一种新型蒸镀源喷嘴制造技术

本实用新型专利技术提供一种新型蒸镀源喷嘴，包括喷嘴本体，所述的喷嘴本体包括内壁和外壁，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口，所述喷嘴本体包括上部、中部和下部，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值，所述的喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形或V形。本实用新型专利技术喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值，相比于传统柱状结构的蒸镀源喷嘴，在保持相同孔径比的前提下，喷嘴本体内壁与水平线形成蒸镀角，凡是与内壁发生碰撞的有机材料均发生反射，部分反射返回坩埚内部，部分通过内表面调控使其大部分都有效的控制在蒸镀角以内喷出蒸镀到基板表面，提高了材料利用率，生产成本降低，结构简单。

A new evaporation source nozzle

The utility model provides a novel evaporation source nozzle comprises a nozzle body, a nozzle body comprises an inner wall and the outer wall and the nozzle body is hollow, the nozzle body is provided with a nozzle, the nozzle body includes an upper, middle and lower part, the upper part of the body and the nozzle diameter is smaller than the lower part of the nozzle body diameter values in the middle of the nozzle body, wherein the inner wall of the vertical section of the nozzle body is in an arc shape or V shape. The utility model relates to a nozzle diameter value is less than the central body nozzle body upper and lower part of the body of the nozzle diameter value, compared to the traditional columnar structure of the evaporation source nozzle, while maintaining the same aperture ratio, nozzle body wall and the horizontal line formation deposition angle, all organic materials collide with the inner wall are reflected that part reflected back the crucible, the inner surface of the control part through the most effective control of the plating to the substrate surface in the vapor evaporation angle within the jet, improve material utilization, low production cost, simple structure.

【技术实现步骤摘要】
一种新型蒸镀源喷嘴
本技术涉及蒸镀设备领域，尤其是涉及一种新型的蒸镀源喷嘴。
技术介绍
在平板显示技术中，有机发光二极管（OrganicLight—EmittingDiode，OLED）显示器尤其轻薄、主动发光、快速响应、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为继液晶显示器（LCD）之后的第三代显示技术。按驱动方式，OLED分为被动式OLED（PassiveMatrixOLED，PMOLED）及主动式OLED（ActiveMartixOLED，AMOLED），其中，PMOLED只能制作小尺寸、低分辨率的显示面板，AMOLED因通过在每个像素中集成薄膜晶体管（TFT）和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。AMOLED在实现大尺寸方面使用了线性蒸镀源，其蒸镀源上部是由众多蒸镀源喷嘴（nozzle，用来控制有机材料蒸镀）排布而成，蒸镀源喷嘴是用来控制有机材料均匀分布。传统的蒸镀源喷嘴结构如附图1所示，该结构无法有效控制蒸镀角度，且需要通过增加额外部件（如挡板）来实现蒸镀角控制，材料利用率较低，生产成本高，蒸镀装置的结构复杂。
技术实现思路
本技术为了解决上述技术问题提供了一种新型蒸镀源喷嘴，本设计解决了现有需依赖额外部件实现蒸镀角、材料利用率低、生产成本高等技术问题。技术所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：一种新型蒸镀源喷嘴，包括喷嘴本体，所述的喷嘴本体包括内壁和外壁，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口，所述喷嘴本体包括上部、中部和下部，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值。其中，所述的喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形。优选的，所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角为10°~80°。优选的，所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角为53°。其中，所述的喷嘴本体内壁的垂直剖面为V形。优选的，所述的V形夹角为20°~160°。优选的，所述的V形夹角为106°。本技术提供一种新型蒸镀源喷嘴，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值，其内壁的垂直剖面为弧形或V形，相比于传统柱状结构的蒸镀源喷嘴，在保持相同孔径比的前提下，喷嘴本体内壁与水平线形成蒸镀角，凡是与内壁发生碰撞的有机材料均发生反射，部分反射返回坩埚内部，部分通过内表面调控使其大部分都有效的控制在蒸镀角以内喷出蒸镀到基板表面，不需要额外部件（如挡板）来实现蒸镀角控制，提高了材料利用率，生产成本降低，蒸镀装置的结构简单。附图说明图1为现有技术的整体结构示意图。图2为本技术的垂直剖切面示意图一。图3为本技术的垂直剖切面示意图二。具体实施方式为了让本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术作进一步阐述。具体实施例，如附图2、3所示，一种新型蒸镀源喷嘴，包括喷嘴本体1，所述的喷嘴本体包括内壁2和外壁3，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口4，所述喷嘴本体包括上部5、中部6和下部7，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值。喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形或V形。若喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形时，所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角α为10°~80°，采用最优方案，喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线形成的蒸镀角α为53°。若喷嘴本体内壁的垂直剖面为V形，所述的V形夹角β为20°~160°，采用最优方案，V形夹角β为106°。本技术提供一种新型蒸镀源喷嘴，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值，其内壁的垂直剖面为弧形或V形，相比于传统柱状结构的蒸镀源喷嘴，在保持相同孔径比的前提下，喷嘴本体内壁与水平线形成蒸镀角，凡是与内壁发生碰撞的有机材料均发生反射，部分反射返回坩埚内部，部分通过内表面调控使其大部分都有效的控制在蒸镀角以内喷出蒸镀到基板表面，不需要额外部件（如挡板）来实现蒸镀角控制，提高了材料利用率，生产成本降低，蒸镀装置的结构简单。以为本技术较佳的实现方式，需要说明的是，在不背离本技术精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本技术作出各种相应的改变和变形都应属于本技术所附的权利要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型蒸镀源喷嘴，其特征在于：包括喷嘴本体，所述的喷嘴本体包括内壁和外壁，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口，所述喷嘴本体包括上部、中部和下部，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值。

【技术特征摘要】
1.一种新型蒸镀源喷嘴，其特征在于：包括喷嘴本体，所述的喷嘴本体包括内壁和外壁，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口，所述喷嘴本体包括上部、中部和下部，喷嘴本体中部的内径值小于喷嘴本体上部和喷嘴本体下部的内径值。2.根据权利要求1所述的新型蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述的喷嘴本体内壁的垂直剖面为弧形。3.根据权利要求2所述的新型蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述喷嘴本体内壁两弧形剖面相切的切线与水平线...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宝，曾兴中，何文双，蔡晓义，柯贤军，苏君海，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44