【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法,其特征在于:包括预热过程和蒸镀过程,预热过程是指蒸发源温度从环境温度升至设定温度的过程,分三个阶段,第一阶段中温度由环境温度升至设定温度的60%?85%,第二阶段中温度升至第一阶段末温度与设定温度的平均值温度,第三阶段中温度升至设定温度;蒸镀过程中蒸镀材料的沉积速率随蒸发源温度变化而波动形成速率曲线,蒸发源温度又随电源功率的变化而变化,蒸镀过程以实时测得的速率曲线为依据,通过调节蒸镀电源功率对蒸发源温度进行控制;以设定沉积速率为界限,所述速率曲线分为上升区和下降区,其中,上升区是指实际沉积速率低于设定沉积速率的区域,下降区是指实际沉积速率高于设定沉积速率的区域;当速率位于上升区时,增加蒸镀电源功率;当速率位于下降区时,降低电源功率。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李莉莉,赵芳,吴锐,魏锋,任海,
申请(专利权)人:四川虹视显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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