包括套管和管盖，所述管盖设置在所述套管的顶端，所述套管的管壁包括内层壁和外层壁，所述加热部件的加热丝环绕设置在所述内层壁上，所述套管的底端与所述坩埚底面的开口为一体型结构；对于每个所述喷嘴疏通部件，所述金属棒设置在所述套管内，所述底座设置在所述金属棒的底端，所述底座为中空结构，所述金属棒和所述底座连通，所述激光发生器和所述激光传导部件设置在所述底座内，所述激光传导部件能够将所述激光发生器发射的激光经过所述金属棒传输至所述金属棒的顶端，所述第一驱动部件设置在所述底座的一端，所述内层壁和所述外层壁形成的环形空间中设置有容纳管，所述容纳管内设置有第一支撑杆，所述第一支撑杆的一端与所述第二驱动部件连接，所述第一支撑杆能够在所述第二驱动部件的驱动力下发生垂直位移，以及沿水平方向旋转，所述第一支撑杆的另一端与所述管盖固定连接。可选的，所述喷嘴疏通部件位于所述坩埚外部，所述喷嘴疏通部件还包括承载台、导轨和第二支撑杆，所述第一驱动部件和所述导轨设置在所述承载台上，所述第二支撑杆的一端位于所述导轨内，所述第二支撑杆与所述第一驱动部件连接，所述第二支撑杆能够在所述第一驱动部件的驱动力下沿着所述导轨在水平面上移动并发生垂直位移，所述第二支撑杆远离所述承载台的一端设置有激光头，所述金属棒设置在所述激光头远离所述第二支撑杆的一端。可选的，所述第二支撑杆为中空结构，所述喷嘴疏通部件还包括激光传导部件，所述激光发生器设置在所述承载台上，所述激光传导部件设置在所述第二支撑杆内。可选的，所述激光发生器设置在所述第二支撑杆远离所述承载台的一端，且靠近所述激光头的位置处。可选的，所述套管的外层壁的内侧设置有第一温度传感器，所述第一温度传感器用于监测所述套管上的温度，并将监测到的温度传输至所述控制器。可选的，所述金属棒的外壁设置有第二温度传感器，所述第二温度传感器用于监测所述金属棒上的温度，并将监测到的温度传输至所述控制器。可选的，所述喷嘴疏通部件还包括保护部件，所述激光传导部件设置在所述保护部件内。本技术提供了一种蒸镀源，由于该蒸镀源包括加热部件，每个加热部件位于一个喷嘴的下方，每个加热部件设置有加热丝，所以加热部件能够对坩埚内的待蒸镀材料进一步加热，因此，提高了待蒸镀材料受热的均匀性，避免了待蒸镀材料灰化变形，提高了蒸镀源蒸镀的可靠性。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1-1是相关技术中的一种蒸镀源的结构示意图；图1-2是图1-1所示蒸镀源的截面示意图；图1-3是本技术实施例提供的一种蒸镀源的结构示意图；图2-1是本技术实施例提供的另一种蒸镀源的结构示意图；图2-2是图2-1所示蒸镀源的加热部件的结构示意图；图2-3是图2-2所示加热部件的套管和管盖的结构示意图；图3是本技术实施例提供的又一种蒸镀源的结构示意图。通过上述附图，已示出本技术明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本技术构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本技术的概念。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术实施方式作进一步地详细描述。图1-1是相关技术中的一种蒸镀源的结构示意图，如图1-1所示，该蒸镀源包括：坩埚001、加热丝002和设置有多个喷嘴003的坩埚盖004。在进行蒸镀时，坩埚001内的OLED有机材料被加热后从喷嘴003中喷出，完成对LTPS背板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源包括：蒸镀本体和n个加热部件，所述n大于1，所述蒸镀本体包括为中空结构的坩埚、环绕设置在所述坩埚外壁的加热丝和设置有n个喷嘴的坩埚盖，所述坩埚盖设置在所述坩埚开口端；所述n个加热部件设置在所述坩埚内，每个所述加热部件位于一个喷嘴的下方，每个所述加热部件设置有加热丝。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源包括：蒸镀本体和n个加热部件，所述n大于1，所述蒸镀本体包括为中空结构的坩埚、环绕设置在所述坩埚外壁的加热丝和设置有n个喷嘴的坩埚盖，所述坩埚盖设置在所述坩埚开口端；所述n个加热部件设置在所述坩埚内，每个所述加热部件位于一个喷嘴的下方，每个所述加热部件设置有加热丝。2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括：喷嘴疏通部件，所述喷嘴疏通部件包括激光发生器、金属棒、控制器和第一驱动部件，所述喷嘴疏通部件位于所述坩埚内部或者外部；所述金属棒为中空结构，所述金属棒的顶端为密闭结构，所述激光发生器与所述控制器连接，所述激光发生器用于在所述控制器的控制下发射激光，并采用所述激光对所述金属棒加热，加热的金属棒能够在所述第一驱动部件的驱动力下穿入所述喷嘴内。3.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，每个所述加热部件的高度相等，且大于所述坩埚所能容纳的待蒸镀材料的最大厚度。4.根据权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，所述喷嘴疏通部件位于所述坩埚内部，所述喷嘴疏通部件的数量为n，每个所述喷嘴疏通部件还包括：底座、激光传导部件和第二驱动部件，所述坩埚底面设置有n个开口，每个所述喷嘴在所述坩埚底面上的正投影的中心与一个开口的中心重合；每个所述加热部件包括套管和管盖，所述管盖设置在所述套管的顶端，所述套管的管壁包括内层壁和外层壁，所述加热部件的加热丝环绕设置在所述内层壁上，所述套管的底端与所述坩埚底面的开口为一体型结构；对于每个所述喷嘴疏通部件，所述金属棒设置在所述套管内，所述底座设置在所述金属棒的底端，所述底座为中空结构，所述金属棒和所述底座连通，所述激光发生器和所述激光传导部件设置在所述底座内，所述激光传导部件能够将所述激光发生器发射的激光经过所...

【专利技术属性】
技术研发人员：何瑞亭，李晓康，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11